[發明專利]一種晶圓清洗裝置

在審

• 申請號: 202011089647.8
• 申請日: 2020-10-13
• 公開（公告）號: CN112474447A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 張峰
• 申請（專利權）人: 西安重光明宸檢測技術有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B3/02;B08B3/14;B08B11/02;H01L21/67
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 燕肇琪

1.一種晶圓清洗裝置，包括外殼(1)，其特征在于：所述外殼(1)的內壁底部焊接有水箱(2)，所述水箱(2)的正表面開設有進水口(3)，所述水箱(2)的內部安裝有過濾網(5)，所述水箱(2)的左側開設有圓孔，且圓孔內表面貫穿安裝有上水管(4)，所述水箱(2)的頂部開設有污水口(6)，所述水箱(2)的頂部固定安裝固定板(7)，所述水箱(2)的頂部焊接有第一滑道(10)，所述水箱(2)的頂部焊接有第二滑道(11)，所述第一滑道(10)的內部和第二滑道(11)的內部均滑動連接有兩組滑輪(12)，其中一組所述滑輪(12)的外表面活動連接有第一移動板(13)，另一組所述滑輪(12)的外表面活動連接第二移動板(14)，所述第一移動板(13)的右側固定安裝有第一刷板(15)，所述第二移動板(14)的左側固定安裝有第二刷板(16)，所述外殼(1)的內壁底部固定焊接有兩個電機支架，且兩個電機支架的頂部均焊接有電機(21)，兩個所述電機(21)的輸出端分別固定安裝有第一軸桿(19)和第二軸桿(20)，所述第一軸桿(19)的外表面固定安裝有第一齒輪(17)，所述第二軸桿(20)的外表面固定安裝有第二齒輪(18)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗裝置，其特征在于：所述外殼(1)的內壁兩側之間焊接有擋水板(22)，所述擋水板(22)的內部開設有兩個軸桿孔，且兩個軸桿孔的內部分別固定貫穿有第一軸桿(19)和第二軸桿(20)。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓清洗裝置，其特征在于：所述上水管(4)的外表面開設有上水口，且上水口的底部連通有水泵(23)，所述上水管(4)的左側與外殼(1)的內壁左側相貼合，所述上水管(4)的輸出端連通有連接管(24)，所述連接管(24)的底部連通有噴淋器(25)。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗裝置，其特征在于：所述固定板(7)的頂部焊接有夾板(8)，所述夾板(8)的頂部固定安裝有橡膠塊(9)。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗裝置，其特征在于：所述第一移動板(13)的外表面左側固定安裝有第一齒牙，且第一齒牙的外表面與第一齒輪(17)的外表面相適配。

6.根據權利要求3所述的一種晶圓清洗裝置，其特征在于：所述第二移動板(14)的外表面右側固定安裝有第二齒牙，且第二齒牙的外表面與第二齒輪(18)的外表面相適配。