[發明專利]一種聲波傳感器

在審

• 申請號: 202011084732.5
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN112212965A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種聲波傳感器，其特征在于，包括殼體、石墨烯層、激光探測器和感壓膜；所述殼體與所述石墨烯層組成封閉腔體，所述激光探測器設置在所述腔體內，所述感壓膜附著在所述石墨烯層遠離所述激光探測器的一側；所述石墨烯層為石墨烯陣列。

2.根據權利要求1所述的聲波傳感器，其特征在于，所述感壓膜為透明柔性膜。

3.根據權利要求1所述的聲波傳感器，其特征在于，所述石墨烯陣列為手性結構。

4.根據權利要求1所述的聲波傳感器，其特征在于，所述腔體內填充有光增益介質。

5.一種聲波傳感器，其特征在于，包括外殼、激光器、激光探測器、感壓膜和石墨烯層；所述激光器和所述激光探測器設置在所述外殼內兩側，所述感壓膜和所述石墨烯層設置在所述外殼內，所述感壓膜附著在所述石墨烯層遠離所述激光探測器的一側；所述石墨烯層為石墨烯陣列；設置所述激光器的所述外殼的一側開設有進聲孔；未開設所述進聲孔時所述感壓膜和所述石墨烯層將所述外殼分割為兩個封閉腔體，所述激光器和所述激光探測器分別設置在一所述封閉腔體內。

6.根據權利要求5所述的聲波傳感器，其特征在于，所述進聲孔設置有多個。

7.根據權利要求5所述的聲波傳感器，其特征在于，所述感壓膜為透明柔性膜；所述石墨烯陣列為手性結構。

8.根據權利要求5所述的聲波傳感器，其特征在于，設置有所述激光探測器的封閉腔體內填充有光增益介質。