[發(fā)明專(zhuān)利]一種應(yīng)用于集成電路行業(yè)的陶瓷層的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011160423.1
• 申請(qǐng)日: 2020-10-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112501540A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐俊陽(yáng);李加
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C4/134
• 分類(lèi)號(hào): C23C4/134;C23C4/04;C23C4/02
• 代理公司: 沈陽(yáng)優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 孫奇

本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于集成電路行業(yè)的陶瓷涂層的制備方法，主要包括以下步驟：(1)將試樣或零件不需要噴涂的部位進(jìn)行遮蔽；(2)對(duì)試樣或零件進(jìn)行噴涂前前處理；(3)選用顆粒直徑在25?45μm之間的氟氧化釔粉末；(4)用大氣等離子噴涂技術(shù)進(jìn)行噴涂；(5)去除遮蔽保護(hù)，清洗零件。采用該方法獲得的氟氧化釔涂層的厚度在150?250μm之間，涂層的孔隙率低于2％，涂層更致密、更均勻、潔凈度更高，有效地提高了集成電路行業(yè)的零部件的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及大氣等離子噴涂技術(shù)，具體說(shuō)是一種應(yīng)用于集成電路行業(yè)的陶瓷層的制備方法。

背景技術(shù)

目前，隨著集成電路行業(yè)的迅猛發(fā)展以及普遍應(yīng)用，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的研究已經(jīng)趨于14nm甚至更小，這樣一來(lái)，對(duì)設(shè)備的零部件的要求也就越來(lái)越高，傳統(tǒng)的辦法是在鋁合金零件表面用陽(yáng)極氧化的方法制備一層陽(yáng)極膜用來(lái)耐腐蝕，后來(lái)用熱噴涂方式在零件表面制備氧化鋁涂層，近年來(lái)，用熱噴涂方式在零件表面制備氧化釔涂層，這是因?yàn)檠趸惖哪透g性能高于氧化鋁。而隨著設(shè)備的不斷提升，氧化釔涂層的耐腐蝕性能也不能夠滿(mǎn)足要求，因此需要開(kāi)發(fā)一種更耐腐蝕的涂層。與此同時(shí)，設(shè)備的不斷進(jìn)步，對(duì)零部件的潔凈度要求也高，因此，該涂層不僅需要更耐腐蝕，還需要具有更高的潔凈度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于用一種應(yīng)用于集成電路行業(yè)的陶瓷涂層的制備方法，應(yīng)用大氣等離子噴涂技術(shù)噴涂氟氧化釔涂層，能夠滿(mǎn)足先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)零部件的耐腐蝕、高潔凈度的要求。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種應(yīng)用于集成電路行業(yè)的陶瓷涂層的制備方法，包括如下步驟：

步驟(1)噴涂前，對(duì)試樣或零件進(jìn)行遮蔽保護(hù)，遮蔽保護(hù)的方法包括但不限于軟遮蔽和硬遮蔽；

步驟(2)對(duì)試樣或零件進(jìn)行噴涂前前處理，主要目的是獲得一定表面粗糙度，所采用的方法可以是噴砂也可以是激光紋理；

步驟(3)選擇顆粒直徑在25-45μm范圍的氟氧化釔粉末；

步驟(4)采用大氣等離子噴涂技術(shù)進(jìn)行噴涂；

步驟(5)對(duì)噴涂后的零件進(jìn)行去遮蔽，然后清洗。

優(yōu)選的，所述步驟(1)中，中，對(duì)試樣或零件進(jìn)行遮蔽保護(hù)，遮蔽的方法主要是采用膠帶或者工裝進(jìn)行遮蔽。

優(yōu)選的，所述步驟(2)中，在噴涂前需要對(duì)試樣或零件進(jìn)行前處理，處理的方式可以是采用噴砂處理，也可以采用機(jī)加工紋理處理，還可以采用激光紋理的方式，其目的一是為了增加涂層的結(jié)合力，二是為了獲得目標(biāo)涂層的表面粗糙度。

優(yōu)選的，所述步驟(4)中，采用大氣等離子噴涂技術(shù)，噴涂參數(shù)為，電流是200-220A；噴涂距離是150-175mm；所用氬氣流量是180-210lpm；所用氫氣流量是40-60lpm；制備涂層的厚度是150-250微米。應(yīng)用在集成電路行業(yè)中，具有高耐腐蝕性、高潔凈度的作用。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：

1)本發(fā)明采用大氣等離子噴涂制備氟氧化釔涂層，其涂層的耐腐蝕性能更強(qiáng)。

2)本發(fā)明采用大氣等離子噴涂制備氟氧化釔涂層，其涂層的潔凈度更高，能夠滿(mǎn)足先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)潔凈度的要求。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)施例一放大500倍的氟氧化釔涂層截面的SEM照片

圖2是本實(shí)施例一放大3000倍的氟氧化釔的涂層表面形貌SEM照片

圖3是本實(shí)施例二放大500的氟氧化釔涂層截面的SEM照片

圖4是本實(shí)施例二放大1000倍的氟氧化釔涂層的表面形貌SEM照片

具體實(shí)施方式