[發(fā)明專利]一種用于晶圓光刻的高精度對準設備

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• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112230525A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 趙震
• 申請（專利權）人: 臨漳縣澳皇網(wǎng)絡科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種用于晶圓光刻的高精度對準設備，其結構包括控制屏、對準機構、固定臺、固定座，對準機構設有工作頭、固定機構、伸縮桿、固定塊，晶圓芯片在受力機構中向上滑動，且彎曲板與彈簧桿對偏移力的阻力較大，從而避免鍵合時產生偏移，防止對準后晶圓芯片產生偏差力，避免晶圓芯片表面光刻槽容易進行扭曲，避免對準后的光刻效果受偏差影響，晶圓芯片外沿對工作板中的滑動機構作用，過程中外沿在滑動板上滑動，使其滑落后貼合在摩擦板內側，且具有較大的貼合力，避免摩擦板受力時進行摩擦旋轉，對晶圓芯片產生彈力的同時避免彈力再次過度彈動，防止阻擋板作用力過小彈性過大產生偏移，在增強晶圓芯片貼合力時避免鍵合過程中受到偏移。

技術領域

本發(fā)明涉及晶圓光刻顯影領域，具體涉及一種用于晶圓光刻的高精度對準設備。

背景技術

光刻機對準設備主要作用于鍵合過程的對準，晶圓芯片鍵合時，芯片上的凸點與基板上的焊接對準，然后進行鍵合操作，由于工作頭不能接觸工件正反兩面，并且需要快速對準，繼而利用精密機械進行對位，在對圓形晶圓芯片采用彈性較強的固定槽固定時，容易受鍵合過程中的作用力影響進行平行方向的偏移，從而容易對光刻的對準精度進行影響，且由于對準重合的晶圓芯片精細度較高，對準貼合過程中受上下力的作用貼合，導致容易受平行方向的力的影響，對準過程中晶圓芯片進行偏差時容易對晶圓芯片產生作用力，從而晶圓芯片表面光刻槽容易進行扭曲，影響對準后的光刻效果。

發(fā)明內容

本發(fā)明通過如下的技術方案來實現(xiàn)：一種定向天線通信桿，其結構包括控制屏、對準機構、固定臺、固定座，所述控制屏嵌固在固定臺上端，所述固定臺貼合在固定座上表面，所述對準機構安裝于固定臺上端，所述對準機構設有工作頭、固定機構、伸縮桿、固定塊，所述伸縮桿嵌固在固定塊內部，所述工作頭安裝于伸縮桿下端，所述固定機構與工作頭位于同一中心軸線上，所述固定機構嵌固在固定臺上表面，所述工作頭內部為光刻通道，工作頭為向下的槽狀結構。

作為本發(fā)明進一步改進，所述固定機構設有貼合板、間隙板、連接塊、阻擋機構，所述貼合板位于間隙板上端，所述間隙板嵌固在連接塊內側，所述阻擋機構嵌固在連接塊上端，所述貼合板位于阻擋機構內側，所述貼合板位于工作頭下端，所述間隙板為相互貼合的柱形結構，且間隙板上端為弧形結構。

作為本發(fā)明進一步改進，所述阻擋機構設有阻擋塊、受力機構、彎曲板、彈簧桿、連接板、橡膠塊，所述受力機構嵌固在阻擋塊內部，所述彎曲板位于受力機構外側，所述彈簧桿焊接在連接板內側，所述橡膠塊位于連接板內側下端，所述連接板嵌固在連接塊上端，所述彎曲板為弧形結構。

作為本發(fā)明進一步改進，所述受力機構設有滑動板、吸附槽、受力板，所述吸附槽位于受力板內部，所述滑動板嵌固在受力板左側，所述受力板上端安裝于阻擋塊內側，所述滑動板為弧形結構，所述吸附槽為上窄下寬的三角形結構。

作為本發(fā)明進一步改進，所述工作頭設有光刻板、滑動機構、工作板、固定槽，所述光刻板嵌固在固定槽表面，所述滑動機構安裝于工作板表面，所述固定槽位于滑動機構內側，所述工作板嵌固在伸縮桿下端，光刻板與滑動機構位于同一中心軸線上。

作為本發(fā)明進一步改進，所述滑動機構設有摩擦板、阻擋板、固定板、支撐桿、滑動板，所述摩擦板焊接在阻擋板內側，所述阻擋板與固定板為一體化結構，所述支撐桿位于固定板上端，所述滑動板安裝于支撐桿上端，所述固定板嵌固在工作板表面，所述阻擋板為彈性較弱的彎曲結構，具有較強的彈性恢復力，所述摩擦板表面設有孔狀橡膠環(huán)。

有益效果

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明有益效果在于：

1、晶圓芯片的外圍表面為錐型機構，固定后受到水平力時，需要在受力機構中向上滑動，在其側面上進行位移，傾斜狀態(tài)的受力機構需要進行移動所需作用力過大，且彎曲板與彈簧桿對偏移力的阻力較大，從而避免鍵合時產生偏移，防止對準后晶圓芯片產生偏差力，避免晶圓芯片表面光刻槽容易進行扭曲，避免對準后的光刻效果受偏差影響。