[發(fā)明專利]一種硅基液晶器件

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011134105.8
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN112147812A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李愛源;熊培成;吳梓榮;陳嶸;洪俊斌
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳秋田微電子股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G02F1/1337
• 代理公司: 深圳市恒申知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44312
• 代理人: 任哲夫

本發(fā)明提供了一種硅基液晶器件，包括液晶盒和灌入所述液晶盒的液晶層，所述液晶盒包括導(dǎo)電玻璃和襯底，所述導(dǎo)電玻璃和襯底貼合設(shè)置，靠近所述導(dǎo)電玻璃設(shè)有第一取向?qū)樱拷鲆r底依次設(shè)有像素層、反射光柵層及第二取向?qū)樱獠客ㄐ殴獯怪比肷洌来谓?jīng)過導(dǎo)電玻璃、第一取向?qū)印⒁壕樱诙∠驅(qū)印⒎瓷涔鈻艑拥竭_(dá)像素層反射。反射率決定了硅基液晶器件的插入損耗大小，高反射率硅基液晶器件具有低插入損耗。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅基液晶光學(xué)領(lǐng)域，尤其是指一種硅基液晶器件。

背景技術(shù)

LCOS(Liquid Crystal on Silicon)是一種較成熟的先進(jìn)技術(shù)。它是制作在單晶硅上的LCD新型顯示器，是LCD與CMOS集成電路有機(jī)結(jié)合的新興技術(shù)。LCOS具有高分辨率、反射式成像、低價(jià)格的特點(diǎn)。該技術(shù)最早出現(xiàn)在上世紀(jì)九十年代末期。其首批成型產(chǎn)品是由Aurora Systems公司于2000年開發(fā)出的,由于該產(chǎn)品具有高分辨率、高開口率、反射式成像的特點(diǎn)，所以立刻受到了人們高度關(guān)注，很多企業(yè)開始進(jìn)行了研究與開發(fā)。其中如索尼、JVC、佳能、英特爾、飛利浦、臺聯(lián)電等企業(yè)。

硅基液晶是一種反射模式的液晶器件，利用像素電極上鍍反射鏡對光進(jìn)行反射或偏轉(zhuǎn)，應(yīng)用領(lǐng)域包括AR/VR眼鏡，光通信WSS等，其中基于WSS的LCOS因?yàn)樾枰档筒迦霌p耗，對反射率有較高要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供一種硅基液晶器件，以解決現(xiàn)有的硅基液晶器件的反射率低，存在插入損耗較高的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：提供一種硅基液晶器件，包括液晶盒和灌入所述液晶盒的液晶層，所述液晶盒包括導(dǎo)電玻璃和襯底，所述導(dǎo)電玻璃和襯底貼合設(shè)置，靠近所述導(dǎo)電玻璃設(shè)有第一取向?qū)樱拷鲆r底依次設(shè)有像素層、反射光柵層及第二取向?qū)樱獠客ㄐ殴獯怪比肷洌来谓?jīng)過導(dǎo)電玻璃、第一取向?qū)印⒁壕樱诙∠驅(qū)印⒎瓷涔鈻艑拥竭_(dá)像素層反射。

進(jìn)一步的，所述反射光柵層包括亞波長光柵層，所述亞波長光柵層的折射率為Na。

進(jìn)一步的，所述亞波長光柵層的材質(zhì)為Si₃N₄、Si、Ta₂O₅、ZrO₂及TiO₂中的任意一種。

進(jìn)一步的，所述亞波長光柵層周期尺寸在λ/5-λ之間，λ為入射光波長，所述亞波長光柵層寬度在100nm-1200nm之間，所述亞波長光柵層高度在50nm-1200nm之間。

進(jìn)一步的，所述反射光柵層包括自上而下設(shè)置的第一外圍介質(zhì)層、亞波長光柵層及第二外圍介質(zhì)層，所述第一外圍介質(zhì)層高度為h₂，所述第二外圍介質(zhì)層高度為h₃，其中，h₂和h₃尺寸范圍為0nm-5000nm，還包括第三外圍介質(zhì)層，所述第三外圍介質(zhì)層填充于所述光柵層的空隙區(qū)域。