[發(fā)明專利]一種輥壓單元、劃槽晶圓分離裝置及劃槽晶圓分離方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011159426.3
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112331589B
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陶利權(quán);劉盈楹;宋文超;賈祥晨;謝坤憲;馬雪婷;孫元章;李國森
• 申請（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張延薇

本發(fā)明提供了一種輥壓單元，涉及劃槽晶圓分離技術(shù)領(lǐng)域。該輥壓單元包括基準座、壓輥、頂推機構(gòu)和調(diào)緊機構(gòu)；基準座和壓輥通過頂推機構(gòu)連接，頂推機構(gòu)具有彈性，壓輥能夠在頂推機構(gòu)的彈力作用下遠離基準座；壓輥的移動方向與其自身的軸線方向垂直；調(diào)緊機構(gòu)設(shè)置在頂推機構(gòu)上，用于調(diào)整頂推機構(gòu)的彈力。本發(fā)明的輥壓單元，能夠通過調(diào)緊機構(gòu)改變頂推機構(gòu)的彈力，進而調(diào)整壓輥對劃槽晶圓的碾壓作用力，防止由于作用力太小而出現(xiàn)粘連，或者由于作用力過大而出現(xiàn)崩邊的情況，提高晶圓產(chǎn)品生產(chǎn)效率低而降低產(chǎn)品破損率。在此基礎(chǔ)上，本發(fā)明還提供了一種劃槽晶圓分離裝置及劃槽晶圓分離方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及劃槽晶圓分離技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種輥壓單元、劃槽晶圓分離裝置及劃槽晶圓分離方法。

背景技術(shù)

目前，光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，高性能、高集成度的半導(dǎo)體晶圓的需求量越來越大。為了降低制作成本并提高生產(chǎn)效率，批量生產(chǎn)工藝中往往先在晶圓上沉積集成電路芯片或者電路元件結(jié)構(gòu)，然后再切割成多個單元，最后再進行封裝和焊接。其中，晶圓切割技術(shù)對提高成品率和封裝效率有著重要影響。

晶圓切割技術(shù)包括劃槽工藝和分離工藝。現(xiàn)有的晶圓分離工藝主要以人工單片搟壓和半自動化碾壓為主，而這兩種方式由于難以根據(jù)晶圓的情況來控制和調(diào)整碾壓力度，成品往往出現(xiàn)崩邊(碾壓力太大)或者粘連(碾壓力太小)的現(xiàn)象，導(dǎo)致晶圓產(chǎn)品生產(chǎn)效率低而破損率高的結(jié)果。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種輥壓單元、劃槽晶圓分離裝置及劃槽晶圓分離方法，其有助于解決上述技術(shù)問題。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的：

一種輥壓單元，其包括基準座、壓輥、頂推機構(gòu)和調(diào)緊機構(gòu)；所述基準座和所述壓輥通過所述頂推機構(gòu)連接，所述頂推機構(gòu)具有彈性，所述壓輥能夠在所述頂推機構(gòu)的彈力作用下遠離所述基準座；所述壓輥的移動方向與其自身的軸線方向垂直；所述調(diào)緊機構(gòu)設(shè)置在所述頂推機構(gòu)上，用于調(diào)整所述頂推機構(gòu)的彈力。

上述輥壓單元在使用時，由于調(diào)緊機構(gòu)能夠改變頂推機構(gòu)的彈力，進而調(diào)整壓輥相對于基準座向外移動的作用力。所以，輥壓單元能夠根據(jù)晶圓的劃槽情況來調(diào)整，以滿足不同的生產(chǎn)需要。

進一步地，所述頂推機構(gòu)包括導(dǎo)向柱、壓簧和升降梁；所述調(diào)緊機構(gòu)包括調(diào)緊螺釘；所述基準座上設(shè)置有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向柱貫穿所述導(dǎo)向孔；所述導(dǎo)向柱的一端連接所述壓輥，所述導(dǎo)向柱的另一端連接所述升降梁；所述壓簧套接在所述導(dǎo)向柱外，且所述壓簧位于所述基準座和所述壓輥之間；所述升降梁與所述基準座設(shè)置有所述調(diào)緊螺釘，所述調(diào)緊螺釘用于調(diào)整所述升降梁與所述基準座之間的距離。其技術(shù)效果在于：導(dǎo)向柱用于限定壓輥的移動方向，壓簧用于產(chǎn)生壓輥對劃槽晶圓的彈性壓力，升降梁一方面用于限位，防止導(dǎo)向柱從導(dǎo)向孔中脫離，另一方面用于與調(diào)緊螺釘一并改變升降梁與基準座之間的距離，實現(xiàn)壓簧彈力的調(diào)整。

進一步地，還包括平衡機構(gòu)；所述平衡機構(gòu)設(shè)置在所述升降梁和所述基準座之間，用于調(diào)整所述壓輥的移動方向。其技術(shù)效果在于：由于壓輥的延伸方向可能出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)，導(dǎo)致壓輥與劃槽晶圓貼合不平行不緊密，平衡機構(gòu)用于調(diào)整壓輥的移動方向，使得壓輥的軸線方向與劃槽晶圓的表面保持相互平行。

進一步地，所述平衡機構(gòu)包括平衡座、第一吊耳、第二吊耳、第一頂升螺釘和第二頂升螺釘；所述基準座上設(shè)置有所述第一吊耳和所述第二吊耳，所述第一頂升螺釘依次與所述第一吊耳、所述平衡座螺接；所述第二頂升螺釘依次與所述第二吊耳、所述平衡座螺接。其技術(shù)效果在于：基準座通過第一吊耳、第二吊耳活動設(shè)置在平衡座上，第一頂升螺釘和第二頂升螺釘用于分別調(diào)整基準座的兩側(cè)在平衡座上的水平位置，實現(xiàn)壓輥的空間姿態(tài)調(diào)整。

進一步地，還包括升降機構(gòu)；所述升降機構(gòu)包括安裝座、第三吊耳和升降螺釘；所述第三吊耳設(shè)置在所述平衡座上，所述升降螺釘依次與所述第三吊耳、所述安裝座螺接。其技術(shù)效果在于：平衡座通過第三吊耳設(shè)置在安裝座上，而升降螺釘用于改變平衡座相對于安裝座的高度位置。