[發明專利]光刻機載片臺清掃裝置

在審

• 申請號: 202011169794.6
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112296018A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 鐘敏
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B15/04;B08B13/00;B08B3/02;B08B3/08;A61L2/18;A61L101/34
• 代理公司: 上海匯齊專利代理事務所(普通合伙) 31364
• 代理人: 朱明福

1.光刻機載片臺清掃裝置，包括清潔箱(1)，其特征在于：所述清潔箱(1)的下表面為開口結構，所述清潔箱(1)的右、右側壁分別開設有螺紋孔(2)，所述螺紋孔(2)的內壁分別螺紋連接有螺紋頂絲(3)，兩個所述螺紋頂絲(3)的相對端的延伸至清潔箱(1)的內腔，所述螺紋頂絲(3)的外表面螺紋連接有固定螺母(4)，所述螺紋頂絲(3)遠離固定螺母(4)的一端通過轉軸轉動連接有固定塊(5)，所述固定塊(5)遠離螺紋頂絲(3)的一側固定連接有橡膠塊(6)，兩個所述橡膠塊(6)的相對面之間設置有載片臺(7)，所述清潔箱(1)的上表面固定連接有功能箱(8)，所述功能箱(8)的內腔分別設置有吹風機構、吸塵機構和清洗機構，所述吹風機構包括固鼓風機(9)，所述吸塵機構包括微型吸塵器(10)，所述清洗機構包括噴霧瓶(11)。

2.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述清潔箱(1)左側壁位于螺紋孔(2)上部的位置開設有通孔，通孔的內壁固定連接有進風管(12)，所述進風管(12)的左側進風端固定連接有第一橡膠軟管(13)，所述第一橡膠軟管(13)遠離進風管(12)的一端固定連接有出風管(14)，所述出風管(14)遠離第一橡膠軟管(13)的一端貫穿功能箱(8)的左側壁且與鼓風機(9)的出風端固定連接，所述進風管(12)的出風端延伸至載片臺(7)左側且靠近載片臺(7)上表面的位置。

3.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述清潔箱(1)右側壁靠近內頂壁的位置開設有通孔，通孔的內壁固定連接有第一吸氣管(15)，所述第一吸氣管(15)的左端貫穿清潔箱(1)的右側壁且固定連接有喇叭斗(16)，所述第一吸氣管(15)遠離喇叭斗(16)的一端固定連接有第二橡膠軟管(17)，所述第二橡膠軟管(17)遠離第一吸氣管(15)的一端固定連接有第二吸氣管(18)，所述第二吸氣管(18)的左端貫穿功能箱(8)的右側壁且與微型吸塵器(10)的吸氣端固定連接。

4.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述清潔箱(1)的上表面開設有通孔，通孔的內壁固定連接有豎管(19)，所述豎管(19)的底部延伸至清潔箱(1)的內腔且固定連接有噴霧管(20)，所述噴霧管(20)的下表面固定連接有噴霧頭(21)，所述噴霧頭(21)的數量為若干個，所述豎管(19)的頂端固定連接有透明軟管(22)，所述透明軟管(22)遠離豎管(19)的一端與噴霧瓶(11)的輸出端固定連接，所述噴霧管(20)位于載片臺(7)正上方的位置。

5.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述清潔箱(1)的下表面四個角分別固定連接有連接桿(23)，所述連接桿(23)的底部通過轉軸轉動連接有滑輪(24)。

6.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述功能箱(8)的左側外壁固定連接有開關面板(25)，所述開關面板(25)的外表面分別設置有鼓風機(9)開關和微型吸塵器(10)開關，所述開關面板(25)和鼓風機(9)、微型吸塵器(10)均通過導線電性連接，所述開關面板(25)通過電線插頭連接外部供電。

7.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述清潔箱(1)的正面通過阻尼轉軸轉動連接有第一柜門(26)，所述第一柜門(26)的外表面開設有觀察窗(27)，所述第一柜門(26)背面的左、右兩側均固定連接有磁條，所述清潔箱(1)右、右內側壁底部靠近第一柜門(26)的位置均固定連接有磁條，兩組對應位置的磁條均磁性相吸。

8.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述功能箱(8)的正面通過合頁轉動連接有第二柜門(28)，所述第二柜門(28)的數量為兩個，所述第二柜門(28)的正面均開設有條形散熱孔(30)，所述條形散熱孔(30)的數量為八個，所述功能箱(8)的上表面通過轉軸轉動連接有把手(29)。

9.根據權利要求1所述的光刻機載片臺清掃裝置，其特征在于：所述噴霧瓶(11)的內腔盛放有酒精消毒液，所述微型吸塵器(10)的內部設置有空氣濾芯。