[發(fā)明專(zhuān)利]一種微流道散熱器的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011144350.7
• 申請(qǐng)日: 2020-10-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112299364A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅紹根;楊斌;崔成強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣東佛智芯微電子技術(shù)研究有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B81C1/00
• 分類(lèi)號(hào): B81C1/00;B81C3/00;H01L21/48
• 代理公司: 廣州鼎賢知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44502
• 代理人: 劉莉梅

本發(fā)明公開(kāi)一種微流道散熱器的制備方法，包括步驟：制作微流道板，使微流道板具有若干沿其長(zhǎng)度方向貫穿其的微流道孔；提供底板，在底板上開(kāi)設(shè)一個(gè)十字形凹槽，并使凹槽距離較窄的相對(duì)兩側(cè)之間距離與微流道板寬度相匹配；將微流道板貼于凹槽中，并使微流道板的寬度方向兩側(cè)與凹槽的距離較窄的相對(duì)兩側(cè)分別抵接，同時(shí)使微流道板的微流道孔兩端與凹槽的相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁之間分別形成空腔，并使微流道板上表面高于底板的上表面；提供材質(zhì)與底板材質(zhì)相同的蓋板，將蓋板通過(guò)密封膠貼于底板上，在底板或蓋板上間隔開(kāi)設(shè)兩個(gè)通孔，使兩個(gè)通孔分別與其中一個(gè)空腔連通。本發(fā)明可制得厚度薄、具有高效散熱效果的微流道散熱器，并能提高微流道散熱器的生產(chǎn)良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片散熱技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微流道散熱器的制備方法。

背景技術(shù)

隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展，芯片的尺寸越來(lái)越小，同時(shí)運(yùn)算速度越來(lái)越快，發(fā)熱量也就越來(lái)越大，如英特爾處理器3.6G奔騰4終極版運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的熱量最大可達(dá)115w，這就對(duì)芯片的散熱性能提出更高的要求。任何芯片的正常工作都必須滿(mǎn)足一個(gè)溫度范圍，這個(gè)溫度是指硅片上的溫度，通常稱(chēng)之為結(jié)溫。如果要維持芯片的結(jié)溫在正常的溫度范圍以?xún)?nèi)，就需要采取一定的技術(shù)手段使芯片產(chǎn)生的熱量迅速發(fā)散到環(huán)境中去。具體地，芯片產(chǎn)生的熱量主要傳給芯片封裝外殼，由芯片封裝外殼直接散布到環(huán)境中去。

因此，需要研究一種可以快速制備散熱器的方法，并能使制得的散熱器對(duì)芯片具有高效散熱效果，以滿(mǎn)足芯片的正常工作需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種微流道散熱器的制備方法，可以制得厚度薄、具有高效散熱效果的微流道散熱器，并能提高微流道散熱器的生產(chǎn)良率。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

提供一種微流道散熱器的制備方法，包括以下步驟：

S10、制作微流道板，使所述微流道板具有若干沿其長(zhǎng)度方向貫穿其的微流道孔；

S20、提供底板，在所述底板上開(kāi)設(shè)一個(gè)呈十字形的凹槽，并使所述凹槽的距離較窄的相對(duì)兩側(cè)之間的距離與所述微流道板的寬度相匹配；

S30、將所述微流道板貼于所述凹槽中，并使所述微流道板的寬度方向的兩側(cè)與所述凹槽的距離較窄的相對(duì)的兩側(cè)分別抵接，同時(shí)使所述微流道板的微流道孔兩端與所述凹槽的相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁之間分別形成空腔，并使所述微流道板的上表面高于所述底板的上表面；

S40、提供材質(zhì)與所述底板材質(zhì)相同的蓋板，將所述蓋板通過(guò)密封膠貼于所述底板上，在所述底板或所述蓋板上間隔開(kāi)設(shè)兩個(gè)通孔，使兩個(gè)所述通孔分別與其中一個(gè)所述空腔連通。

本發(fā)明在底板上開(kāi)設(shè)十字形凹槽，并使凹槽的距離較窄的相對(duì)兩側(cè)之間的距離與所述微流道板的寬度相匹配，將微流道板貼在凹槽中時(shí)，微流道板沿其寬度方向的兩側(cè)恰好與十字形凹槽的相對(duì)較窄的兩側(cè)卡接，從而提高了微流道板的安裝結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，防止微流道板在后續(xù)步驟中發(fā)生偏移，進(jìn)而使微流道散熱器具有良好的散熱效果。本發(fā)明可以批量制作微流道板，并在底板上開(kāi)槽，組裝后形成微流道，提高了微流道板散熱器的生產(chǎn)效率和生產(chǎn)良率。

進(jìn)一步地，在微流道散熱器的制備方法中，步驟S10具體包括以下步驟：

S10a、提供金屬板，在金屬板一面或者雙面貼覆感光干膜；

S10b、曝光顯影，然后在顯影孔內(nèi)及感光干膜表面進(jìn)行電鑄，形成電鑄層；形成的電鑄層上表面平整，通過(guò)顯影孔內(nèi)的電鑄金屬與金屬板穩(wěn)定連接；