[發(fā)明專利]慣性測(cè)量裝置、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011157074.8
• 申請(qǐng)日: 2020-10-26
• 公開（公告）號(hào): CN112729268B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小澤諒平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01C19/5747
• 分類號(hào): G01C19/5747
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 李丹

1.一種慣性測(cè)量裝置，其特征在于，包括：

第一陀螺儀傳感器，在第一軸方向上設(shè)定檢測(cè)軸，被第一驅(qū)動(dòng)頻率驅(qū)動(dòng)而檢測(cè)繞所述第一軸的角速度；

第二陀螺儀傳感器，在第二軸方向上設(shè)定檢測(cè)軸，被與所述第一驅(qū)動(dòng)頻率不同的第二驅(qū)動(dòng)頻率驅(qū)動(dòng)而檢測(cè)繞所述第二軸的角速度；

第三陀螺儀傳感器，在第三軸方向上設(shè)定檢測(cè)軸，被與所述第一驅(qū)動(dòng)頻率及所述第二驅(qū)動(dòng)頻率不同的第三驅(qū)動(dòng)頻率驅(qū)動(dòng)而檢測(cè)繞所述第三軸的角速度；以及

基板，設(shè)置有所述第一陀螺儀傳感器、所述第二陀螺儀傳感器以及所述第三陀螺儀傳感器，

在將所述第一驅(qū)動(dòng)頻率設(shè)為fd1、將所述第二驅(qū)動(dòng)頻率設(shè)為fd2、將所述第三驅(qū)動(dòng)頻率設(shè)為fd3時(shí)，所述基板的固有振動(dòng)頻率被設(shè)定為與fd1、fd2以及fd3不一致的頻率，

在將基于所述第一軸方向、所述第二軸方向、所述第三軸方向上的激振的振動(dòng)模式分別設(shè)為第一軸振動(dòng)模式、第二軸振動(dòng)模式、第三軸振動(dòng)模式時(shí)，

所述第一軸振動(dòng)模式、所述第二軸振動(dòng)模式以及所述第三軸振動(dòng)模式中的所述基板的所述固有振動(dòng)頻率被設(shè)定為與fd1、fd2以及fd3不一致的頻率，

在將作為所述第一軸振動(dòng)模式、所述第二軸振動(dòng)模式、所述第三軸振動(dòng)模式中的任意一個(gè)的第一振動(dòng)模式中的所述基板的所述固有振動(dòng)頻率設(shè)為fA、將作為所述第一軸振動(dòng)模式、所述第二軸振動(dòng)模式、所述第三軸振動(dòng)模式中的任意一個(gè)的第二振動(dòng)模式中的所述基板的所述固有振動(dòng)頻率設(shè)為fB、將fd1、fd2、fd3的最小頻率設(shè)為fmin、將fd1、fd2、fd3的最大頻率設(shè)為fmax時(shí)，

fAfminfmaxfB。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

所述第一軸是與所述基板平行的方向的X軸，所述第二軸是與所述基板的面平行且與所述X軸正交的Y軸，所述第三軸是與所述基板的面正交的Z軸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

根據(jù)與所述基板正交的方向上的所述基板的厚度設(shè)定所述基板的所述固有振動(dòng)頻率。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

所述基板是陶瓷基板，

所述第一陀螺儀傳感器、所述第二陀螺儀傳感器以及所述第三陀螺儀傳感器是收容于陶瓷封裝體的陀螺儀傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

所述基板是樹脂基板，

所述第一陀螺儀傳感器、所述第二陀螺儀傳感器以及所述第三陀螺儀傳感器是收容于陶瓷封裝體的陀螺儀傳感器，

所述樹脂基板的線膨脹系數(shù)與所述陶瓷封裝體的線膨脹系數(shù)的差為30%以下。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，包括：

傳感器模塊，具有所述第一陀螺儀傳感器、所述第二陀螺儀傳感器、所述第三陀螺儀傳感器以及所述基板；以及

支承構(gòu)件，用于將所述傳感器模塊的所述基板支承于安裝面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

所述支承構(gòu)件是引線組，

所述引線組的引線具有：

第一部分，與所述安裝面連接；

第二部分，從所述第一部分在與所述安裝面交叉的方向上朝向所述基板延伸；以及

第三部分，與所述基板連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

作為所述引線組，包括：第一引線組，與所述基板的第一邊對(duì)應(yīng)設(shè)置；以及第二引線組，與所述基板的與所述第一邊對(duì)置的第二邊對(duì)應(yīng)設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

所述引線是鷗翼型，

所述第三部分與第二面連接，所述第二面是設(shè)置有所述第一陀螺儀傳感器、所述第二陀螺儀傳感器以及所述第三陀螺儀傳感器的所述基板的第一面的背面。