[發(fā)明專利]基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)及其應(yīng)用方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202011154696.5
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112232578A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹鋒;錢春霞;徐秋晨;周菁;劉帆
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G06Q10/04
• 分類號: G06Q10/04;G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于，至少包括：

光刻機(jī)臺的生產(chǎn)源數(shù)據(jù)；用于處理所述生產(chǎn)源數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理模塊；通過所述數(shù)據(jù)處理模塊將所述生產(chǎn)源數(shù)據(jù)處理后形成的初始版本數(shù)據(jù)；

基于所述初始版本數(shù)據(jù)得到的多個關(guān)鍵指標(biāo)；

基于所述多個關(guān)鍵指標(biāo)的系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述生產(chǎn)源數(shù)據(jù)至少包括：Lot數(shù)量、產(chǎn)品名、產(chǎn)品類型、站點(diǎn)信息、作業(yè)步驟序列號、產(chǎn)品等級、進(jìn)機(jī)臺時(shí)間、出機(jī)臺時(shí)間、開始作業(yè)時(shí)間、結(jié)束作業(yè)時(shí)間、歷史作業(yè)時(shí)間及當(dāng)前作業(yè)時(shí)間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述多個關(guān)鍵指標(biāo)至少包括：機(jī)臺運(yùn)作時(shí)間、機(jī)臺空置時(shí)間、機(jī)臺使用效率、實(shí)際Lot數(shù)量、Lot移動量、連續(xù)小枚Lot作業(yè)數(shù)量、光刻板切換次數(shù)、異常Lot、光刻板平均移動量、非連續(xù)作業(yè)Lot。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述機(jī)臺運(yùn)作時(shí)間為工廠日期內(nèi)，光刻機(jī)臺歷史日期內(nèi)及截至當(dāng)前時(shí)間下光刻機(jī)臺跑貨的時(shí)間。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述機(jī)臺空置時(shí)間為工廠日期內(nèi)，光刻機(jī)臺歷史日期及截至當(dāng)前時(shí)間下光刻機(jī)臺的空置時(shí)間。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述機(jī)臺使用效率為產(chǎn)品類型為產(chǎn)品片在且工廠日期內(nèi)或截至當(dāng)前日期，機(jī)臺跑貨狀態(tài)下的所占時(shí)間比例。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述實(shí)際Lot數(shù)量為工廠日期內(nèi)或截至當(dāng)前日期，不同機(jī)臺下產(chǎn)品類型為產(chǎn)品片和工程片的Lot數(shù)量。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述Lot移動量為各機(jī)臺下所產(chǎn)生的實(shí)際晶圓移動量與實(shí)際Lot數(shù)量的比值，晶圓移動一步為一個移動量，所述實(shí)際晶圓移動量為所述每個移動量之和。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：基于所述多個關(guān)鍵指標(biāo)的系統(tǒng)至少包括：界面、接口項(xiàng)目、服務(wù)程序、宿主和代理。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述界面包括歷史日期選項(xiàng)、當(dāng)前日期選項(xiàng)、依據(jù)所述多個關(guān)鍵指標(biāo)的結(jié)果展示項(xiàng)、依據(jù)所述結(jié)果展示項(xiàng)的鉆取提示信息。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述接口項(xiàng)目為程序庫，所述程序庫包含有所述多個關(guān)鍵指標(biāo)、所述多個關(guān)鍵指標(biāo)對應(yīng)的鉆取信息以及對系統(tǒng)的服務(wù)方法進(jìn)行的申明。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述服務(wù)程序?yàn)樗鼋涌诔绦虻膶?shí)現(xiàn)庫，用于引用所述接口程序并傳入所述多個關(guān)鍵指標(biāo)，對所述接口程序具體實(shí)現(xiàn)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述宿主為基于Windows平臺創(chuàng)建的控制臺應(yīng)用程序，用于引用所述接口項(xiàng)目及所述服務(wù)程序，實(shí)現(xiàn)服務(wù)器及端口配置并在服務(wù)器上啟動。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基于關(guān)鍵指標(biāo)算法的光刻機(jī)臺效能評價(jià)系統(tǒng)，其特征在于：所述代理用于添加配置實(shí)現(xiàn)托管并公開所述生產(chǎn)源數(shù)據(jù)，并啟動所述系統(tǒng)。