[發明專利]基于超聲的Micro LED陣列機器人整機的陣列方法

在審

• 申請號: 202011113365.7
• 申請日: 2020-03-04
• 公開（公告）號: CN112318520A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 黃加偉
• 申請（專利權）人: 斯佩（新昌）科技有限公司
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00;B25J15/00;B25J15/06;B25J19/02
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• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種基于超聲振動式的Micro LED陣列機械手的陣列方法，包括有共用機架以及設于共用機架臺面上的兩個陣列機器人；共用機架的兩邊分別設有與對應陳列機器人配合的凹槽式工位。超聲磁性抓取頭包括壓電微動片、第一超聲震動器和座體，所述座體設有多個微震動片，每個所述微震動片均設線性磁電極，所述線性磁電極具有吸附平面；所述干燥震動機構包括可控超聲震動器、料槽、U形的隔離罩、靜壓氮氣噴板；所述光學良率檢測機構包括第二超聲震動器、發光源、光學玻璃板、熒光板支架和熒光接收板；本發明能夠實現Micro LED的定向排列，同時能保證Micro LED的排列良率。

技術領域

本發明涉及一種基于超聲的Micro LED陣列機器人整機的陣列方法。

背景技術

Micro LED(微型發光二極管)是將LED結構設計進行薄膜化、微小化、陣列化，其尺寸僅在1μm～10μm等級左右，由于其具有良好的穩定性及壽命，以及低功耗、色彩飽和度高、對比度強、反應速度快等優勢，被廣泛的應用在顯示領域。

目前限制Micro LED顯示技術發展的瓶頸主要包括巨量轉移技術，巨量轉移技術即如何將大量微小尺度的Micro LED轉移到大尺寸的轉移板上，是Micro-LED產品量產化的重要技術。

在對Mirco LED單體進行轉移之前，需要對其進行定向均勻化排列，而目前并沒有一種對如此尺寸量級的微元件進行定向排列，且保證排列良率的有效手段。

因此，急需提供一種既能對如此尺寸量級的微元件進行定向排列，又能保證排列良率的裝置。

發明內容

本發明的目的在于克服以上所述的缺點，提供一種基于超聲的Micro LED陣列機器人整機的陣列方法。

為實現上述目的，本發明的具體方案如下：

一種基于超聲的Micro LED陣列機器人整機的陣列方法，包括有共用機架以及設于共用機架臺面上的兩個陣列機器人；共用機架的兩邊分別設有與對應陳列機器人配合的凹槽式工位。

每個陣列機器人：

包括底板、通過四個支撐柱連接在底板一端的頂板、設于頂板底面的滑移抓取機構、設于底板上且位于頂板下方的料盤、設于底板另一端的光學良率檢測機構以及設于底板上且位于料盤與光學良率檢測機構之間的干燥震動機構；

所述滑移抓取機構包括設于頂板底面的直線滑移部件、設于直線滑移部件的輸出端上的垂直位移部件、設于垂直位移部件的輸出端上的超聲磁性抓取頭，所述直線滑移部件用于帶動超聲磁性抓取頭沿水平方向移動，所述垂直位移部件用于帶動超聲磁性抓取頭沿豎直方向移動，所述超聲磁性抓取頭通過一懸臂連接在垂直位移部件上，所述懸臂的一端連接在垂直位移部件的輸出端上，所述懸臂的另一端連接在超聲磁性抓取頭上；

所述超聲磁性抓取頭包括壓電微動片、第一超聲震動器和座體，所述壓電微動片設于懸臂上，所述第一超聲震動器設于壓電微動片上，所述座體設于第一超聲震動器上，所述座體的底面沿其長度方向間隔排列有多個微震動片，每個所述微震動片的自由端均固定有與其長度相匹配的線性磁電極，所述線性磁電極具有吸附平面；

所述干燥震動機構包括可控超聲震動器、料槽、U形的隔離罩、靜壓氮氣噴板，所述可控超聲震動器設于底板上，所述料槽設于可控超聲震動器，所述隔離罩的開口朝下，所述隔離罩的兩端固定在可控超聲震動器上，所述靜壓氮氣噴板固定在隔離罩的內頂面上并位于料槽的上方；

所述光學良率檢測機構包括第二超聲震動器、發光源、光學玻璃板、熒光板支架和熒光接收板，所述第二超聲震動器設于底板上并貼靠可控超聲震動器遠離料盤的一端，所述第二超聲震動器具有容置槽，所述發光源設于容置槽內，所述光學玻璃板固定在容置槽上并位于發光源的上方，所述熒光板支架設于第二超聲震動器上，所述熒光接收板設于熒光板支架與光學玻璃板相對的表面上。