[發明專利]一種太陽能電池及其制作方法在審
| 申請號: | 202011086603.X | 申請日: | 2020-10-12 |
| 公開(公告)號: | CN112133794A | 公開(公告)日: | 2020-12-25 |
| 發明(設計)人: | 常紀鵬;張敏;李得銀;王冬冬;陳燕;楊超;陳丹;石慧君;馬巖青;陶延宏 | 申請(專利權)人: | 青海黃河上游水電開發有限責任公司光伏產業技術分公司;黃河水電光伏產業技術有限公司;國家電投集團黃河上游水電開發有限責任公司;青海黃河上游水電開發有限責任公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司: | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人: | 孫偉峰 |
| 地址: | 810007 青海省西*** | 國省代碼: | 青海;63 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 及其 制作方法 | ||
1.一種太陽能電池的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在P型硅基底的背面上進行硼摻雜后,在所述背面上形成保護層;
去除所述P型硅基底的正面和側面上形成的非必要摻雜區后,在所述背面和所述側面上形成用于阻擋磷離子的隔離層;
在所述P型硅基底的正面上進行磷摻雜;
去除所述隔離層和所述保護層;
在所述正面上形成正面電極;
在所述背面上形成背面電極。
2.根據權利要求1所述的制作方法,其特征在于,去除所述隔離層和所述保護層之前,所述制作方法還包括:
對所述正面的即將形成所述正面電極的區域進行二次磷摻雜,以形成選擇性發射區。
3.根據權利要求2所述的制作方法,其特征在于,在所述正面上形成所述正面電極之前,所述制作方法還包括:在所述正面上形成增透層。
4.根據權利要求3所述的制作方法,其特征在于,在所述正面上形成所述正面電極的方法包括:
在所述增透層上印刷含有腐蝕性溶劑的銀漿,使所述銀漿刻穿所述增透層后與所述選擇性發射區進行接觸;
固化所述銀漿,以形成所述正面電極。
5.根據權利要求1至4任一所述的制作方法,其特征在于,在所述背面上形成背面電極之前,所述制作方法還包括:在所述背面上形成鈍化層。
6.根據權利要求5所述的制作方法,其特征在于,在所述背面上形成背面電極的方法包括:
在所述鈍化層上印刷含有腐蝕性溶劑的銀漿,使所述銀漿刻穿所述鈍化層后與所述背面進行接觸;
固化所述銀漿,以形成所述背面電極。
7.根據權利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述隔離層由二氧化硅或者氮化硅制成,所述溶解液為氫氟酸溶液。
8.根據權利要求1所述的制作方法,其特征在于,在所述P型硅基底的正面上進行磷摻雜之前,所述制作方法還包括:
在室溫條件下,采用體積比為5%~15%的氫氧化鈉溶液,對所述正面進行30秒~120秒的清洗;
對清洗后的所述正面進行制絨。
9.根據權利要求1所述的制作方法,其特征在于,在所述P型硅基底的背面上進行硼摻雜之前,所述制作方法還包括:
將所述P型硅基底浸泡在體積比為2%~5%的氫氧化鈉或者氫氧化鉀溶液與去離子水的混合溶液中進行拋光;
其中,所述混合溶液的溫度為70℃~80℃,拋光時間為3分鐘~5分鐘。
10.一種太陽能電池,其特征在于,所述太陽能電池由權利要求1至9任一所述的制作方法來制作。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





