[發明專利]一種用于生產硅氧負極材料基于CVD工藝的加工設備在審
| 申請號: | 202011181474.2 | 申請日: | 2020-10-29 |
| 公開(公告)號: | CN112301323A | 公開(公告)日: | 2021-02-02 |
| 發明(設計)人: | 楊偉;梅田隆太 | 申請(專利權)人: | 佛山高砂工業窯爐有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/26 | 分類號: | C23C16/26;C23C16/44;H01M4/04;H01M4/36;H01M4/38;H01M4/48;H01M4/583 |
| 代理公司: | 廣州市智遠創達專利代理有限公司 44619 | 代理人: | 卓幼紅 |
| 地址: | 528000 廣東省佛山市禪城區*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 生產 負極 材料 基于 cvd 工藝 加工 設備 | ||
1.一種用于生產硅氧負極材料基于CVD工藝的加工設備,包括加熱結構,其特征在于,所述加熱結構包括加熱室(3)、燃氣燃燒嘴(4)、加熱驅動馬達(5)、加熱旋轉框(6)和輔熱板(19),所述加熱結構側壁安裝有自動供料機(1),所述加熱結構遠離自動供料機(1)的一側安裝有過篩結構,所述過篩結構包括過篩板(7)和導料管(8),所述過篩結構頂端安裝有排氣結構,所述排氣結構包括排氣處理爐(20)、集塵機(21)和排氣風機(22),所述過篩結構遠離加熱結構的一側設置有冷卻結構,所述冷卻結構包括冷卻室(10)、冷卻驅動馬達(11)、冷卻旋轉框(13)、冷卻噴淋頭(14)和冷卻水打入水站(18),所述冷卻結構遠離過篩結構的一側安裝有回收結構,所述回收結構包括排料管(15)和回收機(16),所述加熱結構和冷卻結構連接有氣氛打入結構,所述氣氛打入結構包括加熱氣體注入閥(2)、冷卻氣體注入閥(9)和氣氛打入氣站(17)。
2.根據權利要求1所述的一種用于生產硅氧負極材料基于CVD工藝的加工設備,其特征在于,所述自動供料機(1)、加熱結構、過篩結構、排氣結構、冷卻結構、回收結構和氣氛打入結構連接處均做密封處理,且均設置有密封墊片,所述加熱結構采用耐高溫合金鋼制作。
3.根據權利要求1所述的一種用于生產硅氧負極材料材料基于CVD工藝的加工設備,其特征在于,所述氣氛打入氣站(17)通過管道與加熱氣體注入閥(2)和冷卻氣體注入閥(9)連接,所述加熱氣體注入閥(2)和冷卻氣體注入閥(9)分別位于加熱室(3)和冷卻室(10)的入口處。
4.根據權利要求1所述的一種用于生產硅氧負極材料材料基于CVD工藝的加工設備,其特征在于,所述回收機(16)通過排料管(15)與冷卻室(10)出口固定連接;
所述過篩板(7)與加熱旋轉框(6)連接,所述導料管(8)連接過篩板(7)和冷卻室(10)。
5.根據權利要求1所述的一種用于生產硅氧負極材料材料基于CVD工藝的加工設備,其特征在于,所述冷卻驅動馬達(11)位于冷卻室(10)頂端,且冷卻驅動馬達(11)的輸出軸貫穿冷卻室(10)側壁與冷卻旋轉框(13)轉動連接,所述冷卻噴淋頭(14)位于冷卻室(10)內側,所述冷卻噴淋頭(14)呈均勻分布在冷卻室(10)上,且均與冷卻水打入水站(18)通過管道固定連接。
6.根據權利要求1所述的一種用于生產硅氧負極材料材料基于CVD工藝的加工設備,其特征在于,所述集塵機(21)連接燃氣處理爐(20)的排氣口和排氣風機(22),所述燃氣處理爐(20)遠離集塵機(21)的一側與過篩板(7)遠離導料管(8)的一側連接。
7.根據權利要求1所述的一種用于生產硅氧負極材料材料基于CVD工藝的加工設備,其特征在于,所述加熱驅動馬達(5)位于加熱室(3)頂端,且加熱驅動馬達(5)的輸出軸貫穿加熱室(3)側壁與加熱旋轉框(6)轉動連接,所述加熱旋轉框(6)側壁設置有輔熱板(19),所述燃氣燃燒嘴(4)位于加熱室(3)側壁,所述燃氣燃燒嘴(4)呈均勻分布在加熱室(3)側壁,且燃氣燃燒嘴(4)均貫穿加熱室(3)側壁。
8.根據權利要求1所述的一種用于生產硅氧負極材料基于CVD工藝的加工設備,其特征在于,所述冷卻旋轉框(13)和加熱旋轉框(6)內均設置有,所述旋轉葉片(12)分別與冷卻旋轉框(13)和加熱旋轉框(6)內側螺旋轉動匹配。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





