[發明專利]阻障層及包括該阻障層的氣體傳感器

在審

• 申請號: 202011089520.6
• 申請日: 2020-10-13
• 公開（公告）號: CN113340942A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 蔡明志
• 申請（專利權）人: 新唐科技股份有限公司
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00;G01N27/22
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 姚亮;張德斌

本發明公開了一種阻障層及包括該阻障層的氣體傳感器。該阻障層包括一多孔結構。前述多孔結構包括聚合物材料、氧化物以及含氟材料。前述氧化物與聚合物材料之間形成有一化學鍵。含氟材料與前述聚合物材料和氧化物組裝成一復合物結構。

技術領域

本發明有關于一種阻障層及包括前述阻障層的氣體傳感器，特別是有關于一種包括具有聚合物、氧化物及含氟材料的阻障層及包括前述阻障層的氣體傳感器。

背景技術

目前，環境傳感器普遍應用于電子裝置中，以對氣壓、濕度或各種氣體進行感測。上述傳感器需應用客制化的特殊封裝，使得傳感器本身顯露于環境中以進行感測，又不受環境中的液體、水氣、灰塵影響而失效。一般而言，會以具有透氣性的薄膜作為傳感器的保護結構。

然而，具有防水及/或防塵功能的傳感器成本相當高。因此，如何使可防水及/或防塵的傳感器成本降低并使其普及化始為一重要的課題。

發明內容

根據本發明一些實施例，提供一種有機無機復合材料，包括：聚合物材料、氧化物以及含氟材料。前述氧化物與聚合物材料之間形成有一化學鍵。含氟材料與前述聚合物材料和氧化物組裝成一復合物結構。

根據本發明一些實施例，提供一種氣體傳感器，包括前述阻障層。

為讓本發明的特征或優點能更明顯易懂，下文特舉出實施例，并配合附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

圖1A至1E顯示根據本發明一些實施例的多孔結構的制造過程的示意圖。

圖2顯示根據本發明一些實施例的多孔結構的放大圖。

圖3顯示根據本發明一些實施例的多孔結構的放大圖。

圖4顯示根據本發明一些實施例的多孔結構的放大圖。

圖5顯示根據本發明一比較例的薄膜的放大圖。

圖6顯示根據本發明一些實施例的多孔結構的相對濕度與電容值的關系圖。

圖7A-圖7C顯示根據本發明一些實施例的氣體傳感器的制造過程的示意圖。

附圖標記說明：

100:復合物；

110:復合溶劑系統；

111:復合溶劑系統；

120:容器；

130:基材；

140:組合結構；

150:孔洞；

200:多孔結構；

300:氣體傳感器；

310:基板；

320:電極；

330:薄膜；

340:阻障層。

具體實施方式

以下針對本發明提供的阻障層及氣體傳感器作詳細說明。應了解的是，以下的敘述提供許多不同的實施例，用以實施本發明一些實施例的不同方案。以下所述特定的組件及排列方式僅為簡單清楚描述本發明一些實施例。當然，這些僅用以舉例而非本發明的限定。在不同實施例中可能使用重復的標號或標示。這些重復僅為了簡單清楚地敘述本發明一些實施例，不代表所討論的不同實施例及/或結構之間具有任何關連性。