[發(fā)明專利]光刻機(jī)載片臺(tái)清掃裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011169794.6
• 申請(qǐng)日: 2020-10-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112296018A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號(hào): B08B5/02
• 分類號(hào): B08B5/02;B08B15/04;B08B13/00;B08B3/02;B08B3/08;A61L2/18;A61L101/34
• 代理公司: 上海匯齊專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31364
• 代理人: 朱明福

本發(fā)明公開(kāi)了光刻機(jī)載片臺(tái)清掃裝置，包括清潔箱，所述清潔箱的下表面為開(kāi)口結(jié)構(gòu)，所述清潔箱的右、右側(cè)壁分別開(kāi)設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔的內(nèi)壁分別螺紋連接有螺紋頂絲，兩個(gè)所述螺紋頂絲的相對(duì)端的延伸至清潔箱的內(nèi)腔，所述螺紋頂絲的外表面螺紋連接有固定螺母。該光刻機(jī)載片臺(tái)清掃裝置，通過(guò)設(shè)置清潔箱和功能箱內(nèi)部的吹風(fēng)機(jī)構(gòu)、吸塵機(jī)構(gòu)和清洗機(jī)構(gòu)組成的一套清掃裝置，可以對(duì)光刻機(jī)載片臺(tái)進(jìn)行吹塵、吸塵和酒精清洗消毒的組合操作，通過(guò)設(shè)置清潔箱的下表面為開(kāi)口結(jié)構(gòu)，可以方便將清潔箱通過(guò)滑輪移動(dòng)到載片臺(tái)的上方位置，使得載片臺(tái)位于清潔箱的內(nèi)腔中，使得清洗環(huán)境處于半封閉的狀態(tài)，提高了清掃的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及清掃裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為光刻機(jī)載片臺(tái)清掃裝置。

背景技術(shù)

光刻機(jī)又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，常用的光刻機(jī)是掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)，一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，光刻的意思是用光來(lái)制作一個(gè)圖形工藝，在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過(guò)程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上的過(guò)程，在芯片制造漫長(zhǎng)的產(chǎn)業(yè)鏈中，光刻機(jī)是最為耀眼的明珠，它代表了人類科技發(fā)展的頂級(jí)水平(另一個(gè)是航空發(fā)動(dòng)機(jī))，它是芯片制造中必不可少的精密設(shè)備。

光刻機(jī)在光刻過(guò)程中，光刻機(jī)的載片臺(tái)如果受到微塵污染，就可能導(dǎo)致產(chǎn)品局部損壞等問(wèn)題，嚴(yán)重情況下甚至?xí)斐僧a(chǎn)品報(bào)廢，給企業(yè)帶來(lái)經(jīng)濟(jì)損失。

為此，我們提供了光刻機(jī)載片臺(tái)清掃裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供光刻機(jī)載片臺(tái)清掃裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：光刻機(jī)載片臺(tái)清掃裝置，包括清潔箱，所述清潔箱的下表面為開(kāi)口結(jié)構(gòu)，所述清潔箱的右、右側(cè)壁分別開(kāi)設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔的內(nèi)壁分別螺紋連接有螺紋頂絲，兩個(gè)所述螺紋頂絲的相對(duì)端的延伸至清潔箱的內(nèi)腔，所述螺紋頂絲的外表面螺紋連接有固定螺母，所述螺紋頂絲遠(yuǎn)離固定螺母的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定塊，所述固定塊遠(yuǎn)離螺紋頂絲的一側(cè)固定連接有橡膠塊，兩個(gè)所述橡膠塊的相對(duì)面之間設(shè)置有載片臺(tái)，所述清潔箱的上表面固定連接有功能箱，所述功能箱的內(nèi)腔分別設(shè)置有吹風(fēng)機(jī)構(gòu)、吸塵機(jī)構(gòu)和清洗機(jī)構(gòu)，所述吹風(fēng)機(jī)構(gòu)包括固鼓風(fēng)機(jī)，所述吸塵機(jī)構(gòu)包括微型吸塵器，所述清洗機(jī)構(gòu)包括噴霧瓶。

優(yōu)選的，所述清潔箱左側(cè)壁位于螺紋孔上部的位置開(kāi)設(shè)有通孔，通孔的內(nèi)壁固定連接有進(jìn)風(fēng)管，所述進(jìn)風(fēng)管的左側(cè)進(jìn)風(fēng)端固定連接有第一橡膠軟管，所述第一橡膠軟管遠(yuǎn)離進(jìn)風(fēng)管的一端固定連接有出風(fēng)管，所述出風(fēng)管遠(yuǎn)離第一橡膠軟管的一端貫穿功能箱的左側(cè)壁且與鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)端固定連接，所述進(jìn)風(fēng)管的出風(fēng)端延伸至載片臺(tái)左側(cè)且靠近載片臺(tái)上表面的位置。

優(yōu)選的，所述清潔箱右側(cè)壁靠近內(nèi)頂壁的位置開(kāi)設(shè)有通孔，通孔的內(nèi)壁固定連接有第一吸氣管，所述第一吸氣管的左端貫穿清潔箱的右側(cè)壁且固定連接有喇叭斗，所述第一吸氣管遠(yuǎn)離喇叭斗的一端固定連接有第二橡膠軟管，所述第二橡膠軟管遠(yuǎn)離第一吸氣管的一端固定連接有第二吸氣管，所述第二吸氣管的左端貫穿功能箱的右側(cè)壁且與微型吸塵器的吸氣端固定連接。

優(yōu)選的，所述清潔箱的上表面開(kāi)設(shè)有通孔，通孔的內(nèi)壁固定連接有豎管，所述豎管的底部延伸至清潔箱的內(nèi)腔且固定連接有噴霧管，所述噴霧管的下表面固定連接有噴霧頭，所述噴霧頭的數(shù)量為若干個(gè)，所述豎管的頂端固定連接有透明軟管，所述透明軟管遠(yuǎn)離豎管的一端與噴霧瓶的輸出端固定連接，所述噴霧管位于載片臺(tái)正上方的位置。

優(yōu)選的，所述清潔箱的下表面四個(gè)角分別固定連接有連接桿，所述連接桿的底部通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑輪。

優(yōu)選的，所述功能箱的左側(cè)外壁固定連接有開(kāi)關(guān)面板，所述開(kāi)關(guān)面板的外表面分別設(shè)置有鼓風(fēng)機(jī)開(kāi)關(guān)和微型吸塵器開(kāi)關(guān)，所述開(kāi)關(guān)面板和鼓風(fēng)機(jī)、微型吸塵器均通過(guò)導(dǎo)線電性連接，所述開(kāi)關(guān)面板通過(guò)電線插頭連接外部供電。