[發明專利]LTCC材料、基板及制備方法

有效

• 申請號: 202011119690.4
• 申請日: 2020-10-19
• 公開（公告）號: CN112225547B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 蘭開東;李自豪;王升;彭梓
• 申請（專利權）人: 上海晶材新材料科技有限公司;中國電子科技集團公司第九研究所
• 主分類號: C04B35/18
• 分類號: C04B35/18;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;C03B5/16;C03C3/066;C03C12/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種LTCC-LTCF基板，其特征在于：所述LTCC-LTCF基板包括LTCC材料，所述LTCC材料中以所述LTCC材料的質量百分比計包括47%~52%的無機材料成分，以及48%~53%的有機材料成分，其中，以所述無機材料成分的質量百分比計包括50%~90%的Li₂Mg_0.3Zn_0.7SiO₄陶瓷、0%~40%的Zn_0.8Mg_0.2TiO₃陶瓷、8%~15%的燒結助劑及0.5%~1%的改性劑，所述燒結助劑包括CaO-B₂O₃-ZnO-SiO₂玻璃及ZnO-B₂O₃-SiO₂玻璃中的一種或組合，所述改性劑包括Co₂O₃、Fe₂O₃、Mn₂O₃及Cu₂O中的一種或組合。

2.根據權利要求1所述的LTCC-LTCF基板，其特征在于：所述LTCC材料中以所述CaO-B₂O₃-ZnO-SiO₂玻璃的質量百分比計包括18%~21%的CaO、30%~34%的B₂O₃、18%~22%的ZnO及27%~32%的SiO₂；以所述ZnO-B₂O₃-SiO₂玻璃的質量百分比計包括47%~54%的ZnO、37%~41%的B₂O₃、8%-12%的SiO₂及1%~3%的Na₂O。

3.根據權利要求1所述的LTCC-LTCF基板，其特征在于：所述LTCC材料中所述有機材料成分包括醇-酮混合溶劑。

4.根據權利要求1所述的LTCC-LTCF基板，其特征在于：所述LTCC材料在5.1GHz的條件下，介電常數包括6.3~9.5，介質損耗包括4.0×10^-4~1.4×10^-3。