[發明專利]慣性測量裝置、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 202011157074.8
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112729268B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發明（設計）人: 小澤諒平
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5747
• 分類號: G01C19/5747
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

本發明公開了慣性測量裝置、電子設備以及移動體，其中，慣性測量裝置包括：第一陀螺儀傳感器，在第一軸方向上設定檢測軸，被第一驅動頻率驅動而檢測繞第一軸的角速度；第二陀螺儀傳感器，在第二軸方向上設定檢測軸，被第二驅動頻率驅動而檢測繞第二軸的角速度；第三陀螺儀傳感器，在第三軸方向上設定檢測軸，被第三驅動頻率驅動而檢測繞第三軸的角速度；以及基板，設置有第一陀螺儀傳感器、第二陀螺儀傳感器以及第三陀螺儀傳感器。在將第一驅動頻率設為fd1、將第二驅動頻率設為fd2、將第三驅動頻率設為fd3時，基板(20)的固有振動頻率被設定為與fd1、fd2、fd3不一致的頻率。

技術領域

本發明涉及慣性測量裝置、電子設備以及移動體等。

背景技術

在專利文獻1中公開了一種收容慣性傳感器的模制結構。在專利文獻1的模制結構中，使基板上的布線圖案通用化，以便不依賴于慣性傳感器的安裝方式、安裝基板的設置方向而能夠使用相同結構的慣性傳感器。此外，在專利文獻1中公開了將振動型角速度傳感器即陀螺儀傳感器作為慣性傳感器收容于模制結構。

專利文獻1：日本特開2011-85441號公報

在基板安裝有作為慣性傳感器的陀螺儀傳感器的情況下，若由于陀螺儀傳感器的振動泄漏而使基板共振，則產生陀螺儀傳感器的傳感器特性惡化的問題。在這種情況下，例如，若在基板安裝有陀螺儀傳感器的狀態下，采用通過樹脂澆注的粘接構件來覆蓋陀螺儀傳感器并固化的方法，則能夠防止這種問題的產生。但是，存在不能使用這種樹脂澆注的狀況。此外，在基板安裝檢測軸不同的多個陀螺儀傳感器的情況下，還需要考慮這些多個陀螺儀傳感器的驅動頻率、安裝方式。

發明內容

本公開的一方式涉及一種慣性測量裝置，其包括：第一陀螺儀傳感器，在第一軸方向上設定檢測軸，被第一驅動頻率驅動而檢測繞所述第一軸的角速度；第二陀螺儀傳感器，在第二軸方向上設定檢測軸，被與所述第一驅動頻率不同的第二驅動頻率驅動而檢測繞所述第二軸的角速度；第三陀螺儀傳感器，在第三軸方向上設定檢測軸，被與所述第一驅動頻率及所述第二驅動頻率不同的第三驅動頻率驅動而檢測繞所述第三軸的角速度；以及基板，設置有所述第一陀螺儀傳感器、所述第二陀螺儀傳感器以及所述第三陀螺儀傳感器，在將所述第一驅動頻率設為fd1、將所述第二驅動頻率設為fd2、將所述第三驅動頻率設為fd3時，所述基板的固有振動頻率被設定為與fd1、fd2以及fd3不一致的頻率。

附圖說明

圖1是示出本實施方式的慣性測量裝置的構成例的立體圖。

圖2是示出陀螺儀傳感器的構成例的俯視圖。

圖3是示出陀螺儀傳感器的基部的位移和封裝體的位移的相關關系的圖。

圖4是基板的厚度為TH＝TH1且X軸激振時的頻率解析結果。

圖5是基板的厚度為TH＝TH1且Y軸激振時的頻率解析結果。

圖6是基板的厚度為TH＝TH1且Z軸激振時的頻率解析結果。

圖7是基板的厚度為TH＝TH2且X軸激振時的頻率解析結果。

圖8是基板的厚度為TH＝TH2且Y軸激振時的頻率解析結果。

圖9是基板的厚度為TH＝TH2且Z軸激振時的頻率解析結果。

圖10是示出基板的厚度與基板的固有振動頻率的關系的圖。

圖11是示出慣性測量裝置的詳細構成例的俯視圖。

圖12是示出慣性測量裝置的詳細構成例的側視圖。

圖13是作為支承構件的引線的說明圖。

圖14是使用了鷗翼型的引線的例子。

圖15是使用了J引線類型的引線的例子。