[發明專利]用于真空封合之密封碟盤

在審

• 申請號: 202011143486.6
• 申請日: 2020-10-23
• 公開（公告）號: CN112268141A
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 胡曉;趙燁梁;張少輝;寇崇善;王衍圣;王志纮;許俊樹;林賜民;蔡銘昇;顧文偉
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海高等研究院;中國科學院上海應用物理研究所;日揚電子科技（上海）有限公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02;F16J15/02
• 代理公司: 北京思格頌知識產權代理有限公司 11635
• 代理人: 潘珺;王申

一種用于真空封合之密封碟盤，適用于往復地移動至開啟位置或關閉位置以開啟或封合全金屬閥之閥口。密封碟盤之密封板形成有第一密封面，密封碟盤于關閉位置系以第一密封面直接抵接全金屬真空閥之閥口。本發明藉由金屬材質之密封面相互抵接時的補償運動和調節運動，可提高真空封合性及延長使用壽命。

技術領域

本發明是有關于一種密封碟盤，特別是有關于一種用于真空封合之密封碟盤。

背景技術

傳統的真空閥大多使用俗稱O型環的橡膠類彈性材料作為閥板與閥體之間的密封組件。由于O型環系藉由擠壓形變而達到所需的封合效果，因此O型環僅適用于對封合性要求不高的閥體。因此，此類密封組件無法適用于高真空系統，且無法適用于高溫環境中。

有些高真空系統雖然采用全金屬閥取代橡膠類密封組件。然而，其系藉由兩金屬層間相互抵接而形成封合面，因此施加之閉合力需要隨著閥門開關次數增加而增加，且其使用壽命也會因此而縮短。此外，金屬層因加熱或冷卻所產生的尺寸變化會使得兩金屬層間具有相對運動并導致剪切變形，進而破壞封合面。

發明內容

有鑒于此，本發明之目的就是在提供一種用于真空封合之密封碟盤，其可適用于超高真空系統中，用以解決上述習知技藝之問題。

為達前述目的，本發明提出一種用于真空封合之密封碟盤，適用于往復地移動至一開啟位置或一關閉位置以開啟或封合一真空閥之一金屬材料之閥口，該密封碟盤至少包含：一基座，該基座具有一第一表面；以及一密封板，該密封板環接該基座，其中該密封碟盤于該關閉位置系同時承受從該真空閥之內部施加之閉合力以及從該真空閥之外部施加之大氣壓力，藉以使得該密封板之一第一密封面直接抵接該真空閥之該閥口中之一第二密封面，且該第一密封面可同時隨著施加之該閉合力及該大氣壓力而相對于該第二密封面轉動以保持真空封合該閥口。

其中，該密封板為彎折板、波浪板或弧形板。

其中，該密封板包含：一第一翼板，該第一翼板于一第一環接處環接該基座且相對于該第一環接處之一環面以一第一夾角朝遠離該第一環接處的方向向外延伸；以及一第二翼板，該第二翼板于一第二環接處環接該第一翼板且相對于該第一翼板以一第二夾角朝遠離該基座之該第一表面之方向向外延伸，藉以使得該第二翼板與該第一環接處之該環面間呈一第三夾角，其中該第一密封面位于該第二翼板之端緣上。

其中，該閉合力系同時直接施加于該第二翼板與該第一翼板連接之該第二環接處以及該基座。

其中，該閉合力系直接施加于該基座以經由該基座而間接施加于該密封板。

其中，該第一夾角之角度值介于5度至45度之間，該第三夾角之角度值介于5度至45度之間，該第一夾角之角度值、該第二夾角之角度值及該第三夾角之角度值總和為180度。

其中，該基座具有一第二表面相對于該第一表面，該第二表面設有一定位件，用以于該密封碟盤裝配于該真空閥的過程中定位該密封碟盤相對于該真空閥之該閥口的位置。

其中，該密封板之該第一密封面系圓弧面或球面。

其中，該密封板之該第一密封面系經潤滑拋光處理之表面。

其中，該密封板為金屬材質。

其中，該真空閥為全金屬閥。

其中，該真空閥為全金屬高頻屏蔽閘閥。

其中，該密封板一體環接該基座。

其中，該密封板可拆卸式環接該基座。