[發明專利]一種TFET器件研究用模擬系統

有效

• 申請號: 202011093925.7
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112379238B
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發明（設計）人: 許會芳;王娜;孫雯
• 申請（專利權）人: 安徽科技學院
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 合肥信誠兆佳知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 34159
• 代理人: 鄧勇

1.一種TFET器件研究用模擬系統，包括底板（1），其特征在于，所述底板（1）的貫穿有第一通孔（2），所述第一通孔（2）的底部安裝有推動機構（3），所述第一通孔（2）的頂部開口處安裝有與底板（1）頂部固接的矩形結構的承載機構（4），所述承載機構（4）外側安裝有與底板（1）頂部固接的罩殼（5），所述承載機構（4）相鄰的兩側外側壁均安裝有與罩殼（5）固接的襯底上料機構（7），所述襯底上料機構（7）的正下方安裝有位于底板（1）頂部的襯底輸送機構（8），所述承載機構（4）的頂部安裝有與罩殼（5）頂部內側壁固結的頂端上料機構（6），所述頂端上料機構（6）的底部一側安裝有與罩殼（5）固結的側邊輸送機構（9）；

所述承載機構（4）包括與底板（1）頂部固接的矩形結構的承載板（41），所述承載板（41）貫穿有沿豎直方向設置的放置槽（42），且放置槽（42）與第一通孔（2）連通，所述承載板（41）與相鄰的一個襯底上料機構（7）相鄰的一側開設有與放置槽（42）連通的第一伸入通道（43），所述第一伸入通道（43）的兩側內側壁均開設有沿豎直方向等距設置的第一限制槽（44），且第一限制槽（44）延伸并凹陷在放置槽（42）相鄰的內側壁上，所述承載板（41）與相鄰的另一個襯底上料機構（7）相鄰的一側開設有與放置槽（42）連通的第二伸入通道（45），所述第二伸入通道（45）的兩側內側壁均開設有沿豎直方向等距設置的第二限制槽（46），且第二限制槽（46）延伸并凹陷在放置槽（42）相鄰的內側壁上，第二限制槽（46）與第一限制槽（44）交錯設置，利用襯底上料機構（7）將TFET器件的襯底沿第一伸入通道（43）和第二伸入通道（45）輸送至第一限制槽（44）和第二限制槽（46），利用頂端上料機構（6）將TFET器件的外延層、柵介質層、柵極層、源區和漏區放置在承載板（41）頂部。

2.根據權利要求1所述的一種TFET器件研究用模擬系統，其特征在于，所述頂端上料機構（6）包括與罩殼（5）頂部內側壁固結的第一推動機構，第一推動機構的底部固接有安裝板（61），安裝板（61）的兩側均開設有卡槽（62），卡槽（62）的內部滑動連接有第一推板（63），第一推板（63）相互靠近的一側均安裝有與安裝板（61）頂部固接的第二推動機構（65），第一推板（63）的底部固接有第一吸附板（64），兩組第一吸附板（64）相互靠近的一側安裝有與安裝板（61）底部固接的第二吸附板（66），兩組第一推板（63）相互遠離的一側固接有沿豎直方向設置的第三推動機構，第三推動機構的底部固接有橫板（67），兩組橫板（67）相互遠離的一側底部均固接有檢測探針（68）。

3.根據權利要求1所述的一種TFET器件研究用模擬系統，其特征在于，所述襯底上料機構（7）包括與罩殼（5）內側壁固結且沿豎直方向設置的第四推動機構（71），第四推動機構（71）靠近承載機構（4）的一側輸出端固接有沿水平方向設置的第五推動機構（72），第五推動機構（72）靠近承載機構（4）的輸出端固接有支桿（73），支桿（73）靠近承載機構（4）的一側固接有沿其長度方向分布的吸附桿（74）。

4.根據權利要求1所述的一種TFET器件研究用模擬系統，其特征在于，所述襯底輸送機構（8）包括開設在底板（1）且沿相鄰襯底上料機構（7）長度方向設置的內凹槽，內凹槽的底部內側壁安裝有沿其長度方向設置的第六推動機構，第六推動機構的頂部輸出端安裝有第一放料板。

5.根據權利要求1所述的一種TFET器件研究用模擬系統，其特征在于，所述側邊輸送機構（9）包括開設在罩殼（5）上的進料口，進料口的一側固接有第七推動機構，第七推動機構的一側固接有第二放料板。

6.根據權利要求1所述的一種TFET器件研究用模擬系統，其特征在于，所述推動機構（3）包括與第一通孔（2）滑動套接的頂板，頂板的底部安裝有第八推動機構，第八推動機構的底部安裝有與底板（1）固接的支架。

7.根據權利要求3所述的一種TFET器件研究用模擬系統，其特征在于，所述吸附桿（74）采用中空結構，吸附桿（74）的頂部開設有與其內部連通的第一吸附孔，吸附桿（74）的一側固接有與其內部連通的第一抽氣管。

8.根據權利要求2所述的一種TFET器件研究用模擬系統，其特征在于，所述第一吸附板（64）和第二吸附板（66）均采用中空結構，第一吸附板（64）和第二吸附板（66）的底部均開設有與其內部連通的第二吸附孔，第一吸附板（64）和第二吸附板（66）的一側均固接有與其內部連通的第二抽氣管。