[發明專利]掃描式曝光系統及其數據緩存及調度方法和裝置

在審

• 申請號: 202011096747.3
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112328513A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 卞洪飛
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
• 主分類號: G06F12/0895
• 分類號: G06F12/0895;G03F7/20
• 代理公司: 北京景聞知識產權代理有限公司 11742
• 代理人: 朱鴻雁

本發明公開了一種掃描式曝光系統及其數據緩存及調度方法和裝置，掃描式曝光系統包括串行連接的用于緩存數據的第一存儲器和第二存儲器，方法包括以下步驟：在掃描式曝光系統曝光前，將第一存儲器緩存的數據搬運至第二存儲器進行存儲；在掃描式曝光系統曝光過程中，若第二存儲器讀取數據并輸出顯示，則使用第一存儲器緩存數據；若第二存儲器不讀取數據且未存滿，則將第一存儲器緩存的數據搬運至第二存儲器進行存儲。本發明通過兩個存儲器串行緩存方式以及兩個存儲器之間數據調度，可充分利用存儲器容量并利用存儲器帶寬，從而滿足掃描式曝光系統中數據準實時準備并可有效避免數據“超速”問題，并進一步提高掃描式曝光系統的產能。

技術領域

本發明涉及激光無掩模光刻技術領域，尤其是涉及一種掃描式曝光系統及其數據緩存及調度方法和裝置。

背景技術

掃描式曝光系統是采用平臺勻速運動，并以一定的掃描步長刷新圖形的方式實現條帶掃描曝光。相比于步進式曝光系統，掃描式曝光系統可有效減小拼接。

掃描式曝光系統的圖形數據按照平臺等距觸發的脈沖信號刷新，當實時處理的圖形數據達不到刷新的速度時，則會產生數據“超速”問題，同時降低了系統產能。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。

為此，本發明的一個目的在于提出一種掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，該方法通過兩個存儲器串行緩存方式以及兩個存儲器之間數據調度，可充分利用存儲器容量并利用存儲器帶寬，從而滿足掃描式曝光系統中數據準實時準備并可有效避免數據“超速”問題，并進一步提高掃描式曝光系統的產能。

為此，本發明的第二個目的在于提出一種掃描式曝光系統的數據緩存及調度裝置。

為此，本發明的第三個目的在于提出一種掃描式曝光系統。

為實現上述目的，本發明第一方面的實施例公開了一種掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，所述掃描式曝光系統包括串行連接的用于緩存數據的第一存儲器和第二存儲器，所述方法包括以下步驟：在所述掃描式曝光系統曝光前，將所述第一存儲器緩存的數據搬運至所述第二存儲器進行存儲；在所述掃描式曝光系統曝光過程中，若所述第二存儲器讀取數據并輸出顯示，則使用所述第一存儲器緩存數據；若所述第二存儲器不讀取數據且未存滿，則將所述第一存儲器緩存的數據搬運至所述第二存儲器進行存儲。

根據本發明實施例的掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，通過兩個存儲器串行緩存方式以及兩個存儲器之間數據調度，可充分利用存儲器容量并利用存儲器帶寬，從而滿足掃描式曝光系統中數據準實時準備并可有效避免數據“超速”問題，并進一步提高掃描式曝光系統的產能。

另外，本發明上述實施例的掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法還可以包括如下附加技術特征：

在一些示例中，還包括：在所述掃描式曝光系統曝光前或曝光過程中，若所述第二存儲器中存滿數據，則使用所述第一存儲器繼續緩存數據。

在一些示例中，所述第二存儲器連接于所述第一存儲器之后，所述第一存儲器中的數據優先搬運至所述第二存儲器。

在一些示例中，還包括：調節所述第一存儲器搬運至所述第二存儲器的數據的大小，以平衡數據搬運過程中所述第一存儲器和第二存儲器的讀寫切換頻率。

在一些示例中，所述第二存儲器按照所述掃描式曝光系統等距觸發的脈沖信號周期性讀取數據。

在一些示例中，所述第二存儲器按照所述掃描式曝光系統等距觸發的脈沖信號周期性讀取數。