[發(fā)明專(zhuān)利]物理量傳感器、電子設(shè)備和移動(dòng)體

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011139915.2
• 申請(qǐng)日: 2020-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112698054A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中悟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01P15/125
• 分類(lèi)號(hào): G01P15/125
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 李丹

一種物理量傳感器、電子設(shè)備和移動(dòng)體，物理量傳感器具有：基板；以及可動(dòng)體，與基板隔開(kāi)空隙并與第三方向相對(duì)，且相對(duì)于基板在第三方向上位移。可動(dòng)體具有：第一部分和第二部分；以及多個(gè)貫通孔，配置于第一部分和第二部分，且在第三方向上貫通。并且，在將阻尼作為C、將阻尼的最小值作為Cmin時(shí)，在從第三方向的俯視觀察下，在與第一部分重疊的第一區(qū)域和與第二部分重疊的第二區(qū)域的至少一方中，滿(mǎn)足C≤1.5×Cmin。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及物理量傳感器、電子設(shè)備和移動(dòng)體。

背景技術(shù)

例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的加速度傳感器具有：基板；固定于基板的固定部；可動(dòng)體，經(jīng)由梁與固定部連接；以及固定檢測(cè)電極，配置于基板，檢測(cè)在與可動(dòng)體之間產(chǎn)生的靜電電容。并且，如果從可動(dòng)體與固定檢測(cè)電極重疊的方向施加加速度，則可動(dòng)體以梁為旋轉(zhuǎn)軸擺動(dòng)，由于伴隨于此可動(dòng)體與固定檢測(cè)電極之間的間隔變化，所以靜電電容變化。因此，專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的加速度傳感器能夠基于靜電電容的變化來(lái)檢測(cè)加速度。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特表2003-519384號(hào)公報(bào)

但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的加速度傳感器中，存在如下技術(shù)問(wèn)題：由于因形成于可動(dòng)體的貫通孔在可動(dòng)體與固定檢測(cè)電極之間產(chǎn)生的靜電電容變小、以及可動(dòng)體的擺動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的空氣阻力，加速度的檢測(cè)靈敏度降低。

發(fā)明內(nèi)容

一種物理量傳感器，其特征在于，將相互正交的三個(gè)方向作為第一方向、第二方向和第三方向時(shí)，所述物理量傳感器具有：基板；以及可動(dòng)體，與所述基板隔開(kāi)空隙并與所述第三方向相對(duì)，且相對(duì)于所述基板在所述第三方向上位移，所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙為所述基板與所述可動(dòng)體間的分離距離比所述第一空隙大的空隙，所述可動(dòng)體具有：在從所述第三方向的俯視觀察下與所述第一空隙重疊的第一部分和與所述第二空隙重疊的第二部分；以及多個(gè)貫通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，并在所述第三方向上貫通，且從所述第三方向觀察時(shí)的開(kāi)口形狀為正方形，在從所述第三方向的俯視觀察下，在與所述第一部分重疊的第一區(qū)域和與所述第二部分重疊的第二區(qū)域的至少一方中，滿(mǎn)足下式的關(guān)系：

C≤1.5×Cmin

其中，將所述貫通孔的所述第三方向的長(zhǎng)度作為H、將所述可動(dòng)體的沿著所述第一方向的長(zhǎng)度的1/2的長(zhǎng)度作為a、將所述可動(dòng)體的沿著所述第二方向的長(zhǎng)度作為L(zhǎng)、將所述空隙的所述第三方向的長(zhǎng)度作為h、將所述貫通孔的一邊的長(zhǎng)度作為S0、將相鄰的所述貫通孔彼此的間隔作為S1、將所述空隙內(nèi)的氣體的粘性阻力作為μ、將在所述可動(dòng)體產(chǎn)生的阻尼作為C時(shí)，

K(β)＝4β²-β⁴-4lnβ-3

r₀＝0.547×S0

在所述式(1)中，將滿(mǎn)足下式時(shí)的C作為Cmin，

一種物理量傳感器，其特征在于，將相互正交的三個(gè)方向作為第一方向、第二方向和第三方向時(shí)，具有：基板；以及可動(dòng)體，與所述基板隔開(kāi)空隙并與所述第三方向相對(duì)，且相對(duì)于所述基板在所述第三方向上位移，所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙為所述基板與所述可動(dòng)體間的分離距離比所述第一空隙大的空隙，所述可動(dòng)體具有：在從所述第三方向的俯視觀察下與所述第一空隙重疊的第一部分和與所述第二空隙重疊的第二部分；以及多個(gè)貫通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，在所述第三方向上貫通，且從所述第三方向觀察時(shí)的開(kāi)口形狀為圓形，在從所述第三方向的俯視觀察下，在與所述第一部分重疊的第一區(qū)域和與所述第二部分重疊的第二區(qū)域的至少一方中，滿(mǎn)足下式的關(guān)系：