[發明專利]掃描式曝光系統及其數據緩存及調度方法和裝置

在審

• 申請號: 202011096747.3
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112328513A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 卞洪飛
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
• 主分類號: G06F12/0895
• 分類號: G06F12/0895;G03F7/20
• 代理公司: 北京景聞知識產權代理有限公司 11742
• 代理人: 朱鴻雁

1.一種掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，其特征在于，所述掃描式曝光系統包括串行連接的用于緩存數據的第一存儲器和第二存儲器，所述方法包括以下步驟：

在所述掃描式曝光系統曝光前，將所述第一存儲器緩存的數據搬運至所述第二存儲器進行存儲；

在所述掃描式曝光系統曝光過程中，若所述第二存儲器讀取數據并輸出顯示，則使用所述第一存儲器緩存數據；

若所述第二存儲器不讀取數據且未存滿，則將所述第一存儲器緩存的數據搬運至所述第二存儲器進行存儲。

2.根據權利要求1所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，其特征在于，還包括：

在所述掃描式曝光系統曝光前或曝光過程中，若所述第二存儲器中存滿數據，則使用所述第一存儲器繼續緩存數據。

3.根據權利要求2所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，其特征在于，所述第二存儲器連接于所述第一存儲器之后，所述第一存儲器中的數據優先搬運至所述第二存儲器。

4.根據權利要求1所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，其特征在于，還包括：

調節所述第一存儲器搬運至所述第二存儲器的數據的大小，以平衡數據搬運過程中所述第一存儲器和第二存儲器的讀寫切換頻率。

5.根據權利要求1所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，其特征在于，所述第二存儲器按照所述掃描式曝光系統等距觸發的脈沖信號周期性讀取數據。

6.根據權利要求1-5任一項所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度方法，其特征在于，所述第一存儲器和第二存儲器被配置為動態隨機存儲器。

7.一種掃描式曝光系統的數據緩存及調度裝置，其特征在于，所述掃描式曝光系統包括串行連接的用于緩存數據的第一存儲器和第二存儲器，所述數據緩存及調度裝置包括：

調度模塊，用于：在所述掃描式曝光系統曝光前，將所述第一存儲器緩存的數據搬運至所述第二存儲器進行存儲；以及在所述掃描式曝光系統曝光過程中，當所述第二存儲器讀取數據并輸出顯示時，使用所述第一存儲器緩存數據；以及在所述第二存儲器不讀取數據且未存滿時，將所述第一存儲器緩存的數據搬運至所述第二存儲器進行存儲。

8.根據權利要求7所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度裝置，其特征在于，所述調度模塊，還用于：在所述掃描式曝光系統曝光前或曝光過程中，當所述第二存儲器中存滿數據時，使用所述第一存儲器繼續緩存數據。

9.根據權利要求7所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度裝置，其特征在于，還包括：

調節模塊，用于調節所述第一存儲器搬運至所述第二存儲器的數據的大小，以平衡數據搬運過程中所述第一存儲器和第二存儲器的讀寫切換頻率。

10.一種掃描式曝光系統，其特征在于，包括：

串行連接的用于緩存數據的第一存儲器和第二存儲器；以及

如權利要求7-8任一項所述的掃描式曝光系統的數據緩存及調度裝置。