[發明專利]一種靶材表面的清洗方法

在審

• 申請號: 202011133191.0
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN112267099A
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;時曉旭
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B08B3/02;B08B3/12;F26B21/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種靶材表面的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步驟：

將靶材表面進行流水清洗并擦拭，然后依次進行超聲振動清洗、噴射清洗和吹掃干燥，得到清洗完成的靶材。

2.根據權利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述靶材包括金屬靶材、合金靶材或陶瓷靶材中任意一種或至少兩種的組合；

優選地，所述靶材表面包括靶材濺射面和噴砂熔射區域。

3.根據權利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，所述流水清洗為采用超純水進行靶材表面的沖洗；

優選地，所述擦拭為采用清潔海綿對靶材的濺射面、噴砂熔射區域、密封圈槽和孔槽進行擦洗；

優選地，所述清潔海綿包括擦擦克林海綿或納米海綿。

4.根據權利要求1-3任一項所述的清洗方法，其特征在于，所述靶材進行流水清洗和擦拭時，靶材置于放置臺上；

優選地，所述放置臺上墊凈化布。

5.根據權利要求1-4任一項所述的清洗方法，其特征在于，所述超聲振動清洗采用具有拋動功能的超聲波設備，優選為具有拋動軸承支架的超聲波設備；

優選地，所述超聲振動清洗的介質為超純水。

6.根據權利要求1-5任一項所述的清洗方法，其特征在于，所述超聲振動清洗的功率為1500～2500W；

優選地，所述超聲振動清洗的溫度為15～25℃；

優選地，所述超聲振動清洗的時間為5～15min。

7.根據權利要求1-6任一項所述的清洗方法，其特征在于，所述噴射清洗為采用高壓水槍對噴砂熔射區域進行沖擊；

優選地，所述高壓水槍所用介質為高純水；

優選地，所述高壓水槍的噴射壓力為10～25MPa；

優選地，所述噴射清洗的時間為0.5～2min。

8.根據權利要求1-7任一項所述的清洗方法，其特征在于，所述吹掃干燥為采用壓縮氣體對靶材進行吹掃干燥；

優選地，所述壓縮氣體包括惰性氣體和/或氮氣；

優選地，所述壓縮氣體的壓力為0.1～0.3MPa；

優選地，所述吹掃干燥的時間為3～5min。

9.根據權利要求1-8任一項所述的清洗方法，其特征在于，所述靶材清洗完成后進行真空包裝；

優選地，所述真空包裝時抽真空的時間不少于10s。

10.根據權利要求1-9任一項所述的清洗方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

(1)將靶材表面進行流水清洗并擦拭，所述流水清洗為采用超純水進行靶材表面的沖洗，所述擦拭為采用清潔海綿對靶材的濺射面、噴砂熔射區域、密封圈槽和孔槽進行擦洗；

(2)將步驟(1)處理后的靶材采用具有拋動功能的超聲波設備進行超聲振動清洗，所用介質為超純水，所述超聲振動清洗的功率為1500～2500W，溫度為15～25℃，時間為5～15min；

(3)將步驟(2)處理后的靶材采用高壓水槍對噴砂熔射區域進行噴射清洗，所述高壓水槍所用介質為高純水，噴射清洗的壓力為10～25MPa，時間為0.5～2min；

(4)將步驟(3)處理后的靶材采用壓縮氣體進行吹掃干燥，所述壓縮氣體包括惰性氣體和/或氮氣，所述壓縮氣體的壓力為0.1～0.3MPa，吹掃干燥的時間為3～5min，得到清洗完成的靶材。