[發(fā)明專利]曝光機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011125345.1
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN112198767B
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發(fā)明（設計）人: 王虎
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

1.一種曝光機，其特征在于，包括：

載臺，用于承載待曝光的目標基板；

光源組件，位于所述載臺上，以及用于提供曝光光源；

擋板組件，位于所述載臺與所述光源組件之間，所述擋板組件包括至少一層疊設置的擋板構件，任一所述擋板構件至少包括沿第一方向設置的兩個擋板和沿第二方向設置的兩個擋板，任一所述擋板包括至少兩個滑動連接的擋條，所述擋板上的擋條形成所述曝光機的目標曝光圖案；

所述擋板組件包括第一擋板構件，所述第一擋板構件包括沿第一方向設置的第一擋板和第三擋板、以及沿第二方向設置的第二擋板和第四擋板，所述第一擋板構件上的擋板形成所述曝光機的第一曝光圖案；

所述擋板組件還包括位于所述第一擋板構件一側(cè)的第二擋板構件，所述第二擋板構件包括沿第三方向設置的兩個擋板以及沿第四方向設置的兩個擋板，所述第二擋板構件上的擋板形成所述曝光機的第二曝光圖案，所述第一曝光圖案與所述第二曝光圖案的疊加形成所述目標曝光圖案，所述第三方向與所述第一方向及所述第二方向的夾角為45°，所述第四方向與所述第一方向及所述第二方向的夾角為45°。

2.根據(jù)權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述第一擋板包括至少兩個滑動連接的第一擋條，所述第二擋板包括至少兩個滑動連接的第二擋條，所述第三擋板包括至少兩個滑動連接的第三擋條，所述第四擋板包括至少兩個滑動連接的第四擋條；

至少兩個所述第一擋條、至少兩個所述第二擋條、至少兩個所述第三擋條、及至少兩個所述第四擋條形成所述曝光機的第一曝光圖案。

3.根據(jù)權利要求2所述的曝光機，其特征在于，所述第一曝光圖案的中心與所述第二曝光圖案的中心重合。

4.根據(jù)權利要求3所述的曝光機，其特征在于，所述第一擋板構件以所述第一曝光圖案的中心軸旋轉(zhuǎn)X，所述第一擋板構件與所述第二擋板構件重合。

5.根據(jù)權利要求1所述的曝光機，其特征在于，相鄰兩個所述擋條具有重疊部分。

6.根據(jù)權利要求5所述的曝光機，其特征在于，相鄰兩個所述擋條錯位設置；或者，所述擋條呈T字型，相鄰兩個所述擋條搭接設置。

7.根據(jù)權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括傳動組件，所述傳動組件包括至少一第一滾輪、位于所述第一滾輪上的第一齒輪、及與所述第一齒輪嚙合的第一齒條，所述第一齒條與所述擋條固定連接。

8.根據(jù)權利要求7所述的曝光機，其特征在于，所述第一齒輪的分度圓直徑與所述第一滾輪的直徑相等。

9.根據(jù)權利要求7所述的曝光機，其特征在于，所述第一齒輪包括多個位于相鄰兩個輪齒上的齒槽，部分所述齒槽凹陷于所述第一滾輪內(nèi)。