[發(fā)明專利]半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011155019.5
• 申請(qǐng)日: 2020-10-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112325657B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃敏濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): F27D1/18
• 分類號(hào): F27D1/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置，用于調(diào)平所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的工藝門(mén)組件，所述工藝門(mén)組件包括相對(duì)設(shè)置的密封門(mén)和支撐部，其特征在于，所述調(diào)平裝置包括彈性部件、第一連接件和第二連接件，其中，

所述第一連接件中設(shè)置有第一容納槽，所述第一連接件與所述密封門(mén)和所述支撐部中的一個(gè)連接；

所述第二連接件中設(shè)置有第二容納槽，且所述第二容納槽與所述第一容納槽相對(duì)設(shè)置，所述第二連接件與所述密封門(mén)和所述支撐部中的另一個(gè)連接；

所述第一連接件與所述第二連接件卡接，所述第一容納槽和所述第二容納槽配合圍成容納空間，所述彈性部件設(shè)置在所述容納空間中，所述第一連接件與所述第二連接件在卡接時(shí)能夠沿所述彈性部件的彈性形變方向相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述第一容納槽的內(nèi)壁上設(shè)置有多個(gè)卡槽，多個(gè)所述卡槽沿所述第一容納槽的周向間隔分布，且各所述卡槽均與所述第一容納槽的槽口端面連通；

所述第二連接件的徑向尺寸小于所述第一容納槽的徑向尺寸，且所述第二連接件的外壁上設(shè)置有多個(gè)凸出的卡接部，多個(gè)所述卡接部沿所第二連接件的周向間隔分布，各所述卡接部用于一一對(duì)應(yīng)的卡接在各所述卡槽中，且各所述卡接部卡接在對(duì)應(yīng)的所述卡槽中時(shí)，能夠在對(duì)應(yīng)的所述卡槽中沿所述彈性部件的彈性形變方向運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述卡槽包括第一槽段、第二槽段和第三槽段，其中，所述第一槽段與所述第一容納槽的槽口端面連通，并朝靠近所述第一容納槽的槽底的方向延伸，所述第二槽段與所述第一槽段連通，并沿所述第一容納槽的周向延伸，所述第三槽段與所述第二槽段連通，并沿所述第一容納槽的軸向朝遠(yuǎn)離所述第一容納槽的槽底的方向延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述第一槽段沿所述彈性部件的彈性形變方向朝所述第一容納槽的槽底延伸。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述第三槽段沿所述彈性部件的彈性形變方向遠(yuǎn)離所述第一容納槽的槽底延伸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述彈性部件包括壓縮彈簧。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述第一容納槽的槽底設(shè)置有第一環(huán)形限位槽，用于限定所述壓縮彈簧在所述第一容納槽中的位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述第二容納槽的槽底設(shè)置有第二環(huán)形限位槽，用于限定所述壓縮彈簧在所述第二容納槽中的位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)平裝置，其特征在于，還包括第一連接螺栓和第二連接螺栓，其中，

所述第一連接螺栓貫穿所述第一連接件，與所述密封門(mén)螺紋連接，所述第二連接螺栓貫穿所述支撐部，與所述第二連接件螺紋連接；

或者，所述第二連接螺栓貫穿所述第二連接件，與所述密封門(mén)螺紋連接，所述第一連接螺栓貫穿所述支撐部，與所述第一連接件螺紋連接。

10.一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備，包括工藝門(mén)組件，所述工藝門(mén)組件包括相對(duì)設(shè)置的密封門(mén)和支撐部，其特征在于，所述密封門(mén)和所述支撐部之間設(shè)置有多個(gè)調(diào)平裝置，多個(gè)所述調(diào)平裝置沿所述密封門(mén)的周向間隔分布，各所述調(diào)平裝置均與所述密封門(mén)和所述支撐部連接，各所述調(diào)平裝置采用如權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的調(diào)平裝置，用于對(duì)所述密封門(mén)進(jìn)行調(diào)平。