[發(fā)明專利]顯示基板及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011177347.5 | 申請日: | 2020-10-28 |
| 公開(公告)號: | CN112331706A | 公開(公告)日: | 2021-02-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉如勝;申麗萍;邢汝博;李驕陽 | 申請(專利權(quán))人: | 昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 南京科知維創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 32270 | 代理人: | 梁珺 |
| 地址: | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 顯示 及其 制備 方法 | ||
1.一種顯示基板,包括襯底,所述襯底上設(shè)置有陣列排布的多個(gè)像素結(jié)構(gòu),其特征在于,每一像素結(jié)構(gòu)包括:
有機(jī)薄膜晶體管,所述有機(jī)薄膜晶體管設(shè)置在所述襯底的第一區(qū)域;
像素電極,所述像素電極設(shè)置在所述襯底的第二區(qū)域;
其中,所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域沿平行所述襯底的方向并列設(shè)置在所述襯底的一側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的顯示基板,其特征在于,所述有機(jī)薄膜晶體管還包括自下而上層疊設(shè)置的柵極、柵極絕緣層、相互隔開的源極和漏極以及有機(jī)半導(dǎo)體層。
3.如權(quán)利要求2所述的顯示基板,其特征在于,每一像素結(jié)構(gòu)還包括像素定義層,所述像素定義層設(shè)置于所述柵極絕緣層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)表面上,所述像素定義層包括溝道開孔區(qū)和像素開孔區(qū),部分所述源極和部分所述漏極分別自所述溝道開孔區(qū)中暴露出,所述像素電極自所述像素開孔區(qū)中暴露出。
4.如權(quán)利要求3所述的顯示基板,其特征在于,所述有機(jī)半導(dǎo)體層形成于所述溝道開孔區(qū)中,接觸暴露出的部分所述源極和暴露出的部分所述漏極,且覆蓋于部分所述源極、部分所述柵極絕緣層和部分所述漏極各自遠(yuǎn)離所述襯底一側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的顯示基板,其特征在于,還包括電源線和數(shù)據(jù)線,所述電源線和所述數(shù)據(jù)線分別與所述像素電極同層設(shè)置。
6.如權(quán)利要求2所述的顯示基板,其特征在于,每一像素結(jié)構(gòu)還包括儲存電容,所述儲存電容包括電容上電極;所述電容上電極和所述像素電極分別設(shè)置于所述柵極絕緣層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)。
7.如權(quán)利要求6所述的顯示基板,其特征在于,所述儲存電容還包括電容下電極,所述電容下電極與所述柵極圖案層同層設(shè)置。
8.一種顯示基板的制備方法,其特征在于,所述顯示基板的制備方法包括:
S201、提供襯底;
S202、形成有機(jī)薄膜晶體管在所述襯底的第一區(qū)域;以及
S203、形成像素電極在所述襯底的第二區(qū)域;
其中,所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域沿平行所述襯底的方向并列設(shè)置在所述襯底的一側(cè)。
9.如權(quán)利要求8中所述顯示基板的制備方法,其特征在于,
S202、所述形成有機(jī)薄膜晶體管在所述襯底的第一區(qū)域,還包括:
形成柵極于所述襯底的一側(cè);
形成柵極絕緣層于所述柵極遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)表面上;
形成源極和漏極于所述柵極絕緣層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)表面上;
S203、所述形成像素電極于所述襯底的第二區(qū)域,還包括:
形成像素電極于所述柵極絕緣層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)表面上。
10.如權(quán)利要求9中所述顯示基板的制備方法,其特征在于,還包括
S204、形成像素定義層于所述柵極絕緣層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)表面上;
S205、形成多個(gè)溝道開孔區(qū)和多個(gè)像素開孔區(qū)于所述像素定義層中,部分所述源極和部分所述漏極從對應(yīng)的溝道開孔區(qū)中暴露出;
S206、形成有機(jī)半導(dǎo)體層至對應(yīng)的所述溝道開孔區(qū)中,所述有機(jī)半導(dǎo)體層接觸部分所述源極和部分所述漏極,且覆蓋于部分所述源極、所述柵極絕緣層和部分所述漏極各自遠(yuǎn)離所述襯底一側(cè)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的





