[發(fā)明專利]一種芯片光刻顯影設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011168642.4
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112230518A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙震
• 申請（專利權(quán)）人: 臨漳縣澳皇網(wǎng)絡(luò)科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種芯片光刻顯影設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括主體、控制面板、散熱口，主體的頂部設(shè)有控制面板，散熱口設(shè)有兩個，且分別位于主體的前端與側(cè)端，主體包括水槽、放置裝置、攪拌槳、循環(huán)水管、收集裝置，放置裝置包括過濾網(wǎng)、放置板、通水孔、排水槽，排水槽包括導(dǎo)料塊、安裝槽、導(dǎo)向裝置，導(dǎo)向裝置包括轉(zhuǎn)動軸、回卷彈簧、導(dǎo)料板、卡料塊，本發(fā)明利用在放置裝置的側(cè)端設(shè)置過濾網(wǎng)將銅屑進(jìn)行過濾，再利用將循環(huán)水管設(shè)置在水槽的底端對蝕刻液進(jìn)行抽取，使得蝕刻液能夠帶動銅屑往放置排水槽的外端進(jìn)行流動，最后利用導(dǎo)向裝置的翻轉(zhuǎn)功能，能夠避免置于水槽中的銅屑跟隨蝕刻液往放置裝置內(nèi)部進(jìn)行流動，從而不會讓反應(yīng)產(chǎn)生的銅屑附在芯片上的情況。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓光刻顯影領(lǐng)域，具體的是一種芯片光刻顯影設(shè)備。

背景技術(shù)

芯片的制造中利用光學(xué)、化學(xué)反應(yīng)的、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術(shù)，由于芯片的體積較小，在加工的時候?qū)τ谠O(shè)備的精度要求較大，需要通過專業(yè)的設(shè)備進(jìn)行加工，芯片在光刻之后需要進(jìn)行顯影，顯影時將芯片放置在裝有蝕刻液的水槽中，讓蝕刻液與芯片發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使芯片中的電路進(jìn)行顯影。

基于上述本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的一種芯片光刻顯影設(shè)備主要存在以下幾點不足，比如：蝕刻液與芯片進(jìn)行反應(yīng)的時候，芯片的表面會脫落銅屑，銅屑脫落之后置于水槽中易附在芯片的端面，使得芯片的端面受到銅屑的遮擋，導(dǎo)致蝕刻液與芯片端面的接觸面積變小，造成芯片時刻速度變慢的情況。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題，本發(fā)明提供一種芯片光刻顯影設(shè)備。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種芯片光刻顯影設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括主體、控制面板、散熱口，所述主體的頂部設(shè)有控制面板，所述散熱口設(shè)有兩個，且分別位于主體的前端與側(cè)端，所述主體包括水槽、放置裝置、攪拌槳、循環(huán)水管、收集裝置，所述水槽設(shè)置在主體的內(nèi)部側(cè)端，所述放置裝置橫向安裝在水槽的正中間，所述攪拌槳設(shè)置在水槽的底部，所述循環(huán)水管設(shè)有兩個，且分別安裝在水槽的上下兩端，位于下端的循環(huán)水管能夠進(jìn)行抽水，所述收集裝置設(shè)置在下端的循環(huán)水管中。

進(jìn)一步的，所述放置裝置包括過濾網(wǎng)、放置板、通水孔、排水槽，所述過濾網(wǎng)設(shè)置在放置裝置的側(cè)端頂部，所述放置板水平安裝在放置裝置的正中間，所述通水孔設(shè)有八個，且橫向排列在放置板的左右兩端，所述排水槽位于放置裝置的底端，所述排水槽與水平面之間的夾角為45度。

進(jìn)一步的，所述排水槽包括導(dǎo)料塊、安裝槽、導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)料塊設(shè)置在排水槽的正中間，所述安裝槽設(shè)有八個，且橫向排列在排水槽的上下端面，所述導(dǎo)向裝置安裝在安裝槽中，所述導(dǎo)料塊兩端面的寬度由內(nèi)到外逐漸變大。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)向裝置包括轉(zhuǎn)動軸、回卷彈簧、導(dǎo)料板、卡料塊，所述轉(zhuǎn)動軸卡合在安裝槽中，所述回卷彈簧嵌套在轉(zhuǎn)動軸的側(cè)端，所述導(dǎo)料板嵌固在轉(zhuǎn)動軸的端面，所述卡料塊設(shè)有兩個，且分別位于導(dǎo)料板的端面，所述導(dǎo)料板的端面為圓弧狀。

進(jìn)一步的，所述收集裝置包括導(dǎo)料罩、通料孔、濾料網(wǎng)、卡管槽、集料槽，所述導(dǎo)料罩設(shè)置在收集裝置的頂部，所述通料孔設(shè)有八個，且橫向排列在導(dǎo)料罩的端面，所述濾料網(wǎng)安裝在收集裝置的內(nèi)部正中間，所述卡管槽位于收集裝置的底部正中間，所述集料槽設(shè)于卡管槽的側(cè)端，所述濾料網(wǎng)為圓錐狀。

進(jìn)一步的，所述集料槽包括進(jìn)料口、防回流塊、卡料板、通水濾網(wǎng)、清料門，所述進(jìn)料口為錐狀，且設(shè)置在集料槽的頂部，所述防回流塊設(shè)有五個，且橫向排列在進(jìn)料口的正中間，所述卡料板設(shè)有三個，且嵌固在集料槽的內(nèi)部，所述通水濾網(wǎng)位于集料槽的側(cè)端底部，且貫穿于集料槽，所述清料門安裝在集料槽的底部，所述卡料板與水平面之間的夾角為45度，且交錯安裝在集料槽的內(nèi)部。

進(jìn)一步的，所述防回流塊包括板體、轉(zhuǎn)塊、復(fù)位彈簧、導(dǎo)流塊，所述板體設(shè)有兩個，且相互連接在一起，所述轉(zhuǎn)塊與兩個板體相卡合，所述復(fù)位彈簧安裝在板體的側(cè)端，所述導(dǎo)流塊設(shè)有六個，且以三個為一組排列在板體的上端面，所述導(dǎo)流塊的端面為圓弧狀。