[發(fā)明專利]基于關(guān)鍵指標算法的光刻機臺效能評價系統(tǒng)及其應用方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202011154696.5
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112232578A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 曹鋒;錢春霞;徐秋晨;周菁;劉帆
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G06Q10/04
• 分類號: G06Q10/04;G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

本發(fā)明提供基于關(guān)鍵指標算法的光刻機臺效能評價系統(tǒng)及其應用方法，提供光刻機臺的生產(chǎn)源數(shù)據(jù)，將生產(chǎn)源數(shù)據(jù)通過數(shù)據(jù)處理模塊處理后得到初始版本數(shù)據(jù)；基于初始版本數(shù)據(jù)得到多個關(guān)鍵指標；基于多個關(guān)鍵指標進行系統(tǒng)開發(fā)，包括：進行界面設計及其邏輯實現(xiàn)；進行接口項目的設計；創(chuàng)建服務程序并進行實現(xiàn)；創(chuàng)建宿主以及創(chuàng)建代理；光刻機臺間效能利用排序。本發(fā)明設計關(guān)鍵指標的算法用來以更好的評估光刻機臺利用效率，并將算法設計系統(tǒng)化，基于歷史及當前數(shù)據(jù)對機臺來貨情況或機臺狀態(tài)進行預測，并實時監(jiān)測機臺當前跑貨狀況，有利于求得效能最優(yōu)機臺且得出各機臺間效能利用排序，使光刻機臺的效能評價達到精確化。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及基于關(guān)鍵指標算法的光刻機臺效能評價系統(tǒng)及其應用方法。

背景技術(shù)

首先，針對光刻機利用率的評價，通常做法是技術(shù)人員根據(jù)既定已發(fā)生的歷史數(shù)據(jù)，在靜態(tài)報表上查看各個機臺的空載狀況，這種手段只能停留在粗略的評價上。實際上，LOT進出機臺的實際時間，每卡LOT載片數(shù)量，光刻板的切換次數(shù)，宕機時間等都是影響對機臺運行效率的評價因素；同時已有方法缺乏此類數(shù)據(jù)的實時監(jiān)控。對于技術(shù)密集型的半導體制造行業(yè)來說，光刻機臺的效能評價應當更加精確化，更加多元化，更加實例化。

其次，目前還沒有相關(guān)研究對光刻機臺間效能利用進行比較分析，其相對于機臺自身評價將更加科學，更加準確。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種基于關(guān)鍵指標算法的光刻機臺效能評價系統(tǒng)及其應用方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中光刻機利用率的評價方法缺乏此類數(shù)據(jù)的實時監(jiān)控，并且光刻機臺的效能評價無法達到精確化的問題。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種，基于關(guān)鍵指標算法的光刻機臺效能評價系統(tǒng)，至少包括：

光刻機臺的生產(chǎn)源數(shù)據(jù)；用于處理所述生產(chǎn)源數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理模塊；通過所述數(shù)據(jù)處理模塊將所述生產(chǎn)源數(shù)據(jù)處理后形成的初始版本數(shù)據(jù)；

基于所述初始版本數(shù)據(jù)得到的多個關(guān)鍵指標；

基于所述多個關(guān)鍵指標的系統(tǒng)。

優(yōu)選地，所述生產(chǎn)源數(shù)據(jù)至少包括：Lot數(shù)量、產(chǎn)品名、產(chǎn)品類型、站點信息、作業(yè)步驟序列號、產(chǎn)品等級、進機臺時間、出機臺時間、開始作業(yè)時間、結(jié)束作業(yè)時間、歷史作業(yè)時間及當前作業(yè)時間。

優(yōu)選地，所述多個關(guān)鍵指標至少包括：機臺運作時間、機臺空置時間、機臺使用效率、實際Lot數(shù)量、Lot移動量、連續(xù)小枚Lot作業(yè)數(shù)量、光刻板切換次數(shù)、異常Lot、光刻板平均移動量、非連續(xù)作業(yè)Lot。

優(yōu)選地，所述機臺運作時間為工廠日期內(nèi)，光刻機臺歷史日期內(nèi)及截至當前時間下光刻機臺跑貨的時間。

優(yōu)選地，所述機臺空置時間為工廠日期內(nèi)，光刻機臺歷史日期及截至當前時間下光刻機臺的空置時間。

優(yōu)選地，所述機臺使用效率為產(chǎn)品類型為產(chǎn)品片在且工廠日期內(nèi)或截至當前日期，機臺跑貨狀態(tài)下的所占時間比例。

優(yōu)選地，所述實際Lot數(shù)量為工廠日期內(nèi)或截至當前日期，不同機臺下產(chǎn)品類型為產(chǎn)品片和工程片的Lot數(shù)量。

優(yōu)選地，所述Lot移動量為各機臺下所產(chǎn)生的實際晶圓移動量與實際Lot數(shù)量的比值，晶圓移動一步為一個移動量，所述實際晶圓移動量為所述每個移動量之和。

優(yōu)選地，基于所述多個關(guān)鍵指標的系統(tǒng)至少包括：界面、接口項目、服務程序、宿主和代理。

優(yōu)選地，所述界面包括歷史日期選項、當前日期選項、依據(jù)所述多個關(guān)鍵指標的結(jié)果展示項、依據(jù)所述結(jié)果展示項的鉆取提示信息。

優(yōu)選地，所述接口項目為程序庫，所述程序庫包含有所述多個關(guān)鍵指標、所述多個關(guān)鍵指標對應的鉆取信息以及對系統(tǒng)的服務方法進行的申明。