[發明專利]在生產太陽能電池基板上印刷的裝置及傳輸該基板的方法在審
| 申請號: | 202011102455.6 | 申請日: | 2014-12-02 |
| 公開(公告)號: | CN112018011A | 公開(公告)日: | 2020-12-01 |
| 發明(設計)人: | L·德桑蒂;D·吉斯隆;A·巴希尼;T·瓦塞斯;G·帕斯奎林 | 申請(專利權)人: | 應用材料意大利有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 汪駿飛;侯穎媖 |
| 地址: | 意大利*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 生產 太陽能電池 基板上 印刷 裝置 傳輸 方法 | ||
本公開提供一種用于在用于生產太陽能電池的基板(10)上進行印刷的裝置(100)。所述裝置(100)包括兩個或更多個工藝站(110);至少一個基板支撐件(120),配置成支撐所述基板(10);以及至少一個傳輸設備(130),配置成在水平方向(300)且在豎直方向(310)上傳輸所述至少一個基板支撐件(120),以便在所述兩個或更多個工藝站(110)之間傳輸所述至少一個基板支撐件(120)。
本申請是申請日為2014年12月02日、申請號為201480076877.7、題為“在生產太陽能電池基板上印刷的裝置及傳輸該基板的方法”的分案申請。
技術領域
本公開的實施例涉及一種用于在用于生產太陽能電池的基板上進行印刷的裝置,且涉及一種用于傳輸用于生產太陽能電池的基板的方法。本公開的實施例特別涉及一種用于在用于生產太陽能電池的基板上進行絲網印刷的裝置。
背景技術
太陽能電池是將陽光直接轉換成電力的光伏(PV)設備。在此領域內,已經知道借助印刷技術(諸如絲網印刷)來在基板(諸如晶態硅基底)上生產太陽能電池,從而在太陽能電池的前表面上實現選擇性發射器的結構。
用于制造太陽能電池的裝置可具有有傳輸路徑的線路配置,其中可沿所述傳輸路徑提供多個工藝站。工藝站可包括一個或更多個印刷站。這樣的裝置消耗相當大的空間以供安裝。為了增加產量,可能安裝額外的裝置,從而需要甚至更多的安裝空間。進一步地,此裝置例如對于操作及維護產生成本。
鑒于上述,本公開針對提供用于在基板上進行印刷的裝置,所述裝置是緊湊的和/或能夠生產增大數量的太陽能電池。
發明內容
鑒于上述,提供一種用于在用于生產太陽能電池的基板上進行印刷的裝置及一種用于傳輸用于生產太陽能電池的基板的方法。根據從屬權利要求、本說明書及所附附圖,本公開的進一步方面、優點及特征是顯而易見的。
依據本公開的一方面,提供一種用于在用于生產太陽能電池的基板上進行印刷的裝置。所述裝置包括兩個或更多個工藝站;至少一個基板支撐件,配置成支撐所述基板;以及至少一個傳輸設備,配置成在水平方向且在豎直方向上傳輸所述至少一個基板支撐件,以供在所述兩個或更多個工藝站之間傳輸所述至少一個基板支撐件。
較佳地,所述水平方向和所述豎直方向定義基本上豎直定向的二維平面,其中所述至少一個傳輸設備配置成在所述二維平面中傳輸所述至少一個基板支撐件。
較佳地,所述至少一個傳輸設備配置成在所述水平方向且在所述豎直方向上同時或順序地傳輸所述至少一個基板支撐件。
較佳地,所述至少一個傳輸設備包括用于在所述豎直方向上傳輸所述至少一個基板支撐件的第一電機。
較佳地,所述電機是步進電機、伺服電機或氣動電機。
較佳地,所述至少一個傳輸設備包括用于在所述水平方向上傳輸所述至少一個基板支撐件的第二電機。
較佳地,所述裝置進一步包括至少一個對準設備,配置用于在水平平面中對準所述至少一個基板支撐件的位置和角定向中的至少一者。
較佳地,所述至少一個對準設備被包括在所述至少一個傳輸設備中和/或所述至少一個基板支撐件中。
較佳地,所述至少一個基板支撐件包括至少一個抽吸設備,所述至少一個抽吸設備配置用于將所述基板固持在所述至少一個基板支撐件上。
較佳地,所述至少一個基板支撐件包括輸送器設備,所述輸送器設備用于將所述基板輸送至所述至少一個基板支撐件上和/或用于從所述至少一個基板支撐件輸送所述基板。
較佳地,所述裝置配置用于絲網印刷、噴墨印刷以及激光處理中的至少一者。
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





