[發明專利]在生產太陽能電池基板上印刷的裝置及傳輸該基板的方法在審
| 申請號： | 202011102455.6 | 申請日： | 2014-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN112018011A | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發明（設計）人： | L·德桑蒂;D·吉斯隆;A·巴希尼;T·瓦塞斯;G·帕斯奎林 | 申請（專利權）人： | 應用材料意大利有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 汪駿飛;侯穎媖 |
| 地址： | 意大利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 生產 太陽能電池 基板上 印刷 裝置 傳輸 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于在用于生產太陽能電池的基板上進行印刷的裝置，包括：
兩個或更多個工藝站；
至少一個基板支撐件，配置成支撐所述基板；以及
至少一個傳輸設備，配置成在水平方向且在豎直方向上傳輸所述至少一個基板支撐件，以便在所述兩個或更多個工藝站之間傳輸所述至少一個基板支撐件。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
