[發明專利]用于電子顯微鏡的測試樣品及其制作方法在審
| 申請號： | 202011127123.3 | 申請日： | 2020-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN114441561A | 公開（公告）日： | 2022-05-06 |
| 發明（設計）人： | 陳健群;彭裕庭 | 申請（專利權）人： | 陳健群 |
| 主分類號： | G01N23/04 | 分類號： | G01N23/04;G01N23/2202;G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 中國臺灣新*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 電子顯微鏡 測試 樣品 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于電子顯微鏡的測試樣品，其特征在于，包含：
待測物；及
保護層，由非晶形的氧化鋁構成，并披覆于該待測物上，且該保護層的厚度不大于5nm。
2.根據權利要求1所述用于電子顯微鏡的測試樣品，其特征在于，還包含承載基板，該待測物設置于該承載基板的表面，且該保護層還延伸覆蓋該承載基板的表面。
3.根據權利要求1所述用于電子顯微鏡的測試樣品，其特征在于，該電子顯微鏡能夠產生電子束并以特定的入射角度施加于該測試樣品，該保護層的厚度被控制為令該電子束在該保護層中的行進距離不大于10nm。
4.一種用于電子顯微鏡的測試樣品的制作方法，其特征在于，包含：
于設置于承載基板上的待測物的表面形成由非晶形的氧化鋁構成的保護層，且該保護層的厚度不大于5nm。
5.根據權利要求4所述用于電子顯微鏡的測試樣品的制作方法，其特征在于，該保護層是通過原子層沉積的方式形成的。
6.根據權利要求4所述用于電子顯微鏡的測試樣品的制作方法，其特征在于，該測試樣品的制備是先利用氬等離子對該待測物進行表面清潔，再形成該保護層。
7.根據權利要求4所述用于電子顯微鏡的測試樣品的制作方法，其特征在于，該電子顯微鏡能夠產生電子束并以特定的入射角度施加于該測試樣品，該保護層的厚度被控制為令該電子束在該保護層中的行進距離不大于10nm。
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