[發明專利]物理量傳感器、電子設備和移動體

在審

• 申請號: 202011139915.2
• 申請日: 2020-10-22
• 公開（公告）號: CN112698054A
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 田中悟
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

1.一種物理量傳感器，其特征在于，

將相互正交的三個方向作為第一方向、第二方向和第三方向時，所述物理量傳感器具有：

基板；以及

可動體，與所述基板隔開空隙并與所述第三方向相對，且相對于所述基板在所述第三方向上位移，

所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙為所述基板與所述可動體間的分離距離比所述第一空隙大的空隙，

所述可動體具有：在從所述第三方向的俯視觀察下與所述第一空隙重疊的第一部分和與所述第二空隙重疊的第二部分；以及多個貫通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，并在所述第三方向上貫通，且從所述第三方向觀察時的開口形狀為正方形，

在從所述第三方向的俯視觀察下，在與所述第一部分重疊的第一區域和與所述第二部分重疊的第二區域的至少一方中，滿足下式的關系：

C≤1.5×Cmin

其中，

將所述貫通孔的所述第三方向的長度作為H、

將所述可動體的沿著所述第一方向的長度的1/2的長度作為a、

將所述可動體的沿著所述第二方向的長度作為L、

將所述空隙的所述第三方向的長度作為h、

將所述貫通孔的一邊的長度作為S0、

將相鄰的所述貫通孔彼此的間隔作為S1、

將所述空隙內的氣體的粘性阻力作為μ、

將在所述可動體產生的阻尼作為C時，

K(β)＝4β2-β⁴-4lnβ-3

r₀＝0.547×S0

在所述式(1)中，將滿足下式時的C作為Cmin，

2.一種物理量傳感器，其特征在于，

將相互正交的三個方向作為第一方向、第二方向和第三方向時，具有：

基板；以及

可動體，與所述基板隔開空隙并與所述第三方向相對，且相對于所述基板在所述第三方向上位移，

所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙為所述基板與所述可動體間的分離距離比所述第一空隙大的空隙，

所述可動體具有：在從所述第三方向的俯視觀察下與所述第一空隙重疊的第一部分和與所述第二空隙重疊的第二部分；以及多個貫通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，在所述第三方向上貫通，且從所述第三方向觀察時的開口形狀為圓形，

在從所述第三方向的俯視觀察下，在與所述第一部分重疊的第一區域和與所述第二部分重疊的第二區域的至少一方中，滿足下式的關系：

C≤1.5×Cmin

其中，

將所述貫通孔的所述第三方向的長度作為H、

將所述可動體的沿著所述第一方向的長度的1/2的長度作為a、

將所述可動體的沿著所述第二方向的長度作為L、

將所述空隙的所述第三方向的長度作為h、

將所述貫通孔的半徑作為r_o、

將所述貫通孔中心間距離的一半作為r_c、

將所述空隙內的氣體的粘性阻力作為μ、

將在所述可動體產生的阻尼作為C時，

K(β)＝4β²-β⁴-4lnβ-3

在所述式(1)中，將滿足下式時的C作為Cmin，