[發明專利]一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備

在審

• 申請號: 202011160457.0
• 申請日: 2020-10-27
• 公開（公告）號: CN112230519A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 趙震
• 申請（專利權）人: 臨漳縣澳皇網絡科技有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備，其結構包括剝離箱(1)、箱門(2)、活動柜(3)，所述箱門(2)通過鉸鏈連接于剝離箱(1)前側，所述活動柜(3)通過間隙連接于剝離箱(1)前側前側且位于箱門(2)下方，其特征在于：

所述剝離箱(1)包括驅動機(11)、隔板(12)、密封圈(13)、剝離器(14)、擋板(15)、固定板(16)，所述驅動機(11)配合安裝在剝離箱(1)內部，所述隔板(12)外側通過焊接連接于剝離箱(1)內壁，所述密封圈(13)嵌固于隔板(12)內側，所述剝離器(14)貫穿密封圈(13)，且剝離器(14)底部與驅動機(11)頂部相連接，所述擋板(15)通過螺栓連接于剝離箱(1)左右內壁，所述固定板(16)嵌固于剝離箱(1)上內壁。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備，其特征在于：所述密封圈(13)包括套筒(131)、壓板(132)、轉桿(133)，所述套筒(131)垂直貫穿于密封圈(13)內部，所述壓板(132)與密封圈(13)上下表面為一體化結構，所述轉桿(133)通過活動卡合連接于密封圈(13)左右內壁，且轉桿(133)緊貼于套筒(131)置于兩側。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備，其特征在于：所述壓板(132)包括橡膠條(a1)、固定塊(a2)、限位桿(a3)，所述左壁橡膠條(a1)嵌固于(132)右端，所述固定塊(a2)通過焊接連接于壓板(132)內底部，所述限位桿(a3)安裝在固定塊(a2)正下方。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備，其特征在于：所述限位桿(a3)包括限位塊(a31)、彈簧(a32)、定位塊(a33)、移動桿(a34)，所述限位塊(a31)嵌固于限位桿(a3)頂端，所述彈簧(a32)一端嵌固于限位桿(a3)內部，所述定位塊(a33)下表面與彈簧(a32)另一端相焊接，所述移動桿(a34)嵌固于定位塊(a33)與固定塊(a2)之間，且移動桿(a34)貫穿限位塊(a31)內部。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備，其特征在于：所述剝離器(14)包括支撐塊(141)、刮板(142)、海綿塊(143)、導水塊(144)，所述支撐塊(141)底部嵌固于剝離器(14)上內壁，所述刮板(142)嵌固于支撐塊(141)頂部，所述海綿塊(143)上表面與刮板(142)上表面位于同一水平面上，所述導水塊(144)設于海綿塊(143)內部。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備，其特征在于：所述導水塊(144)包括通孔(b1)、吸水塊(b2)、轉軸(b3)、導板(b4)，所述通孔(b1)嵌設于導水塊(144)內部，所述吸水塊(b2)嵌固于導水塊(144)內壁，所述轉軸(b3)與導水塊(144)位于同一軸線上，所述導板(b4)通過焊接連接于轉軸(b3)外表面。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓光刻膠剝離防霧氣外溢設備，其特征在于：所述吸水塊(b2)包括固定桿(b21)、支撐球(b22)、通槽(b23)，所述固定桿(b21)垂直貫穿于吸水塊(b2)內部，所述支撐球(b22)嵌固于固定桿(b21)中段，所述通槽(b23)嵌設于吸水塊(b2)上下表面。