[發明專利]一種超光滑氧化鋁薄膜的制備方法有效
| 申請號： | 202011114447.3 | 申請日： | 2020-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN112225467B | 公開（公告）日： | 2023-04-07 |
| 發明（設計）人： | 陳玲;李朝偉;陳秋 | 申請（專利權）人： | 云南開放大學 |
| 主分類號： | C03C17/25 | 分類號： | C03C17/25;H01L21/02;C01F7/36 |
| 代理公司： | 昆明合盛知識產權代理事務所(普通合伙) 53210 | 代理人： | 龍燕 |
| 地址： | 650000 *** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光滑 氧化鋁 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種超光滑氧化鋁薄膜的制備方法，其特征在于，具體包括以下步驟：
（1）氧化鋁溶膠的制備：按8~12g/L的比例將仲丁醇鋁溶于水中，再以硝酸調節pH為2~3，得氧化鋁溶膠，將該溶膠陳化5天待用；
（2）按3~10g/L的比例在溶膠中加入乙酸鋅粉末，攪拌溶解，取載玻璃或硅片清洗、干燥待用；
（3）鍍膜：用提拉法、勻膠機、涂抹或噴霧法在載體上鍍膜，室溫干燥后，用馬弗爐對其進行燒結，得到超光滑氧化鋁薄膜；
其中，步驟（3）中燒結的條件為：燒結的初始溫度為25℃，升溫速率為1℃/min，于100℃保溫1h，200℃保溫1h，300℃保溫1h，400℃保溫1h，500℃保溫5h。
2.根據權利要求1所述超光滑氧化鋁薄膜的制備方法，其特征在于：氧化鋁溶膠的制備方法為：將仲丁醇鋁加入到80~90℃的蒸餾水中，用磁力攪拌25~35?min，再以硝酸調節pH為2~3，80~90℃下磁力攪拌25~35?min，得氧化鋁溶膠。
3.根據權利要求1所述超光滑氧化鋁薄膜的制備方法，其特征在于：載玻璃或硅片清洗過程為：以乙酸乙酯100?ml、95%乙醇100?ml、去離子水100?ml依次在超聲波儀中清洗30min。
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