[發明專利]物理量傳感器、電子設備及移動體

在審

• 申請號: 202011180398.3
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112747740A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 永田和幸
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C21/16
• 分類號: G01C21/16
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

1.一種物理量傳感器，其特征在于，具有：

第一板；以及

隔著間隙與所述第一板相對的第二板，

通過靜電電容的變化來檢測根據物理量而變化的所述第一板與所述第二板的所述間隙的感測區域設置于俯視觀察時所述第一板與所述第二板重疊的區域內，

所述第一板在所述感測區域設置有貫通孔，

所述第二板在所述俯視觀察時所述第二板與所述第一板的所述貫通孔重疊的部分處，虛擬平面至所述第二板的距離大于所述間隙的距離，所述虛擬平面在所述第一板的隔著所述間隙與所述第二板相對的面的同一平面內擴展。

2.根據權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第一板及所述第二板中的一方為電極板，所述第一板及所述第二板中的另一方包括絕緣層與電極層的層疊構造，并且所述電極層設置在與所述電極板相對的面上。

3.根據權利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第一板包括所述層疊構造，所述第二板為所述電極板，

所述電極板在所述俯視觀察時與所述貫通孔重疊的部分處，在與所述第一板的所述電極層相對的面上具有凹部。

4.根據權利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第一板為所述電極板，所述第二板包括所述層疊構造，

所述第二板的所述電極層在所述俯視觀察時與所述貫通孔重疊的部分處，在與所述電極板相對的面上具有凹部。

5.根據權利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第一板為所述電極板，所述第二板包括所述層疊構造，

所述第二板的所述電極層在所述俯視觀察時與所述貫通孔重疊的部分處具有開口部。

6.根據權利要求5所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第二板的所述絕緣層在所述俯視觀察時與所述開口部重疊的部分處，在與所述電極板相對的面上具有凹部。

7.根據權利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第二板包括所述絕緣層及所述電極層，

所述第二板的所述絕緣層在所述俯視觀察時與所述貫通孔重疊的部分處，在與所述電極層相接的面上具有凹部，

所述第二板的所述電極層在所述俯視觀察時與所述貫通孔重疊的部分處以及與所述貫通孔重疊的部分以外的其它部分處，厚度相等。

8.根據權利要求3、4、6或7所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述凹部在所述俯視觀察時的周緣的深度比所述俯視觀察時的中心的深度淺。

9.根據權利要求3、4、6或7所述的物理量傳感器，其特征在于，

在將所述貫通孔的開口面積設為S1、將所述俯視觀察時的所述凹部的面積設為S2時，S1≤S2＜2×S1成立。

10.一種物理量傳感器，其特征在于，具有：

第一板；以及

隔著間隙與所述第一板相對的第二板，

通過靜電電容的變化來檢測根據物理量而變化的所述第一板與所述第二板的間隔的感測區域設置于俯視觀察時所述第一板與所述第二板重疊的區域內，

所述第一板在所述感測區域設置有第一貫通孔，

所述第二板在所述俯視觀察時所述第二板與所述第一貫通孔重疊的部分處具有第二貫通孔。

11.一種電子設備，其特征在于，具有：

權利要求1至10中任一項所述的物理量傳感器；以及

控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進行控制。

12.一種移動體，其特征在于，具有：

權利要求1至10中任一項所述的物理量傳感器；以及

姿態控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進行姿態的控制。