[發明專利]振動器件

有效

• 申請號: 202011182261.1
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112752202B
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 小倉誠一郎
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H04R9/02
• 分類號: H04R9/02;H04R7/16
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李慶澤;鄧毅

1.一種振動器件，其特征在于，所述振動器件具有：

振動元件；

支承基板，其支承所述振動元件；以及

多個布線，它們配置于所述支承基板，

所述振動元件具有：

驅動臂，其具有驅動信號電極，通過對所述驅動信號電極施加驅動信號而進行驅動振動；以及

檢測臂，其具有檢測信號電極，通過接受作為檢測對象的物理量進行檢測振動，從所述檢測信號電極輸出檢測信號，

在從所述支承基板的厚度方向的俯視觀察時，所述支承基板具有：

元件搭載臺，其搭載有所述振動元件；

支承臺，其位于所述元件搭載臺的外側；

框，其位于所述元件搭載臺與所述支承臺之間，呈包圍所述元件搭載臺的框狀；

內側梁，其具有從所述元件搭載臺沿著第1方向向兩側延伸、且連接所述元件搭載臺和所述框的一對第1梁；以及

外側梁，其具有從所述框沿著與所述第1方向不同的第2方向向兩側延伸、且連接所述框和所述支承臺的一對第2梁，

所述多個布線具有：

驅動信號布線，其與所述驅動信號電極電連接，引繞于所述元件搭載臺和所述支承臺；以及

檢測信號布線，其與所述檢測信號電極電連接，引繞于所述元件搭載臺和所述支承臺，

所述驅動信號布線和所述檢測信號布線通過相互不同的所述內側梁而引繞于所述元件搭載臺和所述框，通過相互不同的所述外側梁而引繞于所述框和所述支承臺。

2.根據權利要求1所述的振動器件，其中，

所述外側梁具有從所述框延伸且連接所述框和所述支承臺的第3梁，

所述驅動信號布線和所述檢測信號布線中的一方通過所述第3梁而引繞于所述框和所述支承臺。

3.根據權利要求1所述的振動器件，其中，

所述外側梁具有從所述框向所述框的兩側延伸的一對第3梁，

所述驅動信號布線和所述檢測信號布線通過相互不同的所述第3梁而引繞于所述框和所述支承臺。

4.根據權利要求2或3所述的振動器件，其中，

在所述俯視觀察時，所述第3梁在所述第1方向上延伸，與所述第1梁位于同一直線上。

5.根據權利要求2所述的振動器件，其中，

通過所述第3梁的所述布線為2根以下。

6.根據權利要求1所述的振動器件，其中，

在設相互正交的3個軸為A軸、B軸和C軸時，

所述支承基板的厚度方向沿著所述C軸，

所述振動元件具有：

基臺，其固定于所述元件搭載臺；

一對所述檢測臂，它們從所述基臺沿著所述B軸朝向兩側延伸；

一對連結臂，它們從所述基臺沿著所述A軸朝向兩側延伸；

一對所述驅動臂，它們從一個所述連結臂的末端沿著所述B軸朝向兩側延伸；以及

一對所述驅動臂，它們從另一個所述連結臂的末端沿著所述B軸朝向兩側延伸。

7.根據權利要求6所述的振動器件，其中，

所述第1方向是沿著所述A軸的方向，

所述第2方向是沿著所述B軸的方向。