[發明專利]一種便于清理的化學機械拋光設備的拋光方法

在審

• 申請號: 202011113380.1
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN112338795A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 董興超
• 申請（專利權）人: 深圳市安達工業設計有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/22;B24B57/02
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1.一種便于清理的化學機械拋光設備的拋光方法，包括底座（1）和產品（52），其特征在于：所述底座（1）內部開設有安裝槽（2），其中，

所述安裝槽（2）內部安裝有滴液分配器（3），所述滴液分配器（3）頂部連接有第一滴液管（4），靠近第一滴液管（4）的所述滴液分配器（3）頂部連接有第二滴液管（53），靠近安裝槽（2）的所述底座（1）內部安裝有第一電機（5），所述第一電機（5）一側套接有第一旋轉塊（6），所述第一旋轉塊（6）一側固定有第一固定塊（7），所述第一固定塊（7）一側套接有固定墊（8），所述第一旋轉塊（6）一側設置有旋轉盤（9），靠近第一旋轉塊（6）的所述旋轉盤（9）一側開設有第一固定槽（10）；

靠近第一固定塊（7）的所述第一固定槽（10）一側開設有第二固定槽（11），所述旋轉盤（9）頂部固定有第一磁性墊（12），所述第一磁性墊（12）另一側連接有第二磁性墊（13），所述第二磁性墊（13）另一側固定有打磨墊（14），遠離安裝槽（2）所述底座（1）內部一側開設有第一連接槽（15），所述第一連接槽（15）內部嵌合有儲存槽（16），靠近旋轉盤（9）的所述底座（1）頂部開設有打磨槽（18），所述打磨槽（18）與第一連接槽（15）之間的底座（1）開設有導向槽（17）；

靠近打磨槽（18）的所述底座（1）頂部固定有阻擋塊（19），所述阻擋塊（19）一側設置有第一擠壓塊（20），靠近阻擋塊（19）的所述第一擠壓塊（20）內部開設有第三固定槽（21），遠離第三固定槽（21）的所述阻擋塊（19）一側開設有第二連接槽（22），所述第二連接槽（22）一側連接有第一旋轉桿（23），所述第一旋轉桿（23）一側連接有滑輪（24），靠近阻擋塊（19）的所述底座（1）頂部固定有固定桿（25），所述固定桿（25）頂部開設有第四固定槽（26），所述第四固定槽（26）一側開設有第三連接槽（27），所述第三連接槽（27）內部連接有螺紋桿（28），所述螺紋桿（28）一端開設有第四連接槽（29），所述第四連接槽（29）嵌合有連接桿（30），所述連接桿（30）一端固定有把手（31），所述第四固定槽（26）內部嵌合有第二旋轉塊（32），所述第二旋轉塊（32）頂部固定有第二旋轉桿（33），所述第二旋轉桿（33）頂部固定有外殼（34），所述外殼（34）一側安裝有操作面板（35），所述外殼（34）內部安裝有主體（36）；

遠離主體（36）的所述外殼（34）內部安裝有第二電機（37），所述第二電機（37）一側套接有第三旋轉塊（38），所述第三旋轉塊（38）頂部連接有液壓桿（39），所述液壓桿（39）另一端開設有第五連接槽（40），所述第五連接槽（40）內部安裝有第一彈簧（41），所述第一彈簧（41）一側連接有卡合塊（42），所述液壓桿（39）另一端設置有第三固定塊（43），靠近液壓桿（39）的所述第三固定塊（43）開設有第六連接槽（44），所述第六連接槽（44）一側開設有卡合槽（45），靠近卡合槽（45）的所述第三固定塊（43）內部開設有第七連接槽（46），所述第七連接槽（46）內部安裝有第二彈簧（47），所述第二彈簧（47）一側連接有第二擠壓塊（48），所述第三固定塊（43）一側開設有第五固定槽（49），所述第五固定槽（49）一側開設有第八連接槽（50），所述第八連接槽（50）內部連接有螺栓（51），所述產品（52）嵌合在第五固定槽（49）內部；

在使用該便于清理的化學機械拋光設備的拋光方法時，首先需要對便于清理的化學機械拋光設備的拋光方法進行簡單的了解，使用之前第一固定槽10與第二固定槽11通過拉動旋轉盤9與第一旋轉塊6、固定墊8進行對接，第一固定槽10與第二固定槽11和第一旋轉塊6與固定墊8對接時可以推動旋轉盤9使第二固定槽11對固定墊8進行擠壓，當固定墊8與第一旋轉塊6擠壓進行第二固定槽11與第一固定槽10時固定墊8會對第二固定槽11進行擠壓固定，旋轉盤9固定完成后拉動打磨墊14可以帶動第二磁性墊13與第一磁性墊12進行磁性連接，打磨墊14連接完成后連接桿30通過推動把手31進行轉動，連接桿30轉動時可以帶動第四連接槽29與螺紋桿28進行轉動，當把手31旋轉到第四連接槽29上方時連接桿30會與第四連接槽29進行滑動，當第二組把手31滑落到第四連接槽29底部時可以繼續推動第二組把手31，螺紋桿28與第二旋轉塊32分離時可以通過推動外殼34帶動第二旋轉桿33進行轉動，第二旋轉桿33轉動時可以帶動第二旋轉塊32進行轉動，第二旋轉塊32轉動時可以帶動外殼34、液壓桿39與第三固定塊43移動到打磨墊14上方，當第三固定塊43移動到打磨墊14上方時推動把手31帶動螺紋桿28與第三連接槽27進行螺紋滑動，使螺紋桿28對第二旋轉塊32進行螺紋擠壓，第三固定塊43通過液壓桿39延伸進行移動，第三固定塊43移動到打磨墊14上方指定位置時將產品52放置在第五固定槽49內，產品52會與打磨墊14貼合，旋轉螺栓51與第八連接槽50進行螺紋滑動，螺栓51螺紋滑動時會對產品52進行擠壓，使產品52擠壓固定在第五固定槽49一側，產品52固定完成后第一滴液管4可以通過滴液分配器3輸送清洗液對打磨墊14進行清洗，打磨墊14清洗完成后可以進行固定，第一旋轉塊6通過第一電機5工作進行轉動，第一旋轉塊6轉動時會帶動旋轉盤9與第一磁性墊12進行轉動，第一磁性墊12轉動時會調動第二磁性墊13與打磨墊14進行轉動，打磨墊14轉動時會對產品52進行旋轉打磨，打磨墊14旋轉打磨的同時會帶動滑輪24與第一旋轉桿23進行轉動，滑輪24旋轉時會對打磨墊14進行擠壓，打磨墊14在對產品52旋轉打磨的同時第二電機37可以帶動第三旋轉塊38進行轉動，第三旋轉塊38轉動時可以帶動液壓桿39進行轉動，液壓桿39轉動時可以帶動第三固定塊43與產品52進行轉動，使產品52與打磨墊14同時轉動，且產品52與打磨墊14為反向轉動，提高產品52的打磨效果，產品52在打磨的同時滴液分配器3會將打磨液輸送到第二滴液管53內，第二滴液管53會將打磨液輸送到打磨墊14上，打磨墊14會將打磨后的打磨液流淌到打磨槽18內，打磨槽18可以將打磨液輸送到導向槽17內，由導向槽17將打磨液輸送到儲存槽16內，產品52打磨結束后可以將儲存槽16與第一連接槽15進行分離，使儲存槽16可以將打磨后的雜質與打磨液進行清理。