[發明專利]振動器件

有效

• 申請號: 202011182261.1
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112752202B
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 小倉誠一郎
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H04R9/02
• 分類號: H04R9/02;H04R7/16
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李慶澤;鄧毅

振動器件。具有優異的檢測特性。振動器件具有振動元件、支承振動元件的支承基板、以及配置于支承基板的多個布線。此外，支承基板具有搭載有振動元件的元件搭載臺、位于元件搭載臺的外側的支承臺、位于元件搭載臺與支承臺之間的框、具有連接元件搭載臺和框的一對第1梁的內側梁、以及具有連接框和支承臺的一對第2梁的外側梁。此外，在多個布線中包含有引繞于元件搭載臺和支承臺的驅動信號布線和檢測信號布線，驅動信號布線和檢測信號布線通過相互不同的內側梁而引繞于元件搭載臺和框，通過相互不同的外側梁而引繞于框和支承臺。

技術領域

本發明涉及振動器件。

背景技術

專利文獻1所記載的振動器件具有電路元件、振動元件以及介于電路元件與振動元件之間且將振動元件固定于電路元件的中繼基板。此外，中繼基板呈平衡架(gimbal)構造，具有固定于電路元件的框狀的固定部、配置于固定部的內側的框狀的框體部、配置于框體部的內側且固定有振動元件的載置部、連接固定部和框體部的第1梁部、以及連接框體部和載置部的第2梁部。通過這種中繼基板抑制從電路元件朝向振動元件傳遞應力。

專利文獻1：日本特開2018-159674號公報

發明內容

發明要解決的課題

此外，在專利文獻1所記載的振動器件中，在載置部配置有與振動元件電連接的6個振動元件側端子，在固定部配置有與電路元件電連接的6個電路元件側端子，對應的振動元件側端子和電路元件側端子通過第1梁部、框體部和第2梁部上引繞的布線而電連接。

但是，在專利文獻1所記載的振動器件中，多個布線中包含的驅動信號用布線和檢測信號用布線在1個梁部上接近地配置。因此，在該部分中，在檢測信號用布線中可能混入對驅動信號用布線施加的驅動信號的影響而引起的噪聲，檢測精度降低。

用于解決課題的手段

本發明的一個方式是一種振動器件，其特征在于，所述振動器件具有：振動元件；支承基板，其支承所述振動元件；以及多個布線，它們配置于所述支承基板，所述振動元件具有：驅動臂，其具有驅動信號電極，通過對所述驅動信號電極施加驅動信號而進行驅動振動；以及檢測臂，其具有檢測信號電極，通過接受作為檢測對象的物理量進行檢測振動，從所述檢測信號電極輸出檢測信號，在從所述支承基板的厚度方向的俯視觀察時，所述支承基板具有：元件搭載臺，其搭載有所述振動元件；支承臺，其位于所述元件搭載臺的外側；框，其位于所述元件搭載臺與所述支承臺之間，呈包圍所述元件搭載臺的框狀；內側梁，其具有從所述元件搭載臺沿著第1方向向兩側延伸、且連接所述元件搭載臺和所述框的一對第1梁；以及外側梁，其具有從所述框沿著與所述第1方向不同的第2方向向兩側延伸、且連接所述框和所述支承臺的一對第2梁，所述多個布線具有：驅動信號布線，其與所述驅動信號電極電連接，引繞于所述元件搭載臺和所述支承臺；以及檢測信號布線，其與所述檢測信號電極電連接，引繞于所述元件搭載臺和所述支承臺，所述驅動信號布線和所述檢測信號布線通過相互不同的所述內側梁而引繞于所述元件搭載臺和所述框，通過相互不同的所述外側梁而引繞于所述框和所述支承臺。

在本發明的一個方式中，優選所述外側梁具有從所述框延伸且連接所述框和所述支承臺的第3梁，所述驅動信號布線和所述檢測信號布線中的一方通過所述第3梁而引繞于所述框和所述支承臺。

在本發明的一個方式中，優選所述外側梁具有從所述框向所述框的兩側延伸的一對第3梁，所述驅動信號布線和所述檢測信號布線通過相互不同的所述第3梁而引繞于所述框和所述支承臺。

在本發明的一個方式中，優選在所述俯視觀察時，所述第3梁在所述第1方向上延伸，與所述第1梁位于同一直線上。

在本發明的一個方式中，優選通過所述第3梁的所述布線為2根以下。