[發明專利]一種芯片光刻顯影設備

在審

• 申請號: 202011168642.4
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112230518A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 趙震
• 申請（專利權）人: 臨漳縣澳皇網絡科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片光刻顯影設備，其結構包括主體(1)、控制面板(2)、散熱口(3)，所述主體(1)的頂部設有控制面板(2)，所述散熱口(3)設有兩個，且分別位于主體(1)的前端與側端，其特征在于：

所述主體(1)包括水槽(11)、放置裝置(12)、攪拌槳(13)、循環水管(14)、收集裝置(15)，所述水槽(11)設置在主體(1)的內部側端，所述放置裝置(12)橫向安裝在水槽(11)的正中間，所述攪拌槳(13)設置在水槽(11)的底部，所述循環水管(14)設有兩個，且分別安裝在水槽(11)的上下兩端，所述收集裝置(15)設置在下端的循環水管(14)中。

2.根據權利要求1所述的一種芯片光刻顯影設備，其特征在于：所述放置裝置(12)包括過濾網(121)、放置板(122)、通水孔(123)、排水槽(124)，所述過濾網(121)設置在放置裝置(12)的側端頂部，所述放置板(122)水平安裝在放置裝置(12)的正中間，所述通水孔(123)設有八個，且橫向排列在放置板(122)的左右兩端，所述排水槽(124)位于放置裝置(12)的底端。

3.根據權利要求2所述的一種芯片光刻顯影設備，其特征在于：所述排水槽(124)包括導料塊(a1)、安裝槽(a2)、導向裝置(a3)，所述導料塊(a1)設置在排水槽(124)的正中間，所述安裝槽(a2)設有八個，且橫向排列在排水槽(124)的上下端面，所述導向裝置(a3)安裝在安裝槽(a2)中。

4.根據權利要求3所述的一種芯片光刻顯影設備，其特征在于：所述導向裝置(a3)包括轉動軸(a31)、回卷彈簧(a32)、導料板(a33)、卡料塊(a34)，所述轉動軸(a31)卡合在安裝槽(a2)中，所述回卷彈簧(a32)嵌套在轉動軸(a31)的側端，所述導料板(a33)嵌固在轉動軸(a31)的端面，所述卡料塊(a34)設有兩個，且分別位于導料板(a33)的端面。

5.根據權利要求1所述的一種芯片光刻顯影設備，其特征在于：所述收集裝置(15)包括導料罩(b1)、通料孔(b2)、濾料網(b3)、卡管槽(b4)、集料槽(b5)，所述導料罩(b1)設置在收集裝置(15)的頂部，所述通料孔(b2)設有八個，且橫向排列在導料罩(b1)的端面，所述濾料網(b3)安裝在收集裝置(15)的內部正中間，所述卡管槽(b4)位于收集裝置(15)的底部正中間，所述集料槽(b5)設于卡管槽(b4)的側端。

6.根據權利要求5所述的一種芯片光刻顯影設備，其特征在于：所述集料槽(b5)包括進料口(b51)、防回流塊(b52)、卡料板(b53)、通水濾網(b54)、清料門(b55)，所述進料口(b51)為錐狀，且設置在集料槽(b5)的頂部，所述防回流塊(b52)設有五個，且橫向排列在進料口(b51)的正中間，所述卡料板(b53)設有三個，且嵌固在集料槽(b5)的內部，所述通水濾網(b54)位于集料槽(b5)的側端底部，且貫穿于集料槽(b5)，所述清料門(b55)安裝在集料槽(b5)的底部。

7.根據權利要求6所述的一種芯片光刻顯影設備，其特征在于：所述防回流塊(b52)包括板體(c1)、轉塊(c2)、復位彈簧(c3)、導流塊(c4)，所述板體(c1)設有兩個，且相互連接在一起，所述轉塊(c2)與兩個板體(c1)相卡合，所述復位彈簧(c3)安裝在板體(c1)的側端，所述導流塊(c4)設有六個，且以三個為一組排列在板體(c1)的上端面。