[發(fā)明專利]半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011155019.5
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112325657B
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃敏濤
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備，調(diào)平裝置包括彈性部件、第一連接件和第二連接件，第一連接件與密封門和支撐部中的一個(gè)連接，且其中設(shè)置有第一容納槽；第二連接件與密封門和支撐部中的另一個(gè)連接，且其中設(shè)置有與第一容納槽相對的第二容納槽；第一連接件與第二連接件卡接，且二者在卡接時(shí)能夠沿彈性部件的彈性形變方向相對運(yùn)動，彈性部件設(shè)置在第一容納槽和第二容納槽配合圍成的容納空間中。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備能夠降低調(diào)平裝置的安裝難度，降低調(diào)平裝置失效的概率，提高調(diào)平裝置的使用穩(wěn)定性，從而提高工藝門組件的密封穩(wěn)定性，提高半導(dǎo)體熱處理工藝的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體立式爐設(shè)備的工藝門不僅用于在進(jìn)行工藝時(shí)，與工藝腔室接觸密封，以保證半導(dǎo)體工藝對于密封的需求，并且其上還安裝有用于承載晶片的晶舟，通過升降工藝門可以將待加工晶片傳送至工藝腔室內(nèi)進(jìn)行工藝，或者將晶片經(jīng)過工藝加工后的晶片傳送出工藝腔室等待取走。但是，由于裝配以及加工的誤差，工藝門與工藝腔室相互接觸的兩個(gè)表面的水平度難免會存在一定誤差，導(dǎo)致工藝門與工藝腔室之間還會存在一些縫隙，無法將工藝腔室完全密封。

現(xiàn)有的工藝門通常包括密封門、支撐部和多個(gè)調(diào)平裝置，其中，密封門與工藝腔室接觸密封，支撐部與密封門相對設(shè)置，用于支撐密封門并帶動密封門升降，多個(gè)調(diào)平裝置沿密封門的周向間隔設(shè)置在密封門與支撐部之間。各調(diào)平裝置通常包括壓縮彈簧和連接螺栓，其中，壓縮彈簧設(shè)置在密封門與支撐部之間，連接螺栓從壓縮彈簧中穿過連接密封門與支撐部，并對壓縮彈簧進(jìn)行預(yù)壓縮，在支撐部帶動密封門上升的過程中，在密封門與工藝腔室接觸后，支撐部繼續(xù)上升使壓縮彈簧繼續(xù)壓縮，以通過多個(gè)壓縮彈簧帶動密封門周向上的不同位置分別繼續(xù)上升與工藝腔貼合，從而實(shí)現(xiàn)工藝門與工藝腔室的完全密封。

但是由于連接螺栓的長度較長且直徑較小，因此在安裝現(xiàn)有調(diào)平裝置時(shí)，由于擰入連接螺栓的同時(shí)需要對壓縮彈簧進(jìn)行預(yù)壓縮，會給連接螺栓的擰入帶來較大阻力，就會導(dǎo)致連接螺栓因擰入力矩過大或者多個(gè)連接螺栓擰入不同步而卡死或者彎曲，對于安裝要求較高，造成安裝困難。并且，在使用現(xiàn)有調(diào)平裝置時(shí)，當(dāng)多個(gè)壓縮彈簧的壓縮程度不均勻時(shí)，會對各連接螺栓產(chǎn)生徑向的推力，長期以往會造成連接螺栓的彎曲變形，使調(diào)平裝置的調(diào)平功能受到影響甚至失效，造成工藝門與工藝腔室無法完全密封，導(dǎo)致半導(dǎo)體工藝無法正常進(jìn)行。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備，其能夠降低調(diào)平裝置的安裝難度，并降低調(diào)平裝置失效的概率，提高調(diào)平裝置的使用穩(wěn)定性，從而提高工藝門組件的密封穩(wěn)定性，提高半導(dǎo)體熱處理工藝的穩(wěn)定性。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的調(diào)平裝置，用于調(diào)平所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備中的工藝門組件，所述工藝門組件包括相對設(shè)置的密封門和支撐部，所述調(diào)平裝置包括彈性部件、第一連接件和第二連接件，其中，

所述第一連接件中設(shè)置有第一容納槽，所述第一連接件與所述密封門和所述支撐部中的一個(gè)連接；

所述第二連接件中設(shè)置有第二容納槽，且所述第二容納槽與所述第一容納槽相對設(shè)置，所述第二連接件與所述密封門和所述支撐部中的另一個(gè)連接；

所述第一連接件與所述第二連接件卡接，所述第一容納槽和所述第二容納槽配合圍成容納空間，所述彈性部件設(shè)置在所述容納空間中，所述第一連接件與所述第二連接件在卡接時(shí)能夠沿所述彈性部件的彈性形變方向相對運(yùn)動。

優(yōu)選的，所述第一容納槽的內(nèi)壁上設(shè)置有多個(gè)卡槽，多個(gè)所述卡槽沿所述第一容納槽的周向間隔分布，且各所述卡槽均與所述第一容納槽的槽口端面連通；