[發(fā)明專利]一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011160457.0
• 申請(qǐng)日: 2020-10-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112230519A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙震
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臨漳縣澳皇網(wǎng)絡(luò)科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括剝離箱、箱門、活動(dòng)柜，箱門通過(guò)鉸鏈連接于剝離箱前側(cè)，活動(dòng)柜通過(guò)間隙連接于剝離箱前側(cè)前側(cè)且位于箱門下方，本發(fā)明的有益效果在于：?jiǎn)?dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)使剝離器轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)光刻膠進(jìn)行剝離，在彈簧的拉力與彈力下使定位塊與移動(dòng)桿通過(guò)固定塊對(duì)壓板的位置進(jìn)行支撐固定，避免剝離器在運(yùn)行時(shí)搖晃掉落，便于剝離器對(duì)晶圓上的光刻膠進(jìn)行剝離，剝離器轉(zhuǎn)動(dòng)使刮板對(duì)晶圓表面的光刻膠進(jìn)行刮除，同時(shí)海綿塊將覆蓋在晶圓表面的霧氣進(jìn)行擦拭吸附，使霧氣中的水分進(jìn)入導(dǎo)水塊中，以免對(duì)晶圓進(jìn)行遮蓋影響圖案的顯示，此時(shí)水在吸水塊內(nèi)短暫停留，并在導(dǎo)板的隔檔下使導(dǎo)水塊導(dǎo)水塊與導(dǎo)板繞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)將水向下甩出。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓光刻顯影領(lǐng)域，尤其是涉及到一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設(shè)備。

背景技術(shù)

通常在晶圓的器件面上涂覆一層光刻膠，使得經(jīng)過(guò)曝光、顯影等步驟在光刻膠上形成光刻圖案，通過(guò)光刻膠完成圖案轉(zhuǎn)移之后，需要去除光刻膠殘余物，光刻膠剝離是在設(shè)備的腔室中干法刻蝕法經(jīng)過(guò)離子注入去除光刻圖案膠層，便于晶圓對(duì)圖案的顯影。

目前現(xiàn)有的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設(shè)備，在使用干法刻蝕以去除經(jīng)過(guò)離子注入的光刻圖案膠層時(shí)，離子與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)使得晶圓產(chǎn)生高溫并在高溫的籠罩下生成大量的霧氣，致使這些霧氣漂浮并覆蓋在晶圓上對(duì)圖案進(jìn)行遮擋，導(dǎo)致未能完整的顯示光刻膠圖案。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設(shè)備，在使用干法刻蝕以去除經(jīng)過(guò)離子注入的光刻圖案膠層時(shí)，離子與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)使得晶圓產(chǎn)生高溫并在高溫的籠罩下生成大量的霧氣，致使這些霧氣漂浮并覆蓋在晶圓上對(duì)圖案進(jìn)行遮擋，導(dǎo)致未能完整的顯示光刻膠圖案的不足，本發(fā)明提供一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設(shè)備來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題。

本發(fā)明是通過(guò)如下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括剝離箱、箱門、活動(dòng)柜，所述箱門通過(guò)鉸鏈連接于剝離箱前側(cè)，所述活動(dòng)柜通過(guò)間隙連接于剝離箱前側(cè)前側(cè)且位于箱門下方，所述剝離箱包括驅(qū)動(dòng)機(jī)、隔板、密封圈、剝離器、擋板、固定板，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)配合安裝在剝離箱內(nèi)部，所述隔板外側(cè)通過(guò)焊接連接于剝離箱內(nèi)壁，所述密封圈嵌固于隔板內(nèi)側(cè)，所述剝離器貫穿密封圈，且剝離器底部與驅(qū)動(dòng)機(jī)頂部相連接，所述擋板通過(guò)螺栓連接于剝離箱左右內(nèi)壁，所述固定板嵌固于剝離箱上內(nèi)壁，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)頂部鏤空，且密封圈呈圓環(huán)狀，并且擋板有兩塊，同時(shí)兩塊擋板向剝離箱內(nèi)部?jī)A斜。

更進(jìn)一步的說(shuō)，所述密封圈包括套筒、壓板、轉(zhuǎn)桿，所述套筒垂直貫穿于密封圈內(nèi)部，所述壓板與密封圈上下表面為一體化結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)桿通過(guò)活動(dòng)卡合連接于密封圈左右內(nèi)壁，且轉(zhuǎn)桿緊貼于套筒置于兩側(cè)，所述壓板為弧形的橡膠板，且壓板具有向套筒壓實(shí)的彈力，并且轉(zhuǎn)桿表面光滑。

更進(jìn)一步的說(shuō)，所述壓板包括橡膠條、固定塊、限位桿，所述左壁橡膠條嵌固于右端，所述固定塊通過(guò)焊接連接于壓板內(nèi)底部，所述限位桿安裝在固定塊正下方，所述壓板下表面設(shè)有向上凹的槽，且橡膠條為長(zhǎng)條的半圓柱形，并且限位桿呈弧形彎曲。

更進(jìn)一步的說(shuō)，所述限位桿包括限位塊、彈簧、定位塊、移動(dòng)桿，所述限位塊嵌固于限位桿頂端，所述彈簧一端嵌固于限位桿內(nèi)部，所述定位塊下表面與彈簧另一端相焊接，所述移動(dòng)桿嵌固于定位塊與固定塊之間，且移動(dòng)桿貫穿限位塊內(nèi)部，所述彈簧的彈力與壓板的重力相等，且定位塊緊貼于限位桿內(nèi)壁。

更進(jìn)一步的說(shuō)，所述剝離器包括支撐塊、刮板、海綿塊、導(dǎo)水塊，所述支撐塊底部嵌固于剝離器上內(nèi)壁，所述刮板嵌固于支撐塊頂部，所述海綿塊上表面與刮板上表面位于同一水平面上，所述導(dǎo)水塊設(shè)于海綿塊內(nèi)部，所述刮板頂部四周呈傾斜狀，且刮板與海綿塊各有兩塊。

更進(jìn)一步的說(shuō)，所述導(dǎo)水塊包括通孔、吸水塊、轉(zhuǎn)軸、導(dǎo)板，所述通孔嵌設(shè)于導(dǎo)水塊內(nèi)部，所述吸水塊嵌固于導(dǎo)水塊內(nèi)壁，所述轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)水塊位于同一軸線上，所述導(dǎo)板通過(guò)焊接連接于轉(zhuǎn)軸外表面，所述通孔上大下小呈漏斗形，且導(dǎo)板末端朝順時(shí)針?lè)较驈澢?/p>