[發(fā)明專利]一種掩膜版自動輔助夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011121532.2
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN112346307B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢超;余洋
• 申請（專利權(quán)）人: 南京深光科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32404
• 代理人: 肖念

1.一種掩膜版自動輔助夾具，包括連接座(1)，其特征在于，所述連接座(1)的側(cè)壁上固定連接有多根支撐柱(2)，所述支撐柱(2)上設(shè)有夾緊機(jī)構(gòu)(3)，所述連接座(1)與支撐柱(2)內(nèi)均設(shè)有空腔且相互連通，所述連接座(1)上固定連接有連接柱(4)，所述連接柱(4)內(nèi)設(shè)有用于配合夾緊機(jī)構(gòu)(3)的往復(fù)機(jī)構(gòu)(5)，所述連接柱(4)上設(shè)有轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(6)，所述連接柱(4)的一側(cè)設(shè)有用于配合轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(6)的升降機(jī)構(gòu)(7)；

所述夾緊機(jī)構(gòu)(3)包括設(shè)置于支撐柱(2)空腔內(nèi)壁上的多條條形滑槽(8)，所述條形滑槽(8)的內(nèi)滑動連接有與之相匹配的第一滑塊(9)，所述支撐柱(2)空腔密封滑動連接有滑板(10)，所述滑板(10)的側(cè)壁與多塊第一滑塊(9)均固定連接，所述滑板(10)的一端固定連接有第一連接桿(11)，所述第一連接桿(11)的一端貫穿支撐柱(2)的空腔并延伸至其外部，所述第一連接桿(11)遠(yuǎn)離滑板(10)的一端轉(zhuǎn)動連接有第二連接桿(12)，所述第二連接桿(12)呈弧形彎曲狀，所述第二連接桿(12)遠(yuǎn)離第一連接桿(11)的一端固定連接有夾頭(13)，所述夾頭(13)的下方設(shè)有按壓機(jī)構(gòu)(14)，所述第二連接桿(12)的中段還轉(zhuǎn)動連接有第三連接桿(15)，所述第三連接桿(15)的一端與支撐柱(2)的外側(cè)壁邊緣轉(zhuǎn)動連接；

所述按壓機(jī)構(gòu)(14)包括設(shè)置于夾頭(13)下方的第一壓塊(16)，所述第一壓塊(16)與支撐柱(2)的外側(cè)壁固定連接，所述第一壓塊(16)上設(shè)有嵌槽，所述嵌槽內(nèi)底部固定連接有多根第一伸縮桿(17)，多根所述第一伸縮桿(17)的一端固定連接有同一塊第二壓塊(18)，所述第二壓塊(18)與夾頭(13)相對的一端端面上均設(shè)有橡膠層，所述第一伸縮桿(17)上套設(shè)有第一彈簧(19)；

所述往復(fù)機(jī)構(gòu)(5)包括設(shè)置于連接柱(4)內(nèi)的活動腔，所述活動腔與連接座(1)內(nèi)的腔室連通設(shè)置，所述活動腔的內(nèi)底部固定連接有液壓桿(20) ，所述液壓桿(20)的輸出端固定連接有推塊(21) ，所述推塊(21)與活動腔的內(nèi)壁滑動密封連接，所述活動腔內(nèi)填充有填充液(46)，所述填充液(46)位于滑板(10)和推塊(21)之間；

所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(6)包括設(shè)置于連接柱(4)上的連接塊(22)，所述連接塊(22)內(nèi)設(shè)有操作室，所述連接柱(4)貫穿操作室并與其內(nèi)底部轉(zhuǎn)動連接，所述連接柱(4)上同軸固定連接有齒輪環(huán)(23)，所述操作室的底部轉(zhuǎn)動連接有用于與齒輪環(huán)(23)嚙合的第一齒輪(24)，所述操作室的底部還轉(zhuǎn)動連接第二齒輪(25)，所述第二齒輪(25)與第一齒輪(24)分設(shè)于連接柱(4)兩端，所述第二齒輪(25)上同軸固定連接有收卷輥(26)，所述收卷輥(26)上設(shè)有槽道，所述連接塊(22)上還設(shè)有用于配合第一齒輪(24)和第二齒輪(25)的活動機(jī)構(gòu)(27)；

所述升降機(jī)構(gòu)(7)包括固定連接于連接塊(22)遠(yuǎn)離連接座(1)一端的多根第二伸縮桿(39) ，多根所述第二伸縮桿(39)上均套設(shè)有第二彈簧(40)，所述第二伸縮桿(39)遠(yuǎn)離連接塊(22)的一端固定連接有臺座(41)，所述臺座(41)的一端側(cè)壁上固定連接有用于配合收卷輥(26)的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(42)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版自動輔助夾具，其特征在于，所述活動機(jī)構(gòu)(27)包括設(shè)置于連接柱(4)內(nèi)的放置腔，所述放置腔的內(nèi)底部固定連接有第一驅(qū)動電機(jī)(28)，所述第一驅(qū)動電機(jī)(28)的驅(qū)動軸上同軸固定連接有轉(zhuǎn)動板(29)，所述放置腔的內(nèi)頂面設(shè)有與操作室貫通的弧形槽(30)，所述弧形槽(30)內(nèi)滑動連接有與之相匹配的第二滑塊(31)，所述第二滑塊(31)與轉(zhuǎn)動板(29)固定連接，所述第二滑塊(31)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動板(29)的一端固定連接有墊板(32)，所述墊板(32)上固定連接有第二驅(qū)動電機(jī)(33)，所述第二驅(qū)動電機(jī)(33)的驅(qū)動軸上同軸固定連接有第三齒輪(34)，所述第三齒輪(34)與第一齒輪(24)或第二齒輪(25)活動嚙合，所述弧形槽(30)內(nèi)還設(shè)有用于配合第二齒輪(25)的限位機(jī)構(gòu)(35)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版自動輔助夾具，其特征在于，所述限位機(jī)構(gòu)(35)包括設(shè)置于弧形槽(30)內(nèi)的第三滑塊(36)，所述第三滑塊(36)上固定連接有第四齒輪(37)，所述第四齒輪(37)與第二齒輪(25)活動嚙合，所述第三滑塊(36)遠(yuǎn)離第二滑塊(31)的一端側(cè)壁上固定連接有橡膠塊(38)。