[發(fā)明專利]半導(dǎo)體工藝設(shè)備及推片裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011146581.1
• 申請(qǐng)日: 2020-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN112331602A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋新豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及推片裝置。該推片裝置設(shè)置于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中預(yù)設(shè)的片盒傳輸工位上，其包括：驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和與驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)相連的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括有推板，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)固定設(shè)置于片盒傳輸工位上，用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，以使推板運(yùn)動(dòng)至第一位置；在推板位于第一位置，并且片盒位于片盒傳輸工位時(shí)，推板能夠同時(shí)對(duì)片盒內(nèi)的多個(gè)未復(fù)位的待加工件進(jìn)行復(fù)位。本申請(qǐng)實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了一次即可完成對(duì)片盒內(nèi)多個(gè)未復(fù)位的待加工件進(jìn)行復(fù)位，從而大幅提高了待加工件整理的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，本申請(qǐng)涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及推片裝置。

背景技術(shù)

目前，立式爐設(shè)備作為半導(dǎo)體制造工藝中的前道工藝處理設(shè)備。立式爐設(shè)備主要進(jìn)行氧化薄膜、退火、低壓力化學(xué)氣相沉積(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD)等熱處理工藝。目前市場上主流的立式爐設(shè)備一般為8寸晶片立式爐設(shè)備和12寸晶片立式爐設(shè)備。其中，8寸晶片立式爐設(shè)備使用的晶片存儲(chǔ)盒稱為片盒(Wafer Cassette)，不同于12寸晶片存儲(chǔ)盒，片盒是一種開放式的存儲(chǔ)盒，即片盒的前端并沒有密封蓋，因此晶片在片盒中是能夠自由活動(dòng)。當(dāng)片盒機(jī)械手將片盒傳送到片盒傳輸工位時(shí)，由于速度和振動(dòng)的影響，晶片會(huì)變得參差不齊，這樣就會(huì)影響后續(xù)的傳片機(jī)械手進(jìn)行正常的取片。因此，在8寸晶片立式爐設(shè)備中一般會(huì)裝有推片機(jī)構(gòu)，當(dāng)片盒被傳送到片盒傳輸工位后，推片機(jī)構(gòu)可以將片盒內(nèi)參差不齊的晶片恢復(fù)整齊，以方便傳片機(jī)械手正常的進(jìn)行取片。

現(xiàn)有技術(shù)中推片機(jī)構(gòu)一般安裝于傳片機(jī)械手上，每次進(jìn)行推片動(dòng)作需要驅(qū)動(dòng)傳片機(jī)械手進(jìn)行推片動(dòng)作，并且傳片機(jī)械手的片叉需要插入晶片之間的間隙內(nèi)以防止撞片，因此這樣的推片機(jī)構(gòu)效率比較低，在傳片機(jī)械手進(jìn)行取片之前會(huì)消耗很多時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)針對(duì)現(xiàn)有方式的缺點(diǎn)，提出一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及推片裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)存在整理晶片過程中容易損壞晶片以及工作效率較低的技術(shù)問題。

第一個(gè)方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種推片裝置，設(shè)置于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中預(yù)設(shè)的片盒傳輸工位上，包括：驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和與所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)相連的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括有推板，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)固定設(shè)置于所述片盒傳輸工位上，用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，以使所述推板運(yùn)動(dòng)至第一位置；在所述推板位于所述第一位置，并且片盒位于所述片盒傳輸工位時(shí)，所述推板能夠同時(shí)對(duì)所述片盒內(nèi)的多個(gè)未復(fù)位的待加工件進(jìn)行復(fù)位。

于本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)還用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，以使所述推板運(yùn)動(dòng)至第二位置，在所述推板位于所述第二位置時(shí)，所述推板遠(yuǎn)離傳片口，以使所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的傳片機(jī)械手可由所述傳片口傳輸所述待加工件。

于本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括旋轉(zhuǎn)桿及滑動(dòng)組件，所述旋轉(zhuǎn)桿與所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接，所述推板通過所述滑動(dòng)組件設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)桿的一側(cè)，所述推板可在所述片盒的帶動(dòng)下相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)桿向下滑動(dòng)。

于本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述推板面向所述片盒的側(cè)面上設(shè)置有定位孔，用于與所述片盒上的定位銷配合，以帶動(dòng)所述推板向下滑動(dòng)。

于本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述滑動(dòng)組件包括導(dǎo)軌及滑塊，所述導(dǎo)軌設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)桿上，所述滑塊設(shè)置于所述推板上，所述滑塊與所述導(dǎo)軌配合滑動(dòng)。

于本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括有伸縮組件及止擋塊，所述伸縮組件設(shè)置于所述推板的下方，用于為所述推板提供一向上的作用力；所述止擋塊設(shè)置于所述導(dǎo)軌上，用于與所述滑塊配合以對(duì)所述推板進(jìn)行限位。

于本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述伸縮組件包括安裝板、直線軸承、伸縮軸及彈性件，所述安裝板設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)桿的底端，所述直線軸承設(shè)置于所述安裝板上；所述伸縮軸的一端與所述推板的底端固定連接，另一端滑動(dòng)設(shè)置于所述直線軸承內(nèi)；所述彈性件套設(shè)于所述伸縮軸上，并且位于所述推板及所述直線軸承之間。