[發(fā)明專利]振動傳感器的測試方法及振動傳感器

有效

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• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112326018B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬蔡辛;何政達;趙讀亮
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫韋感半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00
• 代理公司: 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449
• 代理人: 岳丹丹

本發(fā)明公開了一種振動傳感器的測試方法及振動傳感器。根據(jù)本發(fā)明實施例的振動傳感器的測試方法包括將硅麥封裝形式的振動傳感器與測試機臺連接；向所述振動傳感器提供聲學(xué)信號，由所述振動傳感器輸出測試信號，所述測試信號為電信號和/或機械振動信號；以及測量所述測試信號以得出測試結(jié)果。根據(jù)本發(fā)明實施例的振動傳感器的測試方法，測試過程簡便、高效，測試結(jié)果準確性高；根據(jù)本發(fā)明實施例的振動傳感器既敏感振動信號，也敏感聲學(xué)信號，且振動靈敏度與聲學(xué)靈敏度存在對應(yīng)關(guān)系。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及振動傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種振動傳感器的測試方法及振動傳感器。

背景技術(shù)

振動傳感器是測試技術(shù)中的一種關(guān)鍵部件，它的作用主要是將機械量接收下來，并轉(zhuǎn)換為與之成比例的電量。具體地，振動傳感器將原始要測的機械量作為振動傳感器的輸入量，然后由機械接收部分加以接收，形成另一個適合于變換的機械量，最后由機電變換部分再將變換為電量。

振動傳感器在制作完成后，需要進行測試。在現(xiàn)有技術(shù)中，振動傳感器的測試方法為機械振動的標定測試方法。這種測試方法需要在每只待測傳感器與振動臺之間建立硬機械連接，并使用振動臺輸入機械振動信號。現(xiàn)有的測試方法較為復(fù)雜。

因此，希望能有一種新的振動傳感器的測試方法及振動傳感器，能夠克服上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種振動傳感器的測試方法及振動傳感器，從而簡化測試過程，提高測試的效率和準確性。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種振動傳感器的測試方法，包括將硅麥封裝形式的振動傳感器與測試機臺連接；向所述振動傳感器提供聲學(xué)信號，由所述振動傳感器輸出測試信號，所述測試信號為電信號和/或機械振動信號；以及測量所述測試信號以得出測試結(jié)果。

優(yōu)選地，所述測試方法還包括：對振動傳感器測試件進行測試，對所述振動傳感器測試件的測試結(jié)果進行運算處理以得到測試標準，其中，所述測試信號根據(jù)所述測試標準得到所述測試結(jié)果。

優(yōu)選地，所述測試方法還包括：對振動傳感器標準件進行測試，根據(jù)所述振動傳感器標準件的測試結(jié)果得到測試標準，其中，所述測試信號根據(jù)所述測試標準得到所述測試結(jié)果。

優(yōu)選地，所述測試方法還包括：建立測試環(huán)境，在所述測試環(huán)境下進行測試。

優(yōu)選地，所述測試方法包括：對所述振動傳感器進行第一次測試，得到第一測試信號；根據(jù)所述第一測試信號對第一次測試后的所述振動傳感器進行調(diào)校；以及對調(diào)校后的所述振動傳感器進行第二次測試，其中，所述第一次測試和/或所述第二次測試包括將硅麥封裝形式的所述振動傳感器與測試機臺連接；向所述振動傳感器提供聲學(xué)信號，以獲取相應(yīng)的測試信號；根據(jù)所述測試信號得出測試結(jié)果。

優(yōu)選地，所述測試方法包括：對測試完成的所述振動傳感器進行封堵。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種振動傳感器，包括襯底；外殼；以及振膜結(jié)構(gòu)，可振動地設(shè)置在所述襯底和所述外殼之間，其中，所述外殼上設(shè)置有通孔，所述通孔用于聲學(xué)信號的輸入，所述振膜結(jié)構(gòu)在聲學(xué)信號的帶動下進行機械振動，并將機械振動轉(zhuǎn)換為電信號和/或機械振動信號。

優(yōu)選地，所述振膜結(jié)構(gòu)包括：振膜；以及質(zhì)量塊，位于所述振膜的上表面和/或下表面。

優(yōu)選地，所述振動傳感器還包括：封堵裝置，設(shè)置在所述外殼上，用于所述通孔的封堵。

優(yōu)選地，所述振動傳感器還包括：隔絕層，用于所述振動傳感器的連接，以及隔絕振動。

根據(jù)本發(fā)明實施例的振動傳感器的測試方法及振動傳感器，使用聲學(xué)方法對硅麥封裝形式的振動傳感器進行測試，測試過程簡便、高效，測試結(jié)果準確性高。

根據(jù)本發(fā)明實施例的振動傳感器的測試方法及振動傳感器，建立無機械振動干擾的測試環(huán)境，保證了測試結(jié)果的準確性。