[發(fā)明專利]一種用于晶圓光刻的高精度對準設備

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• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112230525A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 趙震
• 申請（專利權）人: 臨漳縣澳皇網(wǎng)絡科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于晶圓光刻的高精度對準設備，其結(jié)構包括控制屏(1)、對準機構(2)、固定臺(3)、固定座(4)，所述控制屏(1)嵌固在固定臺(3)上端，所述固定臺(3)貼合在固定座(4)上表面，所述對準機構(2)安裝于固定臺(3)上端，其特征在于：

所述對準機構(2)設有工作頭(21)、固定機構(22)、伸縮桿(23)、固定塊(24)，所述伸縮桿(23)嵌固在固定塊(24)內(nèi)部，所述工作頭(21)安裝于伸縮桿(23)下端，所述固定機構(22)與工作頭(21)位于同一中心軸線上，所述固定機構(22)嵌固在固定臺(3)上表面。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于晶圓光刻的高精度對準設備，其特征在于：所述固定機構(22)設有貼合板(221)、間隙板(222)、連接塊(223)、阻擋機構(224)，所述貼合板(221)位于間隙板(222)上端，所述間隙板(222)嵌固在連接塊(223)內(nèi)側(cè)，所述阻擋機構(224)嵌固在連接塊(223)上端，所述貼合板(221)位于阻擋機構(224)內(nèi)側(cè)，所述貼合板(221)位于工作頭(21)下端。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種用于晶圓光刻的高精度對準設備，其特征在于：所述阻擋機構(224)設有阻擋塊(a1)、受力機構(a2)、彎曲板(a3)、彈簧桿(a4)、連接板(a5)、橡膠塊(a6)，所述受力機構(a2)嵌固在阻擋塊(a1)內(nèi)部，所述彎曲板(a3)位于受力機構(a2)外側(cè)，所述彈簧桿(a4)焊接在連接板(a5)內(nèi)側(cè)，所述橡膠塊(a6)位于連接板(a5)內(nèi)側(cè)下端，所述連接板(a5)嵌固在連接塊(223)上端。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種用于晶圓光刻的高精度對準設備，其特征在于：所述受力機構(a2)設有滑動板(a21)、吸附槽(a22)、受力板(a23)，所述吸附槽(a22)位于受力板(a23)內(nèi)部，所述滑動板(a21)嵌固在受力板(a23)左側(cè)，所述受力板(a23)上端安裝于阻擋塊(a1)內(nèi)側(cè)。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種用于晶圓光刻的高精度對準設備，其特征在于：所述工作頭(21)設有光刻板(w1)、滑動機構(w2)、工作板(w3)、固定槽(w4)，所述光刻板(w1)嵌固在固定槽(w4)表面，所述滑動機構(w2)安裝于工作板(w3)表面，所述固定槽(w4)位于滑動機構(w2)內(nèi)側(cè)，所述工作板(w3)嵌固在伸縮桿(23)下端。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種用于晶圓光刻的高精度對準設備，其特征在于：所述滑動機構(w2)設有摩擦板(w21)、阻擋板(w22)、固定板(w23)、支撐桿(w24)、滑動板(w25)，所述摩擦板(w21)焊接在阻擋板(w22)內(nèi)側(cè)，所述阻擋板(w22)與固定板(w23)為一體化結(jié)構，所述支撐桿(w24)位于固定板(w23)上端，所述滑動板(w25)安裝于支撐桿(w24)上端，所述固定板(w23)嵌固在工作板(w3)表面。