[發(fā)明專利]物理量傳感器、電子設備及移動體

在審

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• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112747740A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設計）人: 永田和幸
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C21/16
• 分類號: G01C21/16
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

本發(fā)明涉及物理量傳感器、電子設備及移動體。通過檢測靜電電容的物理量傳感器的感測區(qū)域，來降低存在于兩塊板的間隙的氣體所產生的阻尼電阻。物理量傳感器(1)具有：第一板(20)；以及隔著間隙(2)與第一板相對的第二板(10)，通過靜電電容的變化來檢測根據物理量而變化的第一板與第二板的間隙的感測區(qū)域(1A)設置于俯視觀察時第一板與第二板重疊的區(qū)域內，第一板在感測區(qū)域設置有貫通孔(25)，第二板在俯視觀察時第二板與第一板的貫通孔重疊的部分(10A)處，虛擬平面(P)至第二板的距離(H1)大于間隙的距離(H2)，該虛擬平面(P)在第一板的隔著間隙與第二板相對的面的同一平面內擴展。

技術領域

本發(fā)明涉及物理量傳感器、電子設備及移動體等。

背景技術

作為靜電電容式的物理量傳感器，專利文獻1中公開了加速度傳感器，而專利文獻2中公開了壓力傳感器。在專利文獻1的加速度傳感器中，設置有與基板隔開間隙而配置的檢測板，該基板與檢測板之間的間隙根據加速度而變化。通過檢測根據該間隙的大小而變化的靜電電容來檢測加速度。專利文獻2的壓力傳感器具有根據壓力而位移的隔板、以及與隔板隔開間隙而配置的背板。隔板與背板之間的間隙根據壓力而變化。通過檢測根據該間隙的大小而變化的靜電電容來檢測壓力。

在靜電電容式的物理量傳感器中，夾在例如一方是固定板、另一方是可動板的兩塊板之間的狹小空間的氣體例如空氣、惰性氣體成為阻礙可動板的移動的阻尼電阻。該阻尼電阻成為熱噪聲，而成為噪聲源。于是，在加速度傳感器中，在檢測板(可動板)上設置有多個貫通孔，在壓力傳感器中，在隔板(可動板)上設置有多個貫通孔。由此，阻尼電阻得以降低。

專利文獻1：日本特開2012-229939號公報

專利文獻2：日本特開2019-075738號公報

但是，存在無法充分地降低成為噪聲源的阻尼電阻的情況。

發(fā)明內容

本公開的一方式涉及物理量傳感器，具有：第一板；以及隔著間隙與所述第一板相對的第二板，通過靜電電容的變化來檢測根據物理量而變化的所述第一板與所述第二板的所述間隙的感測區(qū)域設置于俯視觀察時所述第一板與所述第二板重疊的區(qū)域內，所述第一板在所述感測區(qū)域設置有貫通孔，所述第二板在所述俯視觀察時所述第二板與所述第一板的所述貫通孔重疊的部分處，虛擬平面至所述第二板的距離大于所述間隙的距離，所述虛擬平面在所述第一板的隔著所述間隙與所述第二板相對的面的同一平面內擴展。

附圖說明

圖1是示出本發(fā)明的第一實施方式所涉及的物理量傳感器的感測區(qū)域的示意立體圖。

圖2是圖1的A-A剖視圖。

圖3是示出基于第一實施方式的阻尼電阻的降低效果的特性圖。

圖4是示出圖2所示的凹部的形狀的變形例的圖。

圖5是示出使圖2所示的凹部的大小增大的變形例的圖。

圖6是示出基于圖5的實施方式的阻尼電阻的降低效果的特性圖。

圖7是示出將貫通孔設置于層疊構造的可動板的變形例的圖。

圖8是示出將凹部設置于層疊構造的基板的電極層的變形例的圖。

圖9是示出將開口部設置于層疊構造的基板的電極層的變形例的圖。

圖10是示出將開口部設置于層疊構造的基板的電極層、將凹部設置于基板的下層的絕緣層的變形例的圖。

圖11是示出將凹部設置于層疊構造的基板的下層的絕緣層、將電極層設置于該絕緣層上的變形例的圖。

圖12是示出本發(fā)明的第二實施方式所涉及的物理量傳感器的感測區(qū)域的示意剖視圖。