[發明專利]一種輥壓單元、劃槽晶圓分離裝置及劃槽晶圓分離方法

有效

• 申請號: 202011159426.3
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112331589B
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 陶利權;劉盈楹;宋文超;賈祥晨;謝坤憲;馬雪婷;孫元章;李國森
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張延薇

1.一種劃槽晶圓分離裝置，其特征在于，包括第一導向軸(15)、第二導向軸(16)、橫梁(17)以及輥壓單元，所述輥壓單元與所述橫梁(17)連接，以能夠與所述橫梁(17)同步沿所述第一導向軸(15)和所述第二導向軸(16)移動；

所述劃槽晶圓分離裝置還包括形成為圓盤狀的載片單元(18)；所述載片單元(18)上設置有輥壓平面，所述載片單元(18)能夠繞垂直于所述輥壓平面的軸線旋轉；所述載片單元(18)上設置有多個圓盤狀的載片圓盤(20)；所述載片圓盤(20)能夠繞垂直于所述輥壓平面的軸線旋轉；

所述輥壓單元包括基準座(1)、壓輥(2)、頂推機構和調緊機構；

所述基準座(1)和所述壓輥(2)通過所述頂推機構連接，所述頂推機構具有彈性，所述壓輥(2)能夠在所述頂推機構的彈力作用下遠離所述基準座(1)；所述壓輥(2)的移動方向與其自身的軸線方向垂直；所述調緊機構設置在所述頂推機構上，用于調整所述頂推機構的彈力；

所述頂推機構包括導向柱(3)、壓簧(4)和升降梁(5)；所述調緊機構包括調緊螺釘(6)，所述導向柱(3)、所述壓簧(4)以及所述調緊螺釘(6)設置有兩組且分別位于所述壓輥(2)軸線方向的兩端；

所述輥壓單元包括平衡機構，以能夠將壓輥(2)的軸線與輥壓平面之間的夾角調整為零；所述輥壓單元還包括升降機構，以能夠調整壓輥(2)與輥壓平面之間的距離。

2.根據權利要求1所述的劃槽晶圓分離裝置，其特征在于，所述基準座(1)上設置有導向孔，所述導向柱(3)貫穿所述導向孔；所述導向柱(3)的一端連接所述壓輥(2)，所述導向柱(3)的另一端連接所述升降梁(5)；所述壓簧(4)套接在所述導向柱(3)外，且所述壓簧(4)位于所述基準座(1)和所述壓輥(2)之間；所述升降梁(5)與所述基準座(1)設置有所述調緊螺釘(6)，所述調緊螺釘(6)用于調整所述升降梁(5)與所述基準座(1)之間的距離。

3.根據權利要求2所述的劃槽晶圓分離裝置，其特征在于，所述平衡機構設置在所述升降梁(5)和所述基準座(1)之間，用于調整所述壓輥(2)的移動方向。

4.根據權利要求3所述的劃槽晶圓分離裝置，其特征在于，所述平衡機構包括平衡座(7)、第一吊耳(8)、第二吊耳(9)、第一頂升螺釘(10)和第二頂升螺釘(11)；所述基準座(1)上設置有所述第一吊耳(8)和所述第二吊耳(9)，所述第一頂升螺釘(10)依次與所述第一吊耳(8)、所述平衡座(7)螺接；所述第二頂升螺釘(11)依次與所述第二吊耳(9)、所述平衡座(7)螺接。

5.根據權利要求4所述的劃槽晶圓分離裝置，其特征在于，所述升降機構包括安裝座(12)、第三吊耳(13)和升降螺釘(14)；所述第三吊耳(13)設置在所述平衡座(7)上，所述升降螺釘(14)依次與所述第三吊耳(13)、所述安裝座(12)螺接。

6.根據權利要求1所述的劃槽晶圓分離裝置，其特征在于，所述第一導向軸(15)和所述第二導向軸(16)相互平行；所述橫梁(17)的兩端分別連接所述第一導向軸(15)和所述第二導向軸(16)，所述橫梁(17)能夠沿所述第一導向軸(15)的軸線方向移動；所述輥壓單元設置在所述橫梁(17)上，所述壓輥(2)相對于所述基準座(1)的移動方向與所述第一導向軸(15)的長度方向垂直；所述壓輥(2)的長度方向與所述第一導向軸(15)的長度方向呈夾角設置。

7.根據權利要求6所述的劃槽晶圓分離裝置，其特征在于，所述載片單元(18)設置在所述第一導向軸(15)和所述第二導向軸(16)之間；所述壓輥(2)相對于所述基準座(1)的移動方向與所述輥壓平面垂直；所述壓輥(2)用于輥壓位于所述輥壓平面上的劃槽晶圓。