[發明專利]一種聲波傳感器

在審

• 申請號: 202011084732.5
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN112212965A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種聲波傳感器，包括殼體、石墨烯層、激光探測器和感壓膜；所述殼體與所述石墨烯層組成封閉腔體，所述激光探測器設置在所述腔體內，所述感壓膜附著在所述石墨烯層遠離所述激光探測器的一側；所述石墨烯層為石墨烯陣列。本發明中，不同聲波，感壓膜發生形變不同，進而石墨烯層發生不同形變，導致透射光譜發生不同變化，根據透射光譜的前后變化來檢測聲波。結構簡單，檢測靈敏度高。

技術領域

本發明涉及聲波檢測技術領域，特別是涉及一種聲波傳感器。

背景技術

聲波傳感器在當今非常重要。其中電容式傳感器為常用的聲波傳感器，其具有兩個彼此有間距的限定電容器的膜片。一個膜片固定，另一個膜片可通過待檢測的聲波發生位移。可移動膜片的位移決定了電容器的電容變化，該電容變化可由合適的讀取電路檢測并且可作為電信號輸出，通過該電信號可推斷出待檢測的聲波的特性，例如聲壓等。電容聲波傳感器靈敏度較高，但是其結構非常復雜。

另一種常用的聲波傳感器是壓電聲波傳感器，其結構簡單，使用由壓電材料制成的薄膜，該薄膜可通過待檢測的聲波發生形變。壓電膜的形變在壓電膜中感應出電壓，該電壓可由合適的讀取電路檢測并且可作為電信號輸出，通過該電信號可推斷出待檢測的聲波的特性。雖然壓電聲波傳感器結構簡單，但其與電容聲波傳感器相比，靈敏度較低。

發明內容

本發明的目的是提供一種聲波傳感器，以簡化聲波傳感器結構，提高檢測靈敏度。

為實現上述目的，本發明提供了如下方案：

一種聲波傳感器，包括殼體、石墨烯層、激光探測器和感壓膜；所述殼體與所述石墨烯層組成封閉腔體，所述激光探測器設置在所述腔體內，所述感壓膜附著在所述石墨烯層遠離所述激光探測器的一側；所述石墨烯層為石墨烯陣列。

可選地，所述感壓膜為透明柔性膜。

可選地，所述石墨烯陣列為手性結構。

可選地，所述腔體內填充有光增益介質。

一種聲波傳感器，包括外殼、激光器、激光探測器、感壓膜和石墨烯層；所述激光器和所述激光探測器設置在所述外殼內兩側，所述感壓膜和所述石墨烯層設置在所述外殼內，所述感壓膜附著在所述石墨烯層遠離所述激光探測器的一側；所述石墨烯層為石墨烯陣列；設置所述激光器的所述外殼的一側開設有進聲孔；未開設所述進聲孔時所述感壓膜和所述石墨烯層將所述外殼分割為兩個封閉腔體，所述激光器和所述激光探測器分別設置在一所述封閉腔體內。

可選地，所述進聲孔設置有多個。

可選地，所述感壓膜為透明柔性膜；所述石墨烯陣列為手性結構。

可選地，設置有所述激光探測器的封閉腔體內填充有光增益介質。

根據本發明提供的具體實施例，本發明公開了以下技術效果：

本發明公開了一種聲波傳感器，包括殼體、石墨烯層、激光探測器和感壓膜；所述殼體與所述石墨烯層組成封閉腔體，所述激光探測器設置在所述腔體內，所述感壓膜附著在所述石墨烯層遠離所述激光探測器的一側；所述石墨烯層為石墨烯陣列。本發明中，不同聲波，感壓膜發生形變不同，進而石墨烯層發生不同形變，導致透射光譜發生不同變化，根據透射光譜的前后變化來檢測聲波信息。結構簡單，檢測靈敏度高。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明實施例1提供的一種聲波傳感器的結構圖；

圖2為本發明實施例1提供的石墨烯陣列的一種結構圖；