[發明專利]用于真空封合之密封碟盤

在審

• 申請號: 202011143486.6
• 申請日: 2020-10-23
• 公開（公告）號: CN112268141A
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 胡曉;趙燁梁;張少輝;寇崇善;王衍圣;王志纮;許俊樹;林賜民;蔡銘昇;顧文偉
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海高等研究院;中國科學院上海應用物理研究所;日揚電子科技（上海）有限公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02;F16J15/02
• 代理公司: 北京思格頌知識產權代理有限公司 11635
• 代理人: 潘珺;王申

1.一種用于真空封合之密封碟盤，適用于往復地移動至一開啟位置或一關閉位置以開啟或封合一真空閥之一金屬材料之閥口，該密封碟盤至少包含：

一基座，該基座具有一第一表面；以及

一密封板，該密封板環接該基座，其中該密封碟盤于該關閉位置系同時承受從該真空閥之內部施加之閉合力以及從該真空閥之外部施加之大氣壓力，藉以使得該密封板之一第一密封面可同時隨著該閉合力及該大氣壓力轉動地抵接該真空閥之該閥口中之一第二密封面，以保持真空封合該閥口。

2.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板為彎折板、波浪板或弧形板。

3.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板包含：

一第一翼板，該第一翼板于一第一環接處環接該基座且相對于該第一環接處之一環面以一第一夾角朝遠離該第一環接處的方向向外延伸；以及

一第二翼板，該第二翼板于一第二環接處環接該第一翼板且相對于該第一翼板以一第二夾角朝遠離該基座之該第一表面之方向向外延伸，藉以使得該第二翼板與該第一環接處之該環面間呈一第三夾角，其中該第一密封面位于該第二翼板之端緣上。

4.如權利要求3所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該閉合力系同時直接施加于該第二翼板與該第一翼板連接之該第二環接處以及該基座。

5.如權利要求3所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該閉合力系直接施加于該基座以經由該基座而間接施加于該密封板。

6.如權利要求3所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該第一夾角之角度值介于5度至45度之間，該第三夾角之角度值介于5度至45度之間，該第一夾角之角度值、該第二夾角之角度值及該第三夾角之角度值總和為180度。

7.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該基座具有一第二表面相對于該第一表面，該第二表面設有一定位件，用以于該密封碟盤裝配于該真空閥的過程中定位該密封碟盤相對于該真空閥之該閥口的位置。

8.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板之該第一密封面系圓弧面或球面。

9.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板之該第一密封面系經潤滑拋光處理之表面。

10.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板為金屬材質，該真空閥為全金屬閥。

11.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板為金屬材質，該真空閥為全金屬高頻屏蔽閘閥。

12.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板一體環接該基座。

13.如權利要求1所述之用于真空封合之密封碟盤，其中該密封板可拆卸式環接該基座。