[發明專利]一種掩膜版自動輔助夾具

有效

• 申請號: 202011121532.2
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN112346307B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 錢超;余洋
• 申請（專利權）人: 南京深光科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 南京行高知識產權代理有限公司 32404
• 代理人: 肖念

本發明屬于半導體生產技術領域，尤其是涉及一種掩膜版自動輔助夾具，包括連接座，連接座的側壁上固定連接有多根支撐柱，支撐柱上設有夾緊機構，連接座與支撐柱內均設有空腔且相互連通，連接座上固定連接有連接柱，連接柱內設有用于配合夾緊機構的往復機構，連接柱上設有轉動機構，連接柱的一側設有用于配合轉動機構的升降機構。優點在于：本發明可在對掩膜版就行清洗時具有良好的夾緊作用，同時不會使其出現受力不均勻或夾持過度而導致損傷的效果，同時可在完成清洗后將其自動的提升出清洗的區域，方便操作人員拿取，進一步降低其出現誤操作的可能性。

技術領域

本發明屬于半導體生產技術領域，尤其是涉及一種掩膜版自動輔助夾具。

背景技術

光罩，業內又稱掩膜版，材質：石英玻璃、金屬鉻和感光膠，該產品是由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料，把已設計好的電路圖形通過電子激光設備曝光在感光膠上,被曝光的區域會被顯影出來，在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后的底片的光掩模版，然后應用于對集成電路進行投影定位，通過集成電路光刻機對所投影的電路進行光蝕刻，其生產加工工序為：曝光，顯影，去感光膠，最后應用于光蝕刻。

掩膜版的制造十分麻煩，造價更是十分昂貴，通常需要重復使用，在產線切換產品或者連續生產達到一定數量時，為了防止光罩被污染而產生MASK共通缺陷，需要對光罩進行清洗，主要是因為液晶生產中所使用的光阻特性，有的光阻比較容易揮發產生升華物滴落在基板的表面，在基板進入曝光機曝光時由于曝光的GAP較小，從而部分升華物會接觸到光罩表面，產生MASK共通缺陷，而使生產出的產品在相同的位置有著同樣的不良缺陷，現有的清洗機在使用時通常需要將其進行夾持，進而高速旋轉，再通過各種清洗劑等對其進行清潔沖洗，但由于其材質特殊，導致夾具如果夾持的過緊或受力點不均勻則易導致掩膜版直接損壞，同時操作步驟也較為繁瑣，操作人員在取放的過程中較為不便，易導致掩膜版容易暴露在高風險環境中。

為此，我們提出一種掩膜版自動輔助夾具來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是針對上述問題，提供一種高穩定性及安全性的掩膜版自動輔助夾具。

為達到上述目的，本發明采用了下列技術方案：一種掩膜版自動輔助夾具，包括連接座，所述連接座的側壁上固定連接有多根支撐柱，所述支撐柱上設有夾緊機構，所述連接座與支撐柱內均設有空腔且相互連通，所述連接座上固定連接有連接柱，所述連接柱內設有用于配合夾緊機構的往復機構，所述連接柱上設有轉動機構，所述連接柱的一側設有用于配合轉動機構的升降機構。

在上述的掩膜版自動輔助夾具中，所述夾緊機構包括設置于支撐柱空腔內壁上的多條條形滑槽，所述條形滑槽的內滑動連接有與之相匹配的第一滑塊，所述支撐柱空腔密封滑動連接有滑板，所述滑板的側壁與多塊第一滑塊均固定連接，所述滑板的一端固定連接有第一連接桿，所述第一連接桿的一端貫穿支撐柱的空腔并延伸至其外部，所述第一連接桿遠離滑板的一端轉動連接有第二連接桿，所述第二連接桿呈弧形彎曲狀，所述第二連接桿遠離第一連接桿的一端固定連接有夾頭，所述夾頭的下方設有按壓機構，所述第二連接桿的中段還轉動連接有第三連接桿，所述第三連接桿的一端與支撐柱的外側壁邊緣轉動連接。

在上述的掩膜版自動輔助夾具中，所述按壓機構包括設置于夾頭下方的第一壓塊，所述第一壓塊與支撐柱的外側壁固定連接，所述第一壓塊上設有嵌槽，所述嵌槽內底部固定連接有多根第一伸縮桿，多根所述第一伸縮桿的一端固定連接有同一塊第二壓塊，所述第二壓塊與夾頭相對的一端端面上均設有橡膠層，所述第一伸縮桿上套設有第一彈簧。

在上述的掩膜版自動輔助夾具中，所述往復機構包括設置于連接柱內的活動腔，所述活動腔與連接座內的腔室連通設置，所述活動腔的內底部固定連接有液壓桿，所述液壓桿的輸出端固定連接有推塊，所述推塊與活動腔的內壁滑動密封連接，所述活動腔內填充有填充液，所述填充液位于滑板和推塊之間。